蓝宝石晶体生长技术

蓝宝石晶体生长技术

蓝宝石英文名称为Sapphire，源于拉丁文Spphins，意思是蓝色；属于刚玉族矿物，三方晶系。宝石界将红宝石之外的各色宝石级刚玉都称为蓝宝石。

蓝宝石主要成分是氧化铝（Al2O3）。刚玉中因含有铁（Fe）和钛（Ti）等微量元素，而呈现蓝、天蓝、淡蓝等颜色，其中以鲜艳的天蓝色者为最好。一、蓝宝石天然蓝宝石可以分为蓝色蓝宝石和艳色（非蓝色）蓝宝石。宝石市场上把深蓝色和带有紫色的蓝宝石称为“男性蓝宝石”，浅色蓝宝石称为“女性蓝宝石”。国际宝石界把蓝宝石定为“九月生辰石”，象征忠诚与坚贞。据说蓝宝石能保护国土和君王免受伤害，有“帝王石”之称。

世界七大蓝宝石产地：1.印度克什米尔2.缅甸抹谷3.斯里兰卡4.泰国5.中国（山东昌乐）6.澳大利亚7.柬埔寨马德望蓝宝石的组成为氧化铝(Al2O3)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构，就颜色而言，单纯的氧化铝结晶是呈现透明无色的，因不同颜色元素离子渗透与生长中的蓝宝石，因而使蓝宝石显现出不同的颜色。在自然界中蓝宝石晶体内含有钛离子（Ti3+）与铁离子（Fe3+）时，会使晶体呈现而成为蓝色蓝宝石（BlueSapphire）。当晶体内含有铬离子(Cr3+)时，会使晶体呈现红色，而成为红宝石(Ruby)。又当晶体内含有镍离子(Ni3+)时，会使晶体呈现黄色，而成为黄色蓝宝石。蓝宝石晶体在晶体的对称分类中属于中级晶族，三方晶系。基本结构二、蓝宝石Al2O3分子结构蓝宝石晶体结构图（其中黑点为氧离子，白点为铝离子）蓝宝石单晶是一种简单配位型氧化物晶体，呈各向异性，属六方晶系，晶格参数a=b=0.4758nm，c=1.2991nm，α=β=90°，γ=120°。蓝宝石单晶的透光范围为0.14-6.0μm，覆盖真空紫外、可见、近红外到中红外波段，且在3-5μm波段具有很高的光学透过率；具有高硬度(仅次于金刚石)、高强度、高热导率、高抗热冲击品质因子的力学及热学性能；具有耐雨水、沙尘、盐雾等腐蚀的稳定化学性能；具有高表面平滑度、高电阻率及高介电性能。这些优良的光学、力学、热学、化学及电学性能决定了它在军事及民用领域中的重要地位和作用。基本性质（1）化学稳定性：蓝宝石具有高度的化学稳定性，在绝大多数化学反应过程中不会被腐蚀。（2）机械特性：蓝宝石单晶因其高硬度和高强度，可以在温度范围从超低温至1500℃高温之间的不同环境中保持高强度、耐磨耗与高度的稳定性。同时是目前已知的硬度最高的氧化物晶体材料，仅次于金刚石达莫氏9级。（3）光学透过率：蓝宝石单晶材料的穿透波长范围为0.19nm-5.5nm，加之其优异的化学稳定性，抗磨损，高硬度和耐高温等特性，使蓝宝石制作的窗口片和传感器光学零件广泛应用于高真空系统、高温炉及其他苛刻的环境。（4）热力学特性：2050℃左右的熔点，加之优越的化学、机械及光学特性，使蓝宝石晶体广泛应用于许多苛刻的加工环境中。（5）耐磨损性：由于具有很高的硬度和透明度，是蓝宝石晶体常用于制作耐磨损窗口或其他精密机械零件。

（6）介电性能：有电介质绝缘、恒定的介电常数。

（7）蓝宝石还具有高拉伸强度、抗冲刷性、热导性、显著的抗热冲击性等性能。晶体性能化学式Al2O3晶体结构六方晶系晶格常数a=b=0.4758nm，c=1.2991nmα=β=90°，γ=120°空间群R3c单位晶胞中的分子数2光学性能透过波段（μm）0.14-6（其中在0.3-5范围内T≈80%）dn/dt（/K@633nm)13x10-6

折射率n0=1.768

ne=1.760吸收系数α3μm—0.00064μm—0.0555μm—0.92折射系数n3μm—1.7134μm—1.6775μm—1.627机械和热学性能密度（g/cm3）3.95—4.1莫氏硬度9（仅次于钻石：10）杨氏模量（GPa-1）380断裂强度（MPa-1）400弯曲强度895MPa抗压强度2GPa熔点（℃）2040—2050沸点（℃）3000热导率（W·m-1·K-1）24热膨胀系数(K-1)8.8×10-6比热(J/g)0.782热容(J/mol·K)77泊松比0.27—0.29电阻率（Ω·cm）1014介电常数（F·m-1）11.5（∥c），9.3（⊥c）蓝宝石晶胞（R面、A面、C面）常用来做GaN衬底的是不具有极性的C面（0001），因此GaN的极性由制作过程决定a）从C轴俯看；b）从C轴侧面看三、蓝宝石的应用蓝宝石以其综合性能最好，成为使用最广泛的氧化物衬底材料（substratematerials），主要用作半导体薄膜衬底材料、大规模集成电路衬底等。蓝宝石晶体还是红外军用装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光(laser)等的优良窗口材料(windowmaterials)，优质光学材料，耐磨轴承材料等，尤其在导弹整流罩、潜艇窗口和原子钟等军品中具有不可替代的作用。在其它民用方面，蓝宝石还可用作透明电子材料、灯管及视窗、半导体晶圆承载装置、热绝缘体、热电偶、紫外红外光学窗口以及重力波探测仪器。光学窗口和整流罩综合性能优良的红外光学窗口及整流罩是高速飞行器系统中的关键部件，其材料必须具备在使用波段的高透过、低散射、高硬度、高强度、低弹性模量，高熔点、高热导率、高抗热冲击品质因子、低热辐射，耐喷气燃料、冰雹、雨水、海水、盐雾及砂粒的冲刷和腐蚀，耐强光辐照等一系列优良的综合性能。

金刚石虽有最理想的光学、力学和热学性能，但因体金刚石用作独立的红外光学窗口和整流罩尚存在一些技术瓶颈而离实际应用还有一段距离。

氟化镁(MgF2)虽有良好的光学性能及成熟用蓝宝石单晶做成的红外光学窗口和整流罩，的制备技术，但其机械强度很低。

氮氧化铝(AlON)虽有较高的机械强度，但其截止波长较短，且其透过率随温度变化明显。尖晶石(MgAl2O4)虽有较高的熔点及良好的化学稳定性，但其抗弯强度不高。蓝宝知石单描晶制膨作的妙整流控罩已诊广泛扰用于旺机载晌、星纺载、鹊舰载豪以及役潜基炕、陆篮基光坦电设柳备，怨尤其蛾在高堡马赫蔬数导类弹整那流罩秤、透北明装也甲、优潜艇召窗口谅以及鸭高功松率强鞠激光枕等军芽用设衔备中泄的地民位和筛作用叔不可末替代摘。如掉：美勾国海蠢军战围区防愧御系思统截仓击导俘弹、肌斯普言林特枣防御斗拦截摔弹(H蹦ED在I)、美哥国第遇五代海近距砍空对尺空导炭弹(A菜M–傅9X菜)、以苗色列策新一货代近爪战空姓对空龙导弹(P士yt干ho切n5闷)以及敏已安面装于端美、覆德、屠韩和南希腊仓等国机军舰振上的歌导弹(R洁M–舟11备6R罪AM庄)等都韵使用警了蓝终宝石由整流森罩。掺钛苍蓝宝沈石激润光器困及其饲应用掺钛美蓝宝寒石单肝晶(T歉i3+:A磁l2O3)的激互光应蹈用最间早于19患82年被讯发现事后，蔽对其赚研究避不断榨深入厨，以Ti壮:A测l2竖O3作为爬工作慈物质恼的各谁类激苦光器孟也迅典速发让展。Ti3+:A已l2O3激光槐器为垮科学黄研究拉提供孝了便舰利和狱灵活戏的研正究工授具。叔与其别他具询有竞屋争优硬势的械激光症材料猪相比抬，其吧主要译特点徐是：（1）光岛谱输借出范览围从怪超窄落单一炊频率者到宽执的带邪宽，榴覆盖猜几百击纳米饮，可疾提供贯超快亦脉冲(仅为选电场腾的几冻个振矛荡)；（2）宽宣的可寇调谐妨范围才，可渡达40帮0n乳m；（3）高省功率坡。如慕对于党全固怠态可集调谐Ti3+:A呀l2O3激光傅器，帝天津敏大学俯和中遵国科尾学院此物理全研究苦所已汁分别胃实现6W魂(其转余换率灶为22螺.2虫%)和6.瓣44盈W(其转明换率摩为40主.2蚊5%可)的激千光输图出。目前烘，Ti腹:A洁l2O3激光哨器已巧实现约脉冲貌、准安连续以、连马续、臭锁模兽运转泳，已沙涉及界激光夜器研极究领穗域的姐各个第方面怪，包派括：目提高缝输出测功率据、扩裳大调伤谐范妥围、果压缩猜线宽搬、稳幸频以棵及提容高光扩束质奶量等哲。Ti岁:A剥l2O3激光呀器在杨基础晨学科(如物圾理学浪、生结物学托和化先学)研究控方面笼已取敏得广铅泛应湖用。液因Ti设:A饺l2O3激光挑器的性使用窑，研忠究化季学反踢应(如：额化学魂键形忽成与西断裂璃、分赴子间灿能量政传递吸、分谨子重必新构佩建等柏所需落的时洗间范然围)超快邮时间伶表(u茂lt熟ra朽fa任st两t扬im蜡es杨ca膊le致s)的飞卸秒化战学取彩得了名巨大宇进展在；用由于超盛快脉经冲放旺大及趣光谱嫂相位州控制戒的设惹备性反能也口得到矛了很掘大提舌高。Ti牌:A塌l2O3激光覆器还创应用附于非畏线性鱼物理芹、太女赫兹扰产生更、时略间分沾辨光虽谱学斑、频倾标计五量学或、多侦光子谈显微馅镜及潜生物机医学竟成像茂等基浅础研发究方嫁面。Ti夺:A划l2O3激光瘦器在领军事绩与工任程方大面也扯应用口广泛袋。如翅激光鼻测距营、光柴电干窄扰、拢红外差对抗谨、致变盲武农器等尾军事下领域叫，以赞及激窗光通裳信、弊海洋浸探测木、大刃气环锋境监估测、体激光姜手术俊及微务加工身等诸卵多领新域。掺杂仰蓝宝姑石单粗晶热(光)释光椒材料鞭及其聪应用α-蓄A醉l2O3:C晶体驱用于抵制造思热释秘光探检测器男主要排有以她下特塌点：（1）热痒释光肺灵敏努度高窗，为烫常用驰热释竞光晶煎体Li路F:伶(M脾g,屈Ti)的40束—6够0倍；18详7℃附近拦的发呆光峰转型单给一，夺有效楼原子拔序数枝相对揪较低(1碌0.探2)；（2）低锤本底筐剂量库响应见临界宝值(1胳0-6Gy费),辐射叹剂量黄响应环为线帖性—亚线迹性，嘱线性春响应树范围按宽(1屠0-腰6—帜10拢Gy娘)；（3）α-艺A搅l2O3:C晶体42槐0n寨m处的烈发射包峰正驴好处签于光沃电倍专增管厨响应映的最霜佳峰森值，冶在低绑剂量兼条件耽下，α-赔A哭l2O3:C晶体叨探测棋器可愚重复辆使用惨且无遍需退镜火处益理。蓝宝君石单刮晶最嫩早于20世纪50年代哑被美张国Wi钞sc捉on瘦si蝴n大学存的Da指ni续el答s发现治具有忧优良妇的热弊释光(th唇er因mo凶lu榜mi价ne盐sc盒en逮ce，TL向)性能昆，但姑它对γ射线盘的热询释光既灵敏竭度很替低。客为改踪蝶善蓝丢宝石府单晶芬的热抽释光梅性能仆，相泪继研还制了秤一系萍列掺渣杂的欠蓝宝研石单戚晶热再释光炼材料渣，如α-讲A避l2O3:(姐Mg，Ti，Y)、α-钞A便l2O3:C颠r和α-银A牙l2O3:敢(S洁i，Ti嫁)。19挑90年，Ak艘se睁lr续od等采惧用提童拉法祖生长愧了一烂种优美良的政新型群热释价光材粒料α-样A彩l2O3:C晶体团。19亩95年，Ma挺rk钩ey等首墙次研蛾究了α-惜A选l2O3:C晶体镰的光介释光(o名pt略ic秋al货s意ti捐mu钢la哭te让d何lu霞mi残ne遥sc穴en摘ce，OS兰L)性能滴。目前犁，美素国La剩nd亮au度er公司棵研制辅生产芦的α-罗A员l2O3:C热释喜光剂姥量计程已被躬欧美路国家迁广泛岔使用招。国内拘关于α-佣A崭l2O3:C晶体扣生长像以及α-添A辣l2O3:C剂量瓜计的场研制喂起步伏较晚文。20档08年，比中国驴科学旷院上肃海硅第酸盐定研究袖所杨丢新波口等采猛用导绪向温鸣梯法界和导象模法伞分别粮生长刘了可胀用于闸制造守高灵陶敏度变热释花光探厌测器庄、热食释光顶和光饮释光请探测饿器的α-扇A缠l2O3:C晶体允。蓝宝会石光亡纤传爪感器俱及其舅应用蓝宝言石单羊晶光任纤传盒感器灯因其仿在可吨见至拴近红饺外波裤段具返有良桂好的子光学朽传输像特性宿及蓝泡宝石绿单晶村的耐招高温欠特性近，使卖得蓝注宝石雕光纤筋可应泛用于斑高温枪传感山和生醋物医察学领遮域的流近红柱外激址光传山输。蓝宝疾石单燥晶光幕纤温台度传玩感器姜除了按具有侄普通私光纤突温度适传感真器的份动态塘范围扛大、船灵敏昏度高奖、响碑应快痒、抗疼电磁槽干扰数等优宇点外文，还精可以父实现版大范皮围(室温—2屯00贸0℃板)、高淡精度(0典.2早%，10场00刑℃时)、高次信噪板比(1布×1兵06天dB，10萄00赚℃时)、大趟带宽(1汪0k突Hz爷)的温枕度测帖量，艺并广炒泛应宪用于渔等离孙子体猾沉积浑、高值频电贤加热裹炉及绑高温泉热气严流等浆领域鞭。蓝宝裙石光敲纤传特感器造除了险用于忌测量盯温度议及近自红外篮激光喉传输魂外，松还可港以连你续监们测高材达16障00摊℃高温恼环境枯中系全统的侦运行让情况最，如渔：结滨构性秘能、狡材料愧劣化越，以而及测沾量诸宵如压俊强、誓应力伯、应善变和胳化学岁物质织浓度肥等物洒化参嫩数。蓝宝犬石基锹片和轧衬底蓝宝谅石单乖晶因赤其优孙良的剥机械叹性能妖、介诞电性胡能(适中事的介诵电常士数和磁较低播的介泉电损叮耗)、化箱学稳性定性陈以及椅高表予面平尚滑度挤而成筐为制唇备高偏温超旦导薄福膜、话红外阴光学虎材料苏、微逝电子乒器件识等的文最优痰质基蔑片和探衬底敞材料彻，具针体包脆括：（1）高敢温超航导薄添膜的伪衬底控，如Tl系薄割膜Tl乘Ba2Ca2Cu3Oy、Tl2Ba2Ca祖Cu2O8；（2）红麦外光瘦学材窄料的抖衬底壮，如鹿近红楼外材宵料的赞碲镉剥汞晶绘体(Hg俊Cd谱Te)，Ⅲ-枪Ⅴ族化鹿合物旱的砷胁化镓(Ga怀As)、磷口化镓(Ga盈P)、氮俯化镓(Ga撤N)，Ⅱ-兔Ⅵ族化符合物凳的硫胖化锌(Zn冒S)、硒失化锌(Zn羡Se)、碲叙化镉(Cd司Te)、氧堵化锌(Zn适O)、Si鄙O2及金援刚石底等；（3）大障规模独集成督电路啦元件币及微丹电子阳器件姐的基消片，樱如高贩亮蓝谈光LE无D等。LE往D因具睬有高坦效率杂、长奋寿命(连续姜工作扯时间屿达几凤万小央时)、固胳体化避、低数工作蚊电压(2懂—4拦V)、低爸功耗(1字0—主10耐0m监W)、响睡应速敲率快(<侦1μ违s)、驱帅动电岂路简勤单等调优点亿，使上其应渐用涉啦及多存个行森业，锦如景惩观、域装饰嚼、照穗明光皮源及很通讯革光源得等。岭随着LE帮D的主统要材雕料Ga言N外延游生长触技术暑，金迟属有姜机化愧合物坏气相匠淀积(m脾et诉al扔o点rg剖an而ic跨ch抗em态ic泰al通v焦ap虫or凭d男ep太os甚it颂io盘n，MO由CV误D)技术痰的不杠断改府进，驾以及膊器件咱制作脑工艺胜的日忧益成参熟，备目前岩已形烟成了即从红笋外、混可见女光及绍少量灾紫外壁多个虽波段博的固绑体光昌源。蓝白妖光发铅光二拳极体(L车ED幕)—(a督)外观(b植)内部些结构点示意岭图衬底叼材料剩要求（1）衬攻底与虚外延晶膜的牌结构邪匹配着：外价延材歌料与利衬底旅材料犬的晶剧体结奔构相协同或陈相近第、晶雪格常才数失冷配小锁、结晒晶性珠能好当、缺汗陷密蕉度低悲；（2）衬默底与悲外延善膜的泽热膨膏胀系符数匹社配：勾热膨释胀系铸数的翻匹配灭非常奸重要暮，外贼延膜姨与衬屠底材锡料在臂热膨细胀系纱数上摊相差楼过大叙不仅慕可能诸使外矮延膜浩质量臭下降薄，还军会在环器件启工作弊过程育中，凤由于厌发热软而造馅成器豪件的皂损坏骄；（3）衬哭底与揭外延霜膜的沾化学壤稳定壶性匹琴配：状衬底画材料概要有秆好的裤化学豆稳定驶性，笋在外勇延生控长的踢温度神和气值氛中倍不易郑分解判和腐矮蚀，杰不能妨因为比与外协延膜样的化狱学反凭应使检外延萄膜质衡量下音降；（4）材抽料制既备的琴难易穗程度学及成促本的馅高低花：考屠虑到摔产业桥化发剃展的升需要菌，衬枕底材粗料的挥制备狼要求祥简洁龄，成邀本不股宜很铅高。映衬底怖尺寸捧一般纠不小刷于2英寸趟。蓝宝瓶石衬细底蓝宝递石衬罢底有次许多痰的优点补：（1）蓝宝燃石衬闻底的芬生产应技术仔成熟举、器腊件质尺量较喷好；（2）蓝萝宝石劝的稳闻定性铃很好贪，能询够运沾用在镇高温程生长刷过程基中；（3）蓝炭宝石绪的机猫械强哀度高倾，易东于处擦理和悦清洗军。蓝宝招石衬懒底缺点进：（1）晶袍格失俗配和词热应导力失悔配，预这会赏在外昂延层鞠中产茫生大登量缺羞陷，化同时蔽给后和续的喇器件弃加工泳工艺桐造成影困难毫；（2）蓝赌宝石傲是一援种绝堪缘体汇，常皆温下蚀的电佩阻率丹大于10蹄11叼Ω•缴cm，在锄这种毒情况辞下无妙法制饮作垂影直结巷构的衡器件蹈；通似常只揉在外今延层桥上表奥面制约作n型和p型电够极；蓝宝董石外塑延层吧上表绳面制婆作的n型和p型电悲极（3）蓝钩宝石凝的硬玻度非时常高淡，在胶自然里材料临中其伐硬度律仅次樱于金雀刚石母，但智是在LE肠D器件盼的制懒作过良程中炮却需眠要对形它进鸣行减券薄和宋切割社（从40验0n军m减到10虫0n导m左右岔）。僵添置团完成荷减薄晶和切农割工序艺的醒设备渗又要缎增加引一笔磁较大卫的投饶资；（4）蓝掩宝石隆的导倦热性绕能不那是很阀好（侄在10途0℃约为25余W/（m•巧K））哥。因母此在熔使用LE镇D器件遣时，好会传胜导出偶大量刑的热席量；睁特别沈是对宝面积忧较大正的大辱功率止器件挖，导壮热性谈能是恶一个钓非常择重要匹的考膊虑因捕素。谎为了拥克服坟以上蛇困难宫，很稿多人观试图胶将Ga妈N光电垂器件支直接崇生长浊在硅励衬底疲上，沟从而评改善排导热叶和导庄电性酷能。光学殊元件位、探否测窗仗口及醒其它布应用蓝宝轰石单期晶因堡其理邪想的坑光学基性能断及机故械性杯能，云可制搅作成炮实验卫用的猪光学衣元件购，如痕透镜忙、棱殿镜及厦反射麦镜；份以及榆科学设研究山用的曲探测失仪器扣，如两重力傲波探荒测仪权等。汉蓝宝翁石单困晶因骨具有该宽透蕉过波寄段、贪高透末过、挤高强鉴度、雀耐高盯温、毛耐磨刚损、猫耐腐监蚀，求而可沿用作井在各肠种高谎温、世高压汗等恶嘉劣环般境下厌工作东的设哨备及倦仪器孝的观度察窗埋口和拳探测陕窗口胁，如咬：耐萍高温缩慧的热椅电偶贯及锅阁炉水盒位计绩，耐忧磨损华的商槽品条懂码扫颤描仪明窗口闻，耐工腐蚀泻的煤细、气蒜、油到井探骄测用幻玉的传损感器敞及探傍测器绣窗口辜等。在其纪它民汁用方喂面，填蓝宝惕石还放可用献作医勉用手蜻术刀菊具、西精密惹仪表固壳体损、精缸密机头械轴具承及陶高档践钟表短、首帐饰。迎还有捧各种越杯具避器皿说、透摇明灯烦具及蝇护目防镜片灶等。四、滥蓝宝谷石晶翼体生减长世界雾上主扛要的插熔体异生长桂方法欢包括返晶体提拉规法、导模耍法、热交是换法、泡生锦法。提拉嗽法(C梅zo阴ch指ra展ls姐ki涝m沙et断ho套d)先将舞原料丈加热楼至熔昂点后围熔化距形成惜熔体霜，再纸利用运一单敲晶籽拼晶接阿触到山熔体蠢表面错，在扯籽晶恰与熔落体的右固液排界面寄上因简温度说差而章形成县过冷流。于投是熔揉体开免始在我籽晶冈表面步凝固酿并生呼长和商籽晶脖相同覆晶体怨结构遗的单踢晶。搬籽晶鹊同时查以极首缓慢油的速秤度往怨上拉猛升，升并伴甜随以涝一定摇的转台速旋风转，负随着丝式籽晶拣的向候上拉工升，六熔体洁逐渐技凝固什于籽霉晶的慈液固麦界面贪上，兼进而你形成舌一轴坊对称不的单辩晶晶圣棒。提拉尘法(C绩zo谨ch份ra潜ls脑ki支m倦et该ho侨d)原理夕示意接图提拉酸法的肌主要进优点固：（1）在盆生长绩过程岁中可你以方强便地恼观察届晶体粥的生弄长情忙况（2）通荷过调代整发车热体首、坩刊埚、办后热热器（站或保避温罩练）的诉几何指条件毫，可堪以方唯便的柱控制使温度尚梯度（3）通严过改茫变转飘速或坛加入招阻流饿器也隐可以章调节帐液流（4）晶净体在乡丰熔体出表面两处生楚长，横而不宇与坩云埚相吩接触土，这虽样能取显著急地减页小晶秆体的刊应力观，并夜且防旦止坩伞埚壁些的寄构生成努核（5）可殃以方朋便地亚使用塔定向金籽晶捆和“粗缩颈针”工罪艺，卡缩颈揪后面铲的籽怀晶，裁其位环错可明大大做减少颈，这岂样可菠使放督大后善生长故出来刘的晶努体位饭错密码度降外低，振获得读所需污取向脾的晶孝体。提拉漠法的首缺点仁：（1）在缘瑞高温邮下，幸坩埚叠及其袍他材车料对送晶体于的污姓染不灰可避讯免；（2）熔坊体中归复杂滴的液糖流作奇用对涝晶体懂的影握响难为以克爷服（3）机升械传奔动转筋置的豆振动齿和温浮度的第波动裕，会钩在一邮定程要度上况影响而晶体唱的质穴量。提拉碗法生横长蓝洋宝石点单晶屿的主迅要优枣点：（1）晶乘体的垦生长岸速度艰快，芳周期姑短；（2）在啄晶体陆生长艘过程在中可奸方便忍观察行到单对晶的卖生长趁情况野，即帐可控箭制晶跌体的察尺寸懂；（3）单轻晶在疗熔体遗自由霜表面获生长余，不牺与坩城埚接庆触，典可防颈止坩芒埚壁搭的寄娇生成刊核；（4）可似降低牌位错谣密度泪，提顾高单渐晶的针完整姿性。烧主要忧缺点笨为：矮晶体芹与坩学埚转袋动引无起的封强制法对流橡和重锅力作救用引院起的将自然拢对流陪相互赢作用命，导明致复堂杂的芬液流码作用秆，从忘而容趴易在幕晶体离中产怎生缺暮陷。利用享提拉鲁法生糠长高返质量员蓝宝杰石单稿晶的米必要施条件眼：（1）原粗料纯起度不枕小于99艇.9复96优%的Al2O3粉体亲或者凝块料殿；（2）加掉热炉惨内温依度恒溜定；（3）理燥想的涉提拉损速率3.陷5—尿4.荒5m召m/锣h，转缓速为42装—5毁5r窃/m坟in；（4）加届热前苏，炉眨内真艳空度赶应保容持1.唱33橡×1杠0-吨3—危4.瞒00批×1盗0-2Pa，然催后充仗入纯粱度为99欲.9腊9%以上绪的氩摊气保忙护气假氛。浙江袖巨兴收光学振材料禁有限窑公司川已采码用提南拉法收生长型出Φ2畜00跳mm掏×1携80左mm的大谢尺寸邻蓝宝唇石单乱晶。泡生外法(Ky篇ro贤po印ul属osme等th伍od朴)先将耐原料视加热即至熔粮点后撞熔化代形成叠熔体妻，再絮以单姜晶的逗籽晶(S邻ee炸d绪Cr撞ys厘ta雷l，又窜称籽愈晶棒)接触命到熔桌体表招面，唐在籽傅晶与失熔体挽的固芒液界败面上乳开始齿生长读和籽沿晶相仙同晶环体结砖构的漆单晶胸，籽偶晶以滥极缓障慢的舱速度逃往上束拉升偿，但锅在籽袜晶往沉上拉爆晶一叛段时尸间以跌形成冤晶颈同，待塔熔体拨与籽耐晶界近面的攀凝固农速率臣稳定笨后，前籽晶厘便不交再拉锯升，玩也没小有作顷旋转与，仅泄以控晒制冷淘却速璃率方站式来谜使单白晶从仔上方愿逐渐个往下隶凝固沈，最西后凝慌固成秆一整眉个单壤晶晶住碇泡生宅法(Ky供ro乘po乳ul郑osme椒th款od传)原理龙示意衣图泡生螺法是迈利用侨温度泳控制技来生讨长晶仔体，猫它与寺提拉卷法相却比，猜泡生宋法虽病然在疲晶体殃生长屯初期栗存在怖部分匀提拉匆和放拨肩过而程，崖但在握等径排生长链时，沉晶身驱部分慨是靠榨着不齐断降喷温形娇成结奔晶动帖力来忧生长抚，不秋使用摸提拉竖技术架，并震在拉葬晶颈美的同眯时，雹调整喉加热伞电压港，使坐熔融绞的原寻料达遭到最很合适宽的长小晶温宰度范浆围，总让生层长速喘度达弦到最应理想咳化，乏因而豪长出康质量初最理床想的庆蓝宝御石单乐晶。泡生笼法生带长装数置示慰意图它（1.运转崖的金亮属杆2.籽晶晋杆3.加热贪线圈4.籽晶5.熔体6.耐高泊温材闪料7.上保侵温层川）泡生幸法主留要优淹点：（1）结掠合了礼传统赴提拉近法的友优点甲，生室长速原度较停快（0.悼1—懂25融mm拿/h）；（2）在巾整个申晶体黄生长补过程户中，荣晶体押不被逆提出灭坩埚规，仍捏处于桑热区痛。这罩样就断可以蚂精确斯控制祥它的闻冷却姐速度看，减朗小热女应力比，避臣免坩苹埚污欺染；（3）晶膛体生再长时叫，固盘液界垃面处键于熔膛体包亮围之锄中。惑这样许熔体愧表面狗的温止度扰菠动和芬机械倾扰动型在到陪达固扒液界硬面以嗓前可召被熔斑体减壳小以叉致消丧除；（4）选煤用软碑水作获为热及交换笨器内拢的工矿作流庸体，绝相对授于利膏用氦渔气作尾冷却电剂的竿热交猛换法桑可以别有效吓降低幼成本奏；（5）晶茂体生淡长过计程中孝存在雾晶体括的移访动和脉转动辞，容趟易受哨到机蕉械振师动影踪蝶响；（6）可蜡生长盲大尺诞寸、蔬高质皇量蓝赔宝石谁单晶乱。泡生娘法主迷要缺光点是红：为获毕得高俘质量惠的蓝给宝石炼单晶退，需愉提高拼炉腔传中坩拦埚外络壁的都环境港温度暑（即国炉腔外中的范温度鲁），疗而该类温度勾受加浓热元蚀件的赤形态塘及加柱在加养热器慎上的母电压够和电夹流等队因素刃影响炒，因赢而提窃高温染度必巴将造吃成生邀长设陆备的敢严重躁损耗炭。因凯此需重要从页晶体雀生长们质量周与经免济性苦之间白有所写侧重军并折哭中考霞虑，捎方能匙获得可最优五化效竭果。采用燥泡生降法生臭长的蜘蓝宝浓石单溪晶具歪有以伍下的交优点：1.高质壳量(光学乖等级)。2.低缺期陷密慨度。3.大尺压寸。4.较快壳的生病长率套。5.高产志能。6.较佳引的成越本效裤益。泡生尺法生喂长晶狼体的午一般席步骤延：1、前阿置作健业在实狐验开岛始前老必须潮彻底密检查薯炉体露内部鼻是否谨有异歉物或今杂质片，因薪为在悄晶体铸生长驾过程瞧中，旅炉体务内的老杂质亲或异搬物会华因高构温而牧造成御晶体监受到艰污染岸，而滩影响及晶体幸的质烈量，禁因此脾在实础验开茅始之立前，炉必须骆将炉蔽体清汤理干净净，授降低佛杂质皆析出轧的可靠能性嗓。2、填崖充原辅料及池架设鹿籽晶以电蒸子秤犁量取书固定悠重量烂之原置料并朝装填狱到坩锯埚内哑，由角块料扒与粉拳料依枣预定纺之比抄例组裕合而溉成。喇摆放灿时缝茫隙愈势少愈磁好，什以达惜到充觉填致旗密之况效果框。原膜料填缎充好霞后，由将坩停埚放份进炉京体内尸加热蔑器中问央，御此时泄必须却非常夹小心劫，避叼免坩察埚碰易撞到剪加热质器而茂造成腾加热跃器产配生裂贴缝或煎断裂恰。架设股籽晶(籽晶伍棒，Se仗ed椅)是将权籽晶即固定倒在拉谷晶杆扣上，缠以利盐下籽直晶或上取出师晶体蜻时可藏用拉配晶装饼置来胶控制族高度齿，由大于晶叠体生纽奉长过计程的丝式温度仰很高怒，所裙以架饲设籽穴晶时净，须撒以耐沟高温筋之钨辛钼合导金线业来固慰定籽绢晶。3、炉伴体抽假真空将炉娇体上社盖紧瞧密盖悉于炉泄体上燥方并陈转紧背密封昂螺栓持，启梢动电疯源，言使机野器运读转并渣开始懂抽真匠空。鼓抽真肯空时小，先金开启古机械趁泵，桥于1小时策后再露启动掀扩散此泵，勉当扩他散泵辣启动1—早2小时降后，厅再开慕启炉颂体阀丽门，控将炉潜体抽离真空欲。需巧时约2—挡4小时郊，真眉空度袜达到6×坊10-3Pa时，江才能劈燕进入赏加热语程序得。4、加兴热程过序当炉父内真促空度夸抽到卖实验棕所需战的压化力范鉴围时(6明×1顾0-3Pa娃)，就勇开始备加热森，以2V驳ol谣t/小时谣的速秘率自绍动加药热。唤图7则为繁炉体鼻加热特时由种窥视耻窗观种察炉聋体内宪部的烧情况戴，可泄看见习未熔警化之偶块状摇原料蜜与架蝴设好取之籽何晶。炉体捏加热容时观塘察到园的炉现体内辩部的台情况5、原呈料熔幅化大约穷加热稳到电追压约10罚—1杯0.白5V砍ol假t时，路推估区温度唯达21练00胃℃（蓝书宝石朵的熔避点约20大40辰℃），宁可使狮原料识完全忘溶化灶，形拜成熔惜体。吗在实者验过赚程中耀，以胶电压低值来洪推断慢温度晚。氧化族铝原雷料熔衔化后愿形成怪熔体清情形6、下洒籽晶当原瞎料完假全溶萝化形钥成熔丧体时堂，必枕须让剖熔体河持温命一小胞时，得确保抢熔体栋内部盈温度销分布拨均匀谅且温拼度适荒中，抢才可劝下籽慰晶，拒若在稍熔体运表面拍有凝块固浮宰岛存遍在，屯则需陪再调套整电罩压使厘凝固屈浮岛伐在一锅段时映间内翅消失叶。在下继籽晶在前，奋必须麦先作躺净化辞籽晶遥的动圈作，讲净化仇籽晶滑是将受籽晶涝底端悄熔化仆一部静分，呀使预修定生锣长晶没体之谢籽晶牢表面见更干乎净，垮以提绢高晶射体生这长的陕质量熔体守表面职有凝消固浮队岛的顿照片（a）多障边形节（b）长印条形下籽短晶照孩片7、缩妈颈生今长当籽布晶接蚀触到愧熔体暑时，凶此时溜将产苏生一保固液乡丰接口伞，晶吓颈便里从籽春晶接督触到污熔体美的固借液接市口处录开始芒生长孟。Ky拿ro荐po河ul贼os方法膊生长锋蓝宝驳石单衔晶，售需使芬用拉炼晶装至置来肆拉晶泊颈部嫌分，点这个透阶段剃主要麦是判亦断并扑微调下生长亩晶体追之熔奋体温积度。签若晶逆颈生讨长速睬度太骗快，量表示斗温度评过低猫，必梨须调预高温错度。缩慧若晶徒体生稠长速陆度太廉慢，壳或是宇籽晶医有熔搅化现币象，促表示轨温度窄过高壶，必翻须调足降温催度。冷由缩芬颈的欺速度暴来调担整温颗度，葵使晶值体生疏长温依度达凑到最叨适化垒。晶生备长（a）示渠意图类，（b）实恩际情愈形照搞片颈8、等耐径生茅长当温果度调温整到兴最适牢化时木，就垃停止川缩颈心程序蜡，并螺开始荒生长论晶身阳，生坛长晶士身时狐不需芳要靠删拉晶舞装置大往上树提拉保，此肠时只锁需要灵以自作动方滔式调幕降电讽压值捡，使难温度英慢慢病下降煮，熔贝体就倾在坩突埚内亮从籽李晶所饺延伸冈出来殊的单宣晶接垄口上狸，从物上往光下慢慕慢凝舟固成揪一整女个单配晶晶向碇。晶体型开始南生长指时期暂照片9、晶撇体脱修离坩别埚程津序从重柔量传谈感器昌显示淹的数茫据变辰化，寺可得衡知晶织体是庆否沾蛇黏到而坩埚惕内壁宫，当趣熔体吼在坩讽埚中突凝固趣形成举晶体培后，恼晶体躁周围屿会黏笛着坩歌埚内猎壁，彩必须寄在晶袜体生浙长完魂成后图使晶旦体与写坩埚拼内壁仍分离信，以树利后佣续之在晶体绕取出壁。使用旋的方板式是抢瞬间挣加热烦，使爬黏住繁坩埚磨部份亡的晶鸣体熔插化，锁从重涝量传荡感器魔显示厚的数料据可泰以得柱知晶冻体与讲坩埚妄是否长分离绞，当琴晶体码与坩佛埚分袋离后软，必脱须继侧续降投温，休否则疑会使谈晶体雄重新或熔化恶回去攀。10、退滥火晶体婆生长泉完毕允又完袭成与婆坩埚竞脱离崖程序捡后，兄必须阁让晶零体在猴炉体滨内缓食慢的辟降温掩冷却锦，利斩用冷当却过旺程来谈使晶银体进垮行退似火，锣以消讲除晶山体在因生长去时期侦内部岗所累盆积的构内应察力，己避免扭所残穿留的炕内部查应力楼，造润成晶浓体在泥降温华时因比释放蒙应力名而产秋生龟践裂。李待完影成退浊火后价，关雁掉加眠热电中压，书继续新冷却牌，当柔炉内衰温度艳降至胞室温患后再狂取出帜蓝宝看石晶稻体以选继续授后续迈的分品析程遥序。11、冷桂却经过澡一整裹天的果降温显冷却除，待钩晶体粒完全作冷却屿至室钱温后写，再恋打开赛炉盖猪，取婆出晶防体。12、晶遥体检逮测程秘序首先严以强灰光照伞射整马个晶牵体，弓观察拴晶体渡内部拌之巨同观缺闯陷。崭接着应从侧味面选厨择C平面(C轴)位置锻钻取洗晶圆辛棒，梅切取仪晶圆鸣片，洒再针蒜对晶够圆片黄进行膜微观兆缺陷雷检测怕，并启计算宏单位氧面积怕所含砍之差抬排密末度。泡生类法改占进20洞05年，己韩杰停才等涨在对另泡生条法和皆提拉籍法改抄进的贷基础菠上发默明了矛用于丛生长壶大尺狼寸蓝浸宝石战单晶赶的方幻玉法：看冷心葛放肩跳微量宫提拉疼（sa躲pp睛hi划re决g飞ro侄wt芦h故te建ch巡寿ni扫qu丑e外wi牺th彩m睬ic馋ro还-p僵ul舌li度ng末a有nd浸s叼ho挥ul层de狗r-延ex绢pa背nd猛in顿g蚊at笋c复oo班le舰d卷ce有nt宇er，SA炸PM普AC）法党。SA虾PM把AC法生摆长蓝深宝石密单晶控的过提程大待致可麻分为救：真巡寿空条惑件下狭加热开原料晨、引仰晶、幼冷心秧放肩品、等雕径提描拉、芒收尾协和退购火及并冷却缩慧阶段啊。根孝据蓝带宝石阳单晶研生长灭的不忍同阶眼段特默点，刊结合功晶体请的热厚物性腰能与恩温度秧的关沫系，歇对温匠场进颜行优早化，米选择1.土0—钞5.卧0m划m/在h的生巾长速案率和10竟—3毒0℃疫/h的降够温速厚率进弃行蓝纽奉宝石居单晶洲的生蛮长SA卷PM梦AC法生螺长装比置示俱意图与传唤统泡登生法高相比舍，其秩特点愁为：（1）通太过在蓬“冷旷心位同置”新（与沉坩埚架几何逮中心巡寿相对裙偏差胡不大蚕于Φ=床20凡.0羽mm）处榨放肩窑，使扑得在博整个尊结晶泰过程彩中，伯蓝宝薪石单受晶的少晶向跳遗传针特性肯良好界，即嗽可保离证高拨质量陵蓝宝帆石单宗晶的拦生长赏；（2）通包过高锋精度镰的能矿量控恐制配愁合微军量提吴拉，斑使得过在整喝个结巧晶过坝程中堆无明雪显的阻温场岭扰动葡，产偷生缺阻陷的达几率膛明显匹降低程；（3）在思整个恰晶体迫生长软过程疗中，量晶体能式中征处于蹄坩埚绵内，扛即一全直处签于热迅区，挤可精应确控杜制其售冷却支速率皮，减歪少热区应力丸；（4）材睁料综抽合利梨用率算是传烂统泡肃生法陈的1.磁2倍以不上；（5）在播引晶程和放上肩阶说段引包入提饮拉基脆质，派并通颈过合伍理的持温场辽设计此与工店艺控聪制，挽保证肆在熔阿体冷嫂却处永引晶耐，克僚服了扑传统确泡生朋法只胜能生暗长大悠直径松、但探高度依较小薄的不悟足；（6）在腾降温度过程特中，史晶体队可以最实现雁原位涉退火谨，即甘可降拳低氧垫缺位执，并谜可简屈化程槽序、更节省希能源谢。直径24臭0m怖m，长21湾0m范m蓝宝凝石晶联体直径30峡0m日m，长27昏0m子m蓝宝桨石晶拦体导膜代法(E室dg湾e-芬de蛮fi予ne织d产Fi膏lm医-f筝ed妇G鹅ro胀wt溜h，EF释G)该方葵法亦逝称“痛边缘赔限定掏薄膜甜供料捞生长助”技针术，书简称航“E洋FG姥”法杨，最掉早与纺20愚世纪怎60衡年代羞由英供国的赴Ha评ro祸ld跪L鸣aB规el果la腹及苏独联的京St范ep奔an叨ov最独自权发明续。导警模法治是提摊拉法秀的一略种变形形，耐是一苗种近倒尺寸颂成型泰技术柄（n藏ea穿r-螺ne局t-灾sh字ap刺in辛g）龙，即算直接幸从熔盲体中走生长肯出所兽需形课状的补晶体设毛坯点。EF废G法首著要的洽条件煮是要弟求模哥具材曲料必迅须能都为熔隙体所榜润湿疤，并架且彼壳此间枪又不衬发生作化学湾作用开。在云润湿坦角θ满足0<抖θ<博90忠°的条腐件下港，使每得熔榜体在部毛细沈管作见用（扁虹吸弯现象轧）下夕能上污升到央模具炒的顶为部，健并能苦在顶什部的搏模具厅截面办上扩批展到挤模具蓝的边够缘而何形成估一个党薄膜毅熔体歌层，吓晶体五的截伤面形悔状和烫尺寸现则严谎格地刊为模邪具顶岛部边玻缘的旷形状解和尺碌寸所抚决定桃，而饮不是催由毛茄细管像狭缝架决定铲。因此体，EF构G法能而生长芽出各剧种片计、棒布、管倡、丝甚及其躺他特呜殊形洞状的纠晶体牺，具羡有直虏接从恶熔体装中控企制生末长定城型晶授体的张能力眨。所以断，此判法生宴产的遥产品傻可免室除对壮宝石踏晶体惑加工惊所带晕来的则繁重嫩切割怀、成使型的央机械团加工其程序盒，同滚时大绘大减顾少了千物料奋的加丑工损付耗，债节省枪了加酬工时群间，荐从而调大大弦降低蹄产品莫成本壮。由钳此可祖见其牺优越滚性。导膜终法生漠长晶完体的圈工艺智过程将晶划体材蠢料在塘高温鹅坩锅俭中加滤热熔砌化，模并将菜能被漂熔体桃所润没湿的疯材料呼支撑留带有亩毛细诊管的汤模具舅放置嫌在熔裙体中博，熔锈体沿碎着毛却细管报涌升洗至模架具顶必端。先将籽蔽晶浸沃渍导灵熔体糕中，苏待籽杰晶表逝面回仗熔后雄，逐稍渐提转拉上劝引。为了哀减少指位错城和内岗应力慕，可碰先升觉高炉篇温使津晶体缠长成填窄型磁，过看一段浴时间公再进困行放铸肩，火向上卵提拉靠使熔青体到共达模鄙具顶泉部的拦表面央。此伐时，夸熔体俗再模曲具顶岔部的屿截面幼上扩眯展导嗓边缘脑时中老止。随后兵，再绑进行研提拉饮，可香使晶哀体进拜入等允径生羊长阶唉段。盏晶体卧的形央状将谣由模坊具顶翠部截粥面形颈状所妄确定珍的尺雪寸决纠定，纽奉晶体舌按尺烧寸和丢形状米连续跪地生忘长。模具梢顶部疾熔体股薄膜琴的形衬成于巷发展摧过程刚示意垄图导膜端法生陵长晶恐体的惧工艺村原理导膜蒙法生损长的纱原理犬如下窝图所阿示。删当带灭毛细茂管或息狭缝埋的模跌具浸腿入熔秤体后虾，能镜润湿界模具超材料刷毛细波管的焰熔体柱就会布沿着追毛细继管上畅升。驰上升笔的高密度可签用下市式表包示：式中λ—表面君张力/(×10-5N/徐cm榜)；d—熔体闻密度/（g/滨cm3）；r—毛细转管半仇径/c帆m；g—重力遥加速狱度/（cm聚/s2）；θ—润湿丛角。例如驶，熔钓融Al2O3的表礼面张观力对桂钼(M潜o)为(3狸60袭±4蓝0)疲×1赛0-5N/超cm，对烤钨(W蔬)为(6站80辽±1邀00王)×咱10－5N/羡cm，有鸽时此衡数值戒还要魂高一剥些。当毛暴细管花孔径习为0.贤75踏mm时，Al2O3熔体拔的爬轿升高第度可春达11篇cm。从执图中天可以矮看到沉，随逢着晶扔体不塘断生蛾长，拳液面杀不断谁下降访，h1不断俯增大步。当h1<h润=2响λc呼os高θ/促dr爬g时，淋熔体享可连钟续地我向模妄具顶拜部供寸料，锈保证趁晶体蓬不断洞生长洒；当h1>h，则史熔体盯无法盯涌到跳模顶贪，晶嫌体就极不能傅生长戏。导膜胜法生籍长晶皇体示从意图导膜倍法生韵长装价置导膜袭法生禾长装笼置示主意图导膜喇法的脸晶体册生长寻装置剂与提悄拉法妻的基到本相任同，赏所不克同的花是导丛膜法声是将宜一个兴金属孔钼制讲的毛等细管塞模具暑垂直驱地安奏装在码坩埚浅底部滴，籽正晶将摧通过盲毛细未管口仪与熔吗体相览接触这，然脆后按罚模具翁顶端般截面阻形状艰被提委拉出惕各种萍形状旋的晶惰体。争而晶丙体提外拉法苍只能闻获得杆圆柱岸状的葵晶体谊。图中东，钼位坩埚蹄中放犁有钼踩制的代模具柄。钼率坩埚授被放毙置在长石墨垦受热紧器内呆，用女钨棒宴进行淘连接税定位敌，坩殃埚下鱼边用摧坩埚牛托托乱住。潜石墨案受热址器外佛用石轿墨毡徐保温应。坩伯埚的拒上方字装有悉籽晶析杆和予籽晶仅，有咸一组企反射乏器和盈后热疗器对戏熔体玻和晶絮体进津行保含温。摊这一竭切被律安装渐在刚镜玉热伐屏（典耐热伙罩）劫内，偶耐热淘罩外评面用45伶0H泊z，20者kW的高挎频加谈热器籍加热罗石墨本受热锹器。随后率，将习整个肌装置廊密封娇起来仰，内倘充氩站气或渠氦气慰等惰免性气需体进缓行保街护。竟籽晶守和籽厦晶杆重用籽贷晶定列位装编置定干位，径通过挖波纹闸管进途行上呜升和管下降辣操作秆。模具叹的选咏择选择虑原则寨为：①熔址点高鉴于晶忙体的存熔点载；②能晕被熔质体润竖湿；③与橡熔体涂相互掠之间想不发堂生化作学反雨应。模具坦可根嘴据需贷要设单计成泰杆状纱、片蹦状、翻管状怠或多氧孔管街状等圆，模乔具应委当边文限尺移寸精剃确，伶边缘射平滑混、顶倡部表知面的虎光洁挨度好唱（达肺到镜槐面的骡水平踩）。加工玩好的才模具伙应当胖在高剧温下咳进行庄退火之处理负，这居样不丢易产滨生气提孔。导模伍法生偏长晶披体步续骤：1.原料韵处理将原仇料用误浓盐或酸浸最泡24小时刑以上姥，浸典泡后旺放在起清水猾池中礼冲洗秀至中锐性，轧再放浮入石何英坩伞埚内久烘干笑。2.前置盐作业在实搅验开耻始前废必须拘彻底零检查脖炉体伐内部覆是否放有异价物或专杂质壤，因芬为在冤晶体提生长普过程变中，均炉体灰内的姓杂质谱或异酸物会业因高鱼温而烫造成擦晶体纺受到牢污染悠，而卫影响粥晶体框的质嗓量，黄因此顽在实邻验开省始之钓前，让必须棍将炉洪体清杠理干木净，旋降低诵杂质欣析出拜的可刑能性.3.炉体扭抽真面空关闭糖生长求设备谋的放针气口摧，打痕开机叉械泵穿抽气刘并升也温加涉热，斤再冲住入Ar气。窜抽真悬空是岗为了织防止制钼坩强埚和父模具按被氧笑化，势还有方防止谊钼与垃其它侍残留准气体厌反应恩生成么易挥引发物渣，影中响晶正片的镜质量喝。充券入Ar的目闪的：香起保史护作衬用，锹因为症在高网温低弃压的驾条件配下，葱熔体望易分幻玉解和左蒸发凑。4.引晶粒（高奶温引捎晶）打开仰中频亡电源受开始尤升温住。升狂温要遣逐级塞进行炮。待汤到料扫粒熔乘化以析后,对炉过子的毒功率章做适权当调禁整，形调整币后十洒分钟酱将籽塑晶摇荐下，圈使籽受晶头扒据模昨具口砌的位斑置有4毫米豪的位煤置进税行“昨烤晶谣”，疾对聚籽晶究进行谜预热煎，防张止热侮冲击年。这塘段时点间要产密切窗注意焰籽晶拼头的茧变化笛，如辆果籽株晶头轻有熔遵化迹各象应置立即猪将籽漠晶摇喝上，牌再适猎当调煮低温项度等撒待一续段分雹钟后像再重败复“按烤晶炼”。“烤养晶”受一段菌时间掘后开厕始引修晶，午通过肉手轮爪，使睬用籽玻晶头筛接触蓬到熔情体表求面，登如温膜度太罚低引际晶时姿籽晶稿头的竿变化成很小烦或根唉本没无有变眉化，卧此时获一定博要观咏察好炉，如孙温度作太低棚应提盐起籽散晶先纸升温莲再重若复引陪晶（观切不锅可低俩温引索晶，画因为忌引晶他时温金度低烟，生输长出罩的整山根晶异体一贴定会匹炸裂吨，同斤时容叼易损者坏模撒具）梯。籽晶食与熔语体充乡丰分熔英接，时使其旺成为烤一体待，即帜完成涛了引仓晶过学程。您温度惨偏低泪或籽悟晶摇意下的坚太快臂，模价具就撤会损酿坏；兰温度睡过高需，籽舍晶会步全部蒜熔化若。5.缩颈缩颈浩，即龄使晶卖体的惊直径填尽可要能缩如小（励取决像于所曾负担绍的晶渔片的衰质量各）。端缩颈易的作昆用：践减少若籽晶栽中的窗遗传驳缺陷鼓。在静缩颈飘过程矮中，经任何勇非轴宏向的漫位错纳都可忆以被弃逐步处排除威掉。榨用增道加提全拉速表率或臂稍微五升高津熔体股的温层度来阅达到颤（一讯定要洁严格侮控制双温度穷的变柜化，绳温度绘过高酸，籽奇晶熔卫化；织温度景太低懂，缩厅颈效剖果不撒明显鞋）。6.扩肩常（低绞温、梦低速赴）缩颈怖后，闲调设铲备到风低速搞（3-姓8m抛m/片h），慨开始虎扩肩贺。扩奥肩其站实是颤一个榆缓慢址地降序温过住程，注低速焦扩肩强有利窄于消蛋除位续错和世晶粒发间界似，晶