微电子洁净厂房运行与管理

微电子洁净厂房运行与管理2007年2月华卫群中国电子科技集团公司第五十八研究所微电子洁净厂房运行与管理

洁净厂房相关一般概念

工程建设与高质量的安装工程

洁净厂房管理及运行微电子技术的重要性和发展趋势目前、微电子工业的发展水平已成为衡量一个国家的科学技术水平和经济发展实力的重要标志！自1958年世界上第一块集成电路问世以来，特别是近20年来，几乎每隔2~3年就有一代产品问世。我国的微电子行业的发展，近年也投入了大量的人力、物力、财力，先后建成多家有实力的公司。洁净厂房的一般概念常识气闸室、传递箱

7洁净区2人身净化用室

、物料净化用室3单向流、非单向流

6洁净度

5洁净室1悬浮粒子、粒径4净化厂房的“三态”

8洁净室---CLEANROOM空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

洁净区---Clean

zone空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

人身净化、物料净化用室人身净化用室—Roomforcleaninghumanbody洁净室工作人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。物料净化用室—Roomforcleaningmaterial

物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。

悬浮粒子、粒径悬浮粒子—Airborneparticals用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在０.1um~5um的固体和液体粒子。粒径

–Particalsize

由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体半径。对离散粒子计数、光散射仪，采用当量光学直径。洁净度--Cleanliness按单位容积空气中某种粒子的数量来区分的洁净程度。单向流、非单向流单向流---Unidirectionalflow沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。非单向流—non-nidirectionalflow凡不符合单向流定义的气流。气闸室、传递箱气闸室—Airlock沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。传递箱—Passbox在洁净室隔墙上设置的传递另部件或小设备的开口,两侧装有不能同时开启的门扇并可设气闸。洁净厂房“三态”空态：asbuilt设施已建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。静态：atrest设施已建成，生产设备已经安装，并按用户及供应商同意的状态运行，但无人员。动态：operational设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。洁净厂房管理与运行随着我国电子工业的飞速发展、特别是微电子工业以及产品的供过于求，各项产品的竞争日趋激烈，打赢这场竞争的关键是产品的质量和价格。生产环境的洁净度水平是电子产品生产的前提条件，而厂房各项设施的低成本运行则是产品价格的基础。

洁净厂房管理与运行

洁净厂房的一般设计原则2洁净厂房的运行管理重点3洁净厂房的运行管理体会5洁净厂房的系统组成

1洁净厂房的节能改造及措施41、洁净厂房的系统组成。风机(Fan)：空气调节处理机组：过滤器(Filter)：自动控制系统(BA)：环境参数监控仪器仪表：2、洁净厂房的一般设计原则位置选择及平面布置：含尘低、无有害气体、远离铁路等，最大频率风向上风侧。工艺平面布置应合理、紧凑：只布置必要的工艺设备以及工序和工作室噪声的合理控制：洁净室必须≤65dB(A),维护结构良好隔声性能、采用低噪声产品、风管风速宜按规定选用。微震控制：建筑要求：1、建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性。2、围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少尘等要求。3、管线需暗敷时，应设置技术竖井、技术夹道。2、洁净厂房的一般设计原则空气净化的一般设计规定：1、空气洁净度等级应满足工艺的要求。2、不同洁净度级别选用不同气流流型。3、温度、湿度宜根据工艺要求合理确定。4、选用高效真空吸尘器或集中式真空吸尘系统。5、压差控制应不小于5Pa。6、根据洁净度要求合理选用空气处理用过滤器，2、洁净厂房的一般设计原则给水排水一般原则：1、给排水干管应敷设在技术夹道或技术夹层内。2、可能结露的管道应采取防护措施。3、管道穿越墙壁、楼板和吊顶时应设套管，并可靠密封。4、超纯水、冷却循环水、自来水等。5、排水系统应根据工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等条件分别设置、达标排放。2、洁净厂房的一般设计原则气体管路的一般规定：1、气体管道的布置干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内宜与水、电管线共架，并应设在其上部。2、高纯气体管道应按流量、压力或生产需要确定管径，最小不宜小于∮6×1mm。3、穿越楼板或墙壁处不应有焊缝。4、入口控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计等宜集中设置在入口室。2、洁创净厂遵房的尘一般席设计芝原则5、管饿道材型料和颤阀门每的选蜻用应状满足剥生产促工艺猾对气每体纯铺度、瓦露点凳的要鸽求和俯使用机特点精。6、气油体纯您度≧99效.9俗99剧%、露得点＜-7片6℃，应搬选用思电化沫学抛险光管己（31钻6L或30彩4），孩隔膜奥阀或迅波纹诵管阀可；纯链度≧99瓜.9炭9%、露钞点＜-6鸭0℃，应液选用短电化脂学抛眼光管耻（30危4），俩阀门扬可用钞球阀烂。7、管芝道连仰接除吹镀锌使管外届，应醋采用列氩弧区焊接荐，采尊用对会焊或务承插武焊接须。8、阀所门与兽管道善连接迈密封剥材料邮宜采林用金闭属垫千或聚支四氟婚乙烯垫垫。3、洁差净厂色房的陷运行嘴管理银重点厂房段运行概安全鞠：1、送镰、排位风系触统。2、特评气管西路的船监控舰及报薯警。3、各脆种压可力管两道的对定期堵巡视肤。4、洁扔净室稳的温艳度、医湿度粉、洁健净度尚和正工压的壤控制滤。设施铅稳定钳运行:定期侵巡视趋，定沈期保就养，君定期埋整固械。高效弹、低躁耗运移行：此根据因现场群情况葡和设傍备工磨艺需伏求制组定和啄实施溜节能浅改造佛。4、洁膏净厂久房的鞭节能划改造快及措两施能源袄是国俗家建艰设、暖人们终生活砖中必艇不可辛少的针，而刻能源顿利用盆率是刘一个马国家贸科技哄水平迟的一疏个象桐征，唱开泪发新镜能源总，提页高能袖源的裕利用奥率是筑为保楼证经弹济发捉展的咏首要忽任务猛。中周央空狡调它绝是以近消耗塘电能裁为动草力，佳为人浪们提弃供舒淋适的易工作毯环境清和生写活环坛境，会但是掌中央衫空调沃耗电菊量在捕整个薪单位识平均远占用逗电量站的40％悲以上罪，所甘以对冤中央艘空调啊进行味节能咸设计融与节析能改旦造，爸对节捎约能策源是呢十分伍重要银的。4、洁难净厂微房的滚节能肥改造朗及措溉施中央挣空调棍由制程冷主取机、伸冷却君水泵魄机组幻玉、冷蹲冻泵侧机组其等几北个部筝分组浇成，掀其作忙用就扁是制岸冷、镰热交旨换为旗空调廊室提蛇供冷夺空气汤及新费鲜空幻玉气。对于克中央姑空调曾来说韵，按剧照国迟家标莫准，册系统钞的最题大负荣载能服力是析按照趁气温肢最高舌，负侦荷最镇大的盘工作印环境面来设始计的融，就华系统叛本身皮来说帝，存友在着怜很大蔑的储梳备空阻间，龙而实诊际上族系统煎又很帆少在榜这些榨极限长条件语下工阴作。根据呼有关伶资料翻统计弯，中忘央空婶调设馆备97忽%的时纹间在70嫁%负荷诵以下妨波动绩运行袍，所灰以实供际负湿荷总盯不能篇达到备满负锤荷（圈即通谱常所生说的奏‘大均马拉劝小车'）；聋特别金是冷立气需政求量冒较少耍的情凯况下散，主车机负春荷量渠低。4、洁引净厂陡房的膀节能绕改造仆及措猎施节能牵降耗收要体屡现合途理使温用，卡保障够科研仰生产知的基那本需恶要。中央公空调廊节能窜的原原理、具方法叫及节膏能的巡寿效果流，重末点是茎变频孙器在畏节能尸中的命应用况。对主环机进保行变纤频控暴制，遣节能饥效果也最佳绸。对冷旺冻泵限、冷咽却泵帽进行崖变流填量控盗制，旷加装映变频下器后疑，节众能率旺可以怨达到60调%，节纷能率址最佳肆。4、洁脸净厂镰房的饥节能纤改造滨及措笔施送、型排风派风机弱工作济、值青班变字风量城调节劈燕。尽量址采用疲高效引、低势阻力争末端锋过滤林器，捞并且释前级牢保护栏过滤姑器配课备适配当。根据兼不同饶季节宽，在疲保证喉工艺尚要求诱的前鹊提下接，适燃当调直整房羞间的哀温、朝湿度炕控制糖指标需。压差瓦控制光适当饶可以雹降低耻标准2P耍a左右裤。5、洁筹净厂却房的乎运行届管理吊体会微电淹子行仪业有想其显犁著的疑特点肚，在瞒厂房狱的运陵行管掌理方饥面要把求很夺高，幅必须纵保证寸常年堪连续咽工作局，持船续运疲转，荣任何血一次束短暂关的停碍机都禾会带月来巨倾大的揉损失箭。运行每、保抽障的吗压力洞非常趣大。智机器矿可以搏人为嘴减少铁故障野率到剂最少皆，但练是不申可能史没有炸故障李发生舱，而评且发京生往雕往是匆突如慰其来汪。树立吃力争打使设肾备故漂障率无最低破的工拒作思湿路。5、洁剩净厂枣房的花运行涌管理蚕体会加强四现场遵设备搞操作桐规程排、应哄急故援障处逼理的皮学习泪和实景践。制定刑并且亮严格台执行堵现场透巡查霉制度屠。定期狗做好特设备汗的耗劈燕件更智换、茶保养侦，并炼做好症设备尼档案耽维修堵记录世。工艺可间定练期进避行环撑境参瓜数测程试，役及时翼发现勺问题缎，及户时处找理。落实轨技术拔、维谁修人破员快省速反傲应机遵制，新现场让问题转无论很何时令，必弃须最闻短时狂间到狭达并炮着手迟处理工程脸建设水与高避质量特的安许装工盈程高质率量的乒建设励工程物从蓝墓图到鸟工程机竣工唯，交苏付使场用，园正常碧生产迎，都经离不较开高恩质量者的安侧装做到保证镜。前期爹可行第性研踢究阶肆段开炼始，捆就要背做好蚀周密悟的项躺目进库展计外划和掌人员房诚配备跳。工程犯安装音阶段制，要丘成立疗项目方专案呢小组熊，落疼实施赠工技乳术组约织，叮协调许网络陡，专炸业施揭工方疼案。摘尽量稼花更牢多时祖间做月好前克期准宪备。工程再建设骆与高含质量连的安像装工麻程对设宗计图痰纸上疾的某曲些局摸部方呀案，追不迷橡信，方可以瞒切实茧依据批现场扭情况谊、安驾装使住用的为经验俗和使唯用单尿位的道具体怀要求摧来提装出改金进意廉见或伍建议国，这着对建株设单夜位来雾讲是锐非常蔑值得梨的。工程怕建设台与高繁质量墓的安赶装工疼程安装艳工程显施工扯中几痕点建恒议：1、清占洗工等作不胶够肢洁循净工男程的雁施工融应在弓建筑心施工嫂基本竞完工,外门悄窗装船好,地坪牺做好,吊架晋预留度好,并且偷做了主清扫汇工作架后才昨能开贝始。赞而且律风管宴成型榴前必功须对菠板材删进行执清洗,去除齐板面台上的扁油污,风管侍成型膏并揩得试干辫净后庭再用蜂吸尘讽器吸桂去浮锈尘,然后君将风救管的绞开口系处用背塑料距薄膜算包封狭好。宇有的处建设电单位层及施蜡工单稼位为肝了赶顺进度,往往鹿在条弟件未催具备声的情倒况下惩就开海始施经工,还有难的甚伐至就袭干脆先省去厅了风季管的租清洗胁工作,导致厨风管栽受污容严重摆。另请外,对高女效过道滤器授的安歉装,施工袍规范扭中明丸确规高定,必须键在室鸽内清棚洁,系统叨空吹12小以从上,然后伏再室谋内清辣洁后遇马上略安装邪。然盒而,在调珍试中炉发现,有的腹施工喊单位路在室眉内很穗脏,甚至罗空调妙箱也持很脏年的情蛙况下,就安裙装了坚高效谱过滤倍器,这必惧将会避降低胳高效糕过滤服器的躺使用恶寿命努。工程趋建设逼与高罪质量牢的安艺装工欣程2、风傍管密劫封做窃得不区好喜由浓于净序化空质调系俱统的冰特殊雪性,对风片管严框密性垒和不咽易产草尘有漠更高朵的要仅求。燥净化钟空调极系统喉内因丧增加而了三笋道过储滤器,系统勺的阻村力几气乎比荷一般垮空调房诚系统休的压芝头大迅一倍,这就桶导致效系统识投入占运转裁时，掠风管盯所经适过的狡非洁位净区坡中含劝尘浓割度较面高的考空气礼就会叙渗入掉系统迅而直灯接影帆响室皮内洁重净度骡，因涨此风崖管的慰严密林性显养得格裂外重跟要。科风管估漏风垦主要艰存在姨于风的管咬炉口、畜法兰蚀间和既法兰牧翻边侮处，依对这忠些地岸方如茎不采繁取密架封措晕施，兽漏风叉将相惧当严蹄重。要调试桥中发同现，些有些该净化幻玉系统笨机组辟总风糊管测偷得总贫风量曾与风帽口风穷量总冈和相蚕差很猎大，闪这主升要就堵是由衰于风葵管漏透风引动起的根，因诉此施爬工中激务必惹引起颗重视月，从鹊而提清高施闷工质仗量。工程宵建设舰与高虚质量皇的安近装工踢程3、高计效过假滤器岔安装膛不当和高效感过滤坐器是炎洁净来空调旦系统捷的主谦要设政备。念由于议滤纸贪非常宏精细疑，易辨损坏绢，因盐此只社能在筹安装董现场万安装柿时现驱拆高调效过傻滤器富包装圆，应里按说栋明书等要求滔取出自。高秧效过昏滤器矛安装猛时，隙施工画人员县除了蚂要避掌免将啦其损遭伤外厦，还财要注柳意安炮装时禾须将虽压紧垂螺栓嗓拧紧婚，而渡且施矩力要稻均匀碧，另绑外，紧在边饼框搭废接处哑封条垮应打鱼入足爹够的哈密封熊胶，揭否