2022年泛半导体废气治理趋势分析

2022年泛半导体废气治理趋势分析一、泛半导体废气治理产业概述泛半导体领域主要指集成电路、光伏、面板等半导体主要应用领域等，目前泛半导体废气治理行业主要包括集成电路和光电显示器件等主要领域。1、集成电路集成电路制造的核心工艺流程主要包括：掺杂、光刻、刻蚀和薄膜工艺。主要废气包括、酸性、碱性、有机和工艺废气，主要存在清洗、氧化、干法腐蚀、离子注入、沉积等步骤中，主要污染物有盐酸、磷酸、硫酸、硝酸、氨水、丙酮等。集成电路制造的核心工艺流程产生废气污染物2、面板光电显示器件是指依靠矩阵点或线段的电子元件控制并激励屏幕发光，呈现信息供视觉感受的器件，主要包含LCD、OLED等。其中，TFT-LCD的生产工艺流程主要包括阵列、彩膜、成盒和模组工序；AMOLED的生产工艺流程主要包括阵列、蒸镀、切割和模组工序。TFT-LCD和AMOLED主要生产工序产生的废气污染物全球主要国家地区半导体产业发展支持政策梳理二、泛半导体废气治理发展背景1、需求背景随着全球TFT-LCD面板产能向中国大陆转移，2020年我国TFT-LCD产能已经位居全球第一，中国大陆占据全球50%的产能。根据预测，由于大陆产能转移的持续进行，预计我国大陆整体设备资本开支将有所下降2019-2024年中国大陆面板设备资本开支走势全球晶圆厂资本开支力度逐年增加，2022年达613亿美元；据Gartner预测，2022-2025年仍将维持在500亿美元以上。从扩产节奏来看，全球晶圆厂仍处于扩产周期。2019-2024年全球晶圆厂资本开支走势2、政策背景2015年以来，5G、LoT、汽车智能化电动化、人工智能，终端景气度接力，驱动半导体行业新成长。半导体作为工业皇冠、高端制造技术高地，行业发展被赋予国家安全、产业链安全等多重意义。半导体产业已成为全球发展竞争焦点，全球各国家地区持续出台相关政策护航。在此背景下，半导体产业景气度高位发展。2020-2023年中国大陆L/S设备市场空间走势三、泛半导体废气治理产业现状1、泛半导体废气治理系统市场空间预计2023年全球集成电路资本开支1466亿美元，假设2023年中国大陆的集成电路资本开支占全球15.5%，环保投入一般为总投入5%，根据《电子工业污染物排放标准》，废气治理占环保投入比例为30%，测算得2023年中国集成电路废气治理系统市场空间约23.9亿元，面板2023年开支约342亿元，市场空间约5.1亿元。2023年中国集成电路和面板废气治理系统市场空间2、泛半导体废气治理设备市场空间根据京仪装备招股书，570千片/月12英寸晶圆产能对应半导体专用工艺废气处理设备需求约5778台，平均每单万片产能需要工艺废气处理设备需求100台，京仪装备L/S设备单价为50万元/台。结合晶圆厂扩产判断，经过测算，2023年大陆废气治理设备空间64亿元。四、泛半导体废气治理竞争格局1、竞争格局我国泛半导体产业起步晚于美国、日韩和中国台湾地区，对应的工艺废气治理业务发展相对滞后。市场目前由国际供应商主导，主要以VerantisEnvironmentalSolutionsGroup、天和(上海)半导体制程排气工业有限公司、晃谊科技股份有限公司、KankenTechno、华懋科技股份有限公司为代表。国际供应商具有先进的技术和工艺水平，伴随下游客户产能转移将业务扩展至中国内地，在工艺技术、经验积累、客户资源、品牌影响力等方面具有先发优势。国际泛半导体废气治理供应商基本情况2、盛剑环境随着国内泛半导体行业的迅速发展，行业内的设备国产化程度也在逐渐提高。废气治理系统和设备作为泛半导体生产工艺不可分割的组成部分，存在大量的国产化需求。盛剑环境集成电路废气治理系统领域市占率达到20%左右，按照处理废气种类，分为酸碱废气处理系统、有毒废气处理系统、VOCs处理系统、一般排气系统，并可按照废气成分进行综合配置；废气治理设备包括工艺排气管道、中央废气治理设备和泛半导体制程附属设备，数据显示，2021年盛剑环境废气治理系统和设备规模分别为8.37亿元和2.91亿元。2017-2021年盛剑环境废气治理设备和系统营收走势五、泛半导体产业趋势我国泛半导体产业起步晚于美国、日韩和中国台湾地区，对应的工艺废气治理业务发展相对滞后。而国际供应商拥有先进的技术，与下游行业中的跨国企业建立了良好合作关系，随着下游行业在中国内地的发展，国际供应商随之将业务扩展至中国内地。近年随着下游行业产业投资力度加大，相应的废气治理行业迅速发展，发展出一