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文档简介
1、确认Maintenance界面内GUN/AC内GUN参数(电流值稳定)和0.00)。EVAC常亮。(1)点击ON,打开高压,依照样品选取所需电压。旋钮进行像散调节,调节亮度与对比度(可按ACB自动调节或手动调节),直至样品表面特性图像清晰为止(低倍率时,运用AUTO键a)如果聚焦时浮现图像是模糊,需要进行电子束对中调节。动(X方向摆动调节X旋钮,Y方向摆动调节Y旋钮)。c)关闭WOBB键,此时STIG键自动亮,分别旋转键盘上X、Yd)继续放大倍数,转动FOCUS旋钮进行聚焦,如图像不清晰,ee)如果图像已经调节好,,按键盘上“RDCIMAGE”键关闭调节O(5)按“FREEZE”键取消锁定,按“QUICKVIEW”进行迅速扫13、背散射(BEIdetector)观测5)找好要分析样品位置,调节好倍率,聚焦及像散。6)在图像显示区域选取图像信号为BEC“Save”模式进行保存。。1)将放大倍率调至最低倍。4)按下VENT键放气,直至VENT常亮。戴手套操作,并保证样品在样4、实验完毕后只需关闭计算机显示屏,其她任何页面及装置不介EXCHPOSN:显示样品台与否处在样品互换位置(灯亮表达处在该处)HL
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