ecvd班组的维护流程

班组的维护流程维护准备提前准备维护工具石英管的准备8—15根（单晶需15根，2根备用多晶需9根，1根备用）石英管的挑选注意：口径的大小两端口径不要有裂痕整根不能有裂痕碰痕。无细微裂纹和气泡一对轴套的卡孔注意能与扭力扳手吻合，需要时要用电钻处理卡孔铝杯罩外部面（绿“O”圈面）注意不能有大的划痕项圈“O”圈的选用一注意形状不变形不扭曲；二“O”圈用酒精清洗，观察“O”圈是否有裂痕毛刺，尤其绿“O”圈。梅花圈分薄和厚型，选用注意形状厚度大小其作用是支撑铜导管，调节安装石英管的长度。铜导管注意两者的吻合，孔位的适宜铜制天线是和铜导管配位使用，在维护拆除石英管时，需要拔出铜制天线。组装的一端图【下】细分图【下】带有环形封口的铝制罩帽1）图：将石英管挤压进准备好的铝质罩帽妄将太铜质导管插响入并定位于饭聚四氟乙烯错梅花圈的中召心位置（梅进花圈对于确牌保摊铜质内导管归在石英管内输的中央位置岩是十分必要执的编）钢图：完整的颜石英管的剖各面图页将卡口锁定钻装置滑入石进英管缺图：准备好钱的微波传送挨系统睁将石炸英管的另一驶端推入准备凶好的另一个那铝制的罩帽算中，同时将青铜质内导架管奋插入并定位离于另外一个粘聚四氟乙烯成梅花圈逝的中心位置奸图2：完整橡的微波传送叛系统信拆卸石英管坝的过程：蚕1.还堪先将微波连计接器一端的弓铜质天线向眉外拔出染80mm领后即可挪开泊该天线容（见右图）饼图：在工作吴位置和维护凯位置配有铜劲质天线的小理型微波发射叉头挠2.用大力省钳将石英管涂掐碎，碎断致距离大约春15CM申，一手掌的瞎距离，（遗注意别伤到海铜导管）碎是断的距离便赤于拆卸石英丧管。【注意凑别让碎玻璃硬伤到手】榴3.轴套的浆松紧，顺时备针是上紧，川逆时针方向浓为松懈哥工艺反应仓仁仓壁上的微稠波发射头法防兰接口抛4.法兰：率石英管连接宅处，注意观沙察外部面的扔平整度，不粗得有任何划将痕。拆卸掉嫌石英管时，惭需要用蘸有拢酒精的无尘荷布进行阻挡桥或用垫板进鸽行隔离故使用真空吸煮尘器清洗一氧侧的表面法亿兰盘并用尤蘸有酒精的灌无尘布蒙封表面甚（陷注意！泛卡口锁定连久接器和法兰友盘之间的尺跌寸咬合公差评只有0.1炒—该0.2mm对。）月如果颗粒风从卡口锁定柜架或横向工触艺皱特气笋罩上脱落将早会导致擦伤渗和损伤卡口狸锁定装置和爪法兰盘总现举用下镀梯膜的工艺腔素室为例：匙沉积罩辛或特气槽的垂认识根图：关闭的奴氨气吹淋喷辱头孔（左图嫌）圆部分关饲闭的硅烷气吗体吹淋喷头拢孔（右图）扑使用金属线芳刷或砂纸清煎洗严重污染偷的不能拆卸疤的部件，使汪用真空吸尘充器清除过程阻中产生的灰是尘。韵检查气体吹想淋口所有的银气孔（用1mm门直径）是否贝通畅，如果解有堵塞，使该用微1mm盘的钻孔机或绒针头刺透气陪孔成，制从外向内用园压缩气体将轧气体吹淋头鞭孔绑内部的灰尘呈吹出倡。药腔室上装石窃英管示意图扔：苗图1：完整牌的等离子体贿发射源（左茧图）和没有纸横向沉积罩陷的等离子体伤发射源（右疮图）碧图2：设备胳维护位置时构的卡口锁定朱机械装置铲图3：卡口斜锁定机械装场置长大盖的清洁硬工作：用蘸北有酒精的无灌尘布擦拭工