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精心整理洁净无尘室之定义()（供大家参考室(CleanRoom)亦称为无尘洁(等使产品能在一个良好制造「洁净室。()但普遍还是用美国联邦标准为多以及和世与于表示单位增加了公制单位洁净室等级以‵、、…..M字母中以10指数1.5、、表示。美准日本则是采用公制以微粒子以，Class3表示，最好为为为()1.。能3.温度4.5.6.结7.静电。。安全。()类(TurbulentFlow)

精心整理(进入洁净级级。式Laminar)：层率为Class1~100。其：水平建造费用比乱流式高室内空间不易扩充。复式MixedType)。洁净道CleanTunnel)：以HEPA域至级ULSI制程大都采用此；维(2)道至

精心整理(3)室：将级10,000~100,000为10~1000级以级为2.5约10M2以下，()HEPA、达99.97~99.99995%在之间，此(b)速度过低或过高0.2m/s均而之

精心整理之处，()的天花板系统：包括吊(、梁或U-Beam)梁或Ceilingframe)空。隔墙。。照B.不；；※無塵室定義無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制所建造的特殊封閉性建築一般而言無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。無塵室依等級的不同對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範國際標準中最常用的規範有

精心整理Fed-Std-209E及ISO-14644，以下表格為及ISO-14644的等級定義。※Fed-Std-209E潔淨度義※ISO-14644淨度定義ISO的等級劃分，首先定義了微粒的粒徑是從到5mm，在此範圍之外就不列入等級表，但是另定義有超微粒子與超大粒子針對範圍外粒子。等級本身歸類為ISOClass1ISOClass9，其允許上限的定義是大於等於該粒徑的微粒數，數目字如下表，單位是每立方公尺的微粒數。比較以上兩表我們可看出：1.209E的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關性。兩制放同一表，徒然造成混淆。2.在兩表中0.5μm幾乎出現在每一個等級定義中，表示粒徑μm的粒子非常具有代表性。3.在潔淨度的分類上，不管是在高潔淨度，或是低潔淨度，的範圍比209E都來的廣，因此具有未來性。无净车主安有些化备无尘净化车间主要安装有那些净化设备？第一，无尘净化车间进风系统要安装，新风过滤箱，中央净化空调（中央净化空调要分为初效中效/高效三个过滤段）末端有高效送风口。有必要时还装有净化增压箱。第二，无尘净化车间回风系统要安装，回风口，过滤初效器，中效回风箱。第三，进入无尘净化车间之前先进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜气清新机。第四，人和货物进入无尘净化车间须经过，风淋室，货淋室，传递窗主要传递小物品。第五，在无尘净化车间内局部需要达到级地方安装垂直层流工台，层流罩FFU净棚（可移式净化工

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