南京弘洁半导体科技有限公司半导体、光电零件精密清洗技改项目环境影响报告表

表 (污染影响类) (公示版)1称半导体科技有限公司半导体、光电零件精密清洗技改项目-338722算、通信和其他电子设；有酸洗的以上均不含仅分组装的□新建(迁建)不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目(核准/备案)部门 展和改革局准/备案)文号(选填)[2021]233号总投资(万(万元).5%设用地(用海)面积(m2)m(依托租赁方现有)无《南京江北新区桥林新城总体规划(2015-2030年)，规划审批机关及文号：南京市市浦口经济开发区开发建设规划(2021-2035)》。规划审批机关及文号：/规划环评文件名称：《南京市浦口经济开发区开发建设规划(2021-2035)环境影响》文号：苏环审[2022]34号21、与《南京市浦口经济开发区开发建设规划(2021-2035)》相符性《南京市浦口经济开发区开发建设规划(2021-2035)》的产业定位为以集成电极吸纳和集聚创新资源要素，培育发展新动能。进一步发展信息技术、智能交通、流为主的现代服务业。业定位符合《南京市浦口经济开发区开发建设规划(2021-2035)》。2、与《南京浦口经济开发区开发建设规划(2021-2035)环境影响报告书》相(1)基础工程规划给水：由桥林水厂与江浦自来水厂联合供水，由浦乌公路、云杉路以及新星大水排入规划区东北侧的南京浦口经济开发区污水处理厂处理，南京浦口经济开发区园区内除台积电、华天科技等电子工业生产废水外，其余生活污水及工业企业的生产废水和生活污水接入浦口经济开发区污水处理厂。西集污区排入南京浦口经济开业生产废水。大道敷设，廊道控制宽度20米；次高压管道5吨/时，最大供热能力122吨/供热管网：根据主要热用户热力负荷分布情况，合理布置供热主干管，服务主要热力用户，规划主要沿紫峰路、龙港路、步月路等敷设，管径为DN300-DN50。生活垃圾：规划范围内垃圾由垃圾收集站收集后经垃圾转运站运至星甸环境园进行处理。星甸环境园已启动江北焚烧发电厂的建设，远期配建小型填埋场、建筑。相符性分析：本次改扩建项目用水由园区供水管网供给，项目所在地污水管网3均已铺设。生活污水依托紫峰研创园化粪池处理，生产废水经厂区污水处理站处胶带跟随生活垃圾由环卫部门定期清运，余下新增一般工业固体废物(喷砂废料、熔射废料、污泥)综合利用，危险废物交由有资质单位处理。综上所述，南京市浦程规划能够满足本项目需求。(2)用地规划规划区形成“一轴、三心、三园”的总体规划结构。“一轴”为沿双峰路两侧般工业社区中心；“三园”包括重点围绕集成电路产业的集成电路园、重点围绕新能源汽车等产业的新能源交通装备园、以现状制造业企业为主的智能装备制造园。业服务业设施用地面积61.40公顷；工业用地面积1097.14公顷；仓储用地面积；公共管理与公共服务设施用地面积储用地面积10.00公顷，占城市建设用地的0.52%，位于秋韵路和玉莲湖之间，是为台积电12寸圆晶厂配套的三类仓储用地；道路与交通设施用地面积238.79公地的相符性分析：本次改扩建项目为工业类项目，对照开发区土地利用规划图，见(3)产业定位集成电路产业：集成电路产业链主要包括基础支撑、核心技术、应用场景。紧抓国家和省市大力发展人工智能产业的政策机遇，以智能机台零部件关键技术为核心，以大数据、云计算、物联网、移动互联、信息安全、人机交互等新一代信息技术为支撑，努力形成人工智能的完整产业生态链。经过测评，浦口高新区在IC集成电路与机台零部件(含电镀)、IT新一代信技术等人工智能技术领域，智慧医疗、智慧金融服务、智慧农业等人工智能应用领域具有较好的发展可能性和可行4目策相冲突的项地方现行产业政策目策相冲突的项地方现行产业政策目长江经济带发展负规定的通知》等要环境准入暂行件禁止引入项高VOCs含量的涉及生产和使属于《产业结限制引入《产业结构调整指导目录省工业和信息《江苏省工业和信息产业结构调符合产业结构调整限制淘汰目录和能耗限入类项的限制类项目。目限制引入污染治理措施达不到《挥发本次改扩建项目符合《挥发性有性有机物(VOCs)污染防治技术政机物(VOCs)污染防治技术政新能源交通装备：浦口经济开发区是南京市重点规划的新能源汽车产业基地，化、高端化交通装备，聚焦突破无人驾驶、车载信息终端、汽车进程服务人机交互系统等智能车网互联关键技术，培育轨道交通核心零部件与配套加工设备、轨道交化设备与系统、工程及养路机械等高端产业。依托上南合作，积极推进上汽集团自主品牌新能源乘用车、南京依维柯新能源轻型商用车，以南京越博动力系统、博郡新能源汽车、知豆新能源汽车等项目智能装备制造：主要为以制造业企业为主的智能装备园，主要形成新材料及金属结构制造两大特色产业，此外机械制造、医疗器械、汽车零部件制造、电子工业大吉铁塔制造有限公司、南京天印科技有限公司、南京长江给排水管道有限公司、南京品机械集团有限公司和南京鼎业投资发展有限公司等。相符性分析：本项目位于南京市浦口经济开发区内，属于集成电路制造，产业(3)生态环境准入清单性5限制新(扩)建电镀项目，确属工艺需要、不能剥离电镀工序的项目，需由环保部门会同经济主管部门组织专其面积不减少、土壤环境质量不下降，除法律规定的重点建设项目选址本次改扩建项目位于开发区内，项目所在地用地性质为二类工业田。在琼花湖河道两岸设置一定宽度的绿化带，在兰桥雅居民安置小区西北向与工业区相信区域设置以道路、防护0米，非生产型企业空间防护距离可以适当缩小，但区内规划水域和防护绿地，禁止一切本次改扩建项目占地不涉及开发控环境质量：大气环境质量达到《环境空气质量标准》二级标准、《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2018)附录D其他污染物空气质量浓度参考限值；石碛河和高旺河水环境质量达到《地表水环境质量》Ⅲ类水标准；土壤达到《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准(试(GB36600-2018)筛选值中的第本次改扩建项目区域环境质量现水污染物排放量近期2025年：2.45吨/年，氟化物5.21吨/年，总铜改扩建项目不新增有机废气，新水接管量分别新增为CODta2t/a、总其他要求：提高污水厂再生水回用率，浦口经济开发区污水厂近期20%、远期30%，浦口经济开发区工建立区域监测预警系统，实行联防联险的企业事业单位，应当采取风险防范措施，并根据要求编制环境风险应急预案，防止发生环本次改扩建项目建成后，应编制布局管控，开发区内部的功能布局应充分考虑风险源对区内及周边环境的本次改扩建项目储罐区为氮气罐及氦气罐，氮气和氦气均为惰性6影响，储罐区、危废暂存库应远离村镇集中区、区内人群聚集的办公楼、周边村庄及河流，且应在规划区的下其项目的影响；区内不同企业风险源之间应尽量远离，防止其中某一风险源发生风险事故引起其他风险源爆发带来的连锁反新增用水量为42120t/a，全厂用水量为82296t/a，不突破水资源顷，建设用地总面积上线1937.27公顷，工业用地及仓储用地总面积上线本次改扩建项目依托现有已建厂能源利用上线单位GDP综合能耗本次改扩建项目能源利用不突破本次改扩建项目不属于《产业结构调整指导目录(2021年修订)》中限制或淘汰类产业；不属于《市政府关于印发南京市建设项目环境准入暂行规定的通知》 (宁政发[2015]251号)中禁止、限制建设项目。对照《江苏省工业和信息产业结构调整目录(2012年本)》(2013修正)和《江苏省工业和信息产业结构调整限制、淘汰目录和能耗限额》(苏政办发[2015]118号)，本次改扩建项目不属于规定中“限制类”、“禁止类”或“淘汰类”项对照《鼓励外商投资产业目录2020》，本项目属于“(二十二)计算机、通信2、选址可行性建项目位于南京市浦口经济开发区桥林街道百合路紫峰研创园1期6本次改扩建项目不属于《江苏省限制用地项目目录(2013年本)》和《江苏省禁止用地项目目录(2013年本)》中限制和禁止用地项目目录中涉及的内容，符合(1)生态红线对照《江苏省生态空间管控区域规划》(苏政发[2020]1号)，本次改扩建项目7所在地及评价范围不在其划定的生态空间管控区域范围内；对照《省政府关于印发江苏省国家级生态保护红线规划的通知》(苏政发[2018]74号)，本次改扩建项目所在地及评价范围不在其划定的国家级生态保护红线范围内，距离本项目最近的国家生态红线保护区域为本项目南侧5070m的桥林饮用水水源保护区(备用)，本次改扩建项目符合《江苏省生态空间管控区域规划》(苏政发[2020]1号)和《江苏省本次改扩建项目与《南京市三线一单生态环境分区管控实施方案》相符性分析分析性区1)执行规划和规划环评及其审2)优先引入：智能制造、集成技术、智能交通、智能装备制物流。3)禁止引入：非环保类研发项目；不符合全国和省级港口布局规划以及港口总体规划的码头项目；不符合《长江干线过江通道布局规划》的过江通道项目；露天和敞开式喷涂作业(除工艺有1)本次改扩建项目位于南划及规划环评极其审查意见2)本次改扩建项目属于集成电路制造，属于生态环境准入清单中空间布局约束的3)本次改扩建项目不属于研发项目、码头项目、过江通道项目；不涉及露天和敞控严格实施污染物总量控制制度，根据区域环境质量改善目标，采取有效措施减少主要污染物排放总量，确保区域环境质量持续改善。园区污染物排放总量按照规划和规划环评及其审查意见的要本次改扩建项目运营期废气NOx、氟 (氨)、有机废气(非甲烷碱液喷淋处理，有机废气收集后经二级活性炭吸附装置处理，粉尘经两级除尘装置 (机台自带粉尘处理装置+末端除尘器)处理，上述废废气经酸液喷淋洗涤塔处理后通过楼顶20m高排气筒 (2#)排放。废水接入南京浦口经济开发区污水处理厂符合污染物排放管控的要81)园区建立环境应急体系，完善事故应急救援体系，加强应急物资装备储备，编制突发环境事1)园区建立环境应急体系，完善事故应急救援体系，加强应急物资装备储备，编制突发环境事2)生产、使用、储存危险化学品或其他存在环境风险的企事业单位，应当制定风险防范措施，编制完善突发环境事件应急预案，防止发生环境污染事故。3)加强环境影响跟踪监测，建立健全各环境要素监控体系，完善并落实园区日常环境监测与污1)本次改扩建项目所在的南京浦口经济开发区已建立环境应急体系，加强应急物资装备储备，编制突发环境事件应急预案，定期开展演本次改扩建项目建成后环境事件3)本次改扩建项目已制定污染源监测计划，加强厂区备、能耗、污染物排放、资源利2)按照国家和省能耗及水耗限3)强化企业清洁生产改造，推进节水型企业、节水型园区建1)本次改扩建项目的生产排放、资源利用均达到同行2)本次改扩建项目能耗较低，符合国家和江苏省能耗(2)环境质量底线状况公报》(南京市生态环境局)，南京市环境空气质.9个百分点。其中，达到一级标准天数为91天，同比减少6天；未达到二级标准的天数为65天(其中，轻度污染61天，中度污染4天)，主要污染物为O3和PM2.5。各项污染物指标监测结果：PM2.5年均值为29μg/m3，达标，同比下降生态环境局编制的《2021年南京市环境状况公报》，贯彻落实《江苏省2021年大气污染防治工作计划》《2021年南京市深入打好污染防治攻坚治后，南京市环境优良天数可达到国家和省刚性考核要求，确保南京市大气环境质状况公报》(南京市生态环境局)，全市水环境质量持续优良，2021全市水环境质量持续优良。纳入江苏省“十四五”水环境考核目标的9本次改扩建项目营运期废气主要污染物为酸性废气(Nox、氟化物、HCl)、碱2套碱液喷淋洗涤塔处理，有机废气收集后经二级活性炭吸附装置处理，粉尘经两级除尘装置(机台自带粉尘处理装置+末端除尘器)处理，上述废气处理后一并通过楼顶20m高排气筒(1#)排放，碱性废气经酸液喷淋洗涤塔处理后通过楼顶水处理厂集中处理，项目固体废物均得到妥善处置，不会改变区域环境功能区质量(3)资源利用上线资源主要为水资源和电，新增用水主要为生产用水，由市政给水统一供给；用电由市政统面采取不会突破区域资源利用上线。(4)环境准入负面清单管理措施(负面清单)》(2021年版)，本次改扩建项目不属于“国家规定实施准入特别管理措施项目，不属于“禁止外商投资的领产业结构调整限制淘汰目录和能耗限额的通知》(苏政办发[2015]118号)，改扩建项目不属于限制及淘汰类；对照《市政府关于印发南京市建设项目环境准入暂行规定的通知》(宁政发[2015]251号)、《市场准入负面清单(2022年版)》(发改体改规[2022]397号)、《长江经济带发展负面清单指南(试行，2022年版)》(长江办[2022]7号)、《关于印发长江经济带发展负面清单指南(试行)(2022年版)》江苏省实施细则(苏长江办发[2022]55号)，改扩建项目不属于文中的禁止和限制建设项目。对照《南京浦口经济开发区开发建设规划(2021-2035)环境影响报告书》，改扩建项目为集成电路制造项目，不属于限制和禁止入园项目。本次改扩建项目以《南京浦口经济开发区开发建设规划(2021-2035)环境影响报告书》生态环境准入清单作为本项目环境准入负面清单，相符性分析见表1-三线一单”的管控要求。4、与其他环境保护法律法规相符性分析(1)与《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)的相符性分析表1-3项目与《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)的相符性分析5.1.1VOCs物料应储存于密闭的容器、密闭的容5.1.2盛装VOCs物料的容器或包装袋阳和防渗设施的专用场地。盛装VOCs物料的容器或包装袋在非取用状态时应装VOCs物料的容器存放于加s。采用非管道输送方式转移液态VOCs容器、罐车sVOCs无VOCs采用密闭设在密闭空间内操作，废气应排至VOCs无法密闭的，废气应排至s本次改扩建项目所用有机OCs操作，废气收集后经二级活性炭吸附装置处理后，Cs运行，待检修完毕后产工艺设备不能停止止运行的，应设置废本次改扩建项目有机废气收集处理系统与生产工艺设备同步运行，废气收集处理系统发生故障或检修时，对应的生产工艺设备能够停止运行，待检修完10.2.2废气收集系统排风罩(集气罩)气收集10.3.2收集的废气中NMHC初始排放速率≥3kg/h时，应配置VOCs处理设地区，收集的废气中NMHC初始排放速率≥2kg/h时，应配置VOCs处理设本次改扩建项目位于重点计要求的除外)，具体高度以物的相对高度关系应根据件确定气筒高(2)与《关于进一步加强涉VOCs建设项目环评文件审批有关要求的通知》(宁环办[2021]28号)的相符性分析性环评审批部门按照审批权限，严格排放标准审查。有行业标准的严格执行行业标准，无行业标准的应执行国家、江苏省相关排放标准，鼓励参照天津市《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020)等标准中最严格的标准。VOCs无组织排放执行《挥发性有机物本次改扩建项目非甲烷总烃排放浓度执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3及表4排放限值，厂内无组织废气非甲烷总烃同时需要满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)要求。市生态环境局、各派出局总量管理部门严格排放总量审查(含各行政审批局负责审批的建设项目)。VOCs排放量优先采用国家大气源清单排任务的区(园区)，暂缓其涉新增VOCs排放的建设项目审批。具体按照我市相关总量管本次改扩建项目VOCs查环评文件应对主要原辅料的理化性质、特性等Cs的类型、组分、含量等。使用涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等材料的，VOCs含量应满足国VOCs含量限值要求，优先使用水性、粉末、高固体分、无溶剂、辐射固化等低VOCs产生。禁止审批生产和使用高VOCs含量的涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等建设项本次改扩建项目已对原辅料的理化性质、特性进行了分析，对照《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》(GB38508-2020)，本项目不在其适用范围内，因此不需要准含量限值。查涉VOCs无组织排放的建设项目，环评文件应严格按照《挥发性有机物无组织排放标准》等有关要求，重点加强对含VOCs物料储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开页面逸价，详细描述采取的VOCs废气无组织控制措施，充分论证其可行性和可靠性，不得采用密闭收集、密闭储存等简单、笼统性文字进行描本次改扩建项目无组织VOCs废气为未捕集到的废气。VOCs物料储存、转移和输送、工艺使用过程均符合《挥发性有机物无组织排放标生产流程中涉及VOCs的生产环节和服务活动，在符合安全要求前提下，应按要求在密闭空间或设备中进行，无法密闭的，应采取措施有效减少废气排放，并科学设计废气收集系统。采用全密闭集气罩或密闭空间的，除行业有特殊要求外，应保持微负压状态，并根据规范合理设置通风量。采用局部集气罩的，距集Cs尽收、分质收集”原则，收集效率应原则上不低于90%，由于技术可行性等因素确实达不到的，应在环评文件中充分论述并确定收涉及VOCs的生产环节在密闭车间内进行，化学浸泡过程中产生的有机废气采用负压收集，危废暂存库废气采用密闭空间整体换风方式，加强载有气态、液态VOCs物料的设备与管线组件的管理，动静密封点数量大于等于2000个的建设项目，环评文件中应明确要求按期开展“泄漏检测与修复”(LDAR)工作，严格控本次改扩建项目不属于动静密封点数量大于等涉VOCs有组织排放的建设项目，环评文件应强化含VOCs废气的处理效果评价，有行业要项目应按照规范和标准建设适宜、合理、高效的VOCs治理设施。单个排口VOCs(以非甲烷总经计)初始排放速率大于1kg/h的，处理效率原则上应不低于90%，由于技术可行性等因素确实达不到的，应在环评文件中充分论述并确定处理效率要求。非水溶性的VOCs废气禁止采用单一的水或水溶液喷淋吸收处理。喷漆废气应设置高效漆雾处理装置。除恶臭异味治理外，不得采用低温等离子、光催化、光氧化、生物法等低效处理技术。环评文件中应明确，VOCs治理设施不设置废气旁路，确因安全生产需要设置的，采取铅封、在线监控等措有效监管，并纳入市生态环境局VOCs治理设不鼓励使用单一活性炭吸附处理工艺。采用活性炭吸附等吸附技术的项目,环评文件应明确要求制定吸附剂定期更换管理制度，明确安装量 (以千克计)以及更换周期，并做好台账记录。吸附后产生的危险废物，应按要求密闭存根据工程分析改扩建后全厂VOCs的初始产生1kg/h，采用二级活性炭吸附装置处理，处理效本次改扩建项目设置二级活性炭吸附装置对有机废气进行处理，不存环评文件已明确活性炭的安装量(以千克计)以及更换周期，并要求建废活性炭将委托有资质涉VOCs排放的建设项目，环评文件中应明确要求规范建立管理台账，记录主要产品产量等基本生产信息；含VOCs原辅材料名称及其VOCs含量(使用说明书、物质安全说明书MSDS等)，采购量、使用量、库存量及废弃量，回收方式及回收量等；VOCs治理设施的设计方案、合同、操作手册、运维记录及其二染物的处置记录，生产和治污设施运行的关键参数，废气处理相关耗材(吸收剂、吸附剂、催化剂、蓄热体等)购买处置记录；VOCs废气监测报告或在线监测数据记录等，台账保存期环评报告中已明确要求企业做好VOCs管理台账，台账保存期限不得查在项目建设过程中涉及使用涂料、油漆、胶黏产品的，环评文件中应明确要求企业优先使用符合国家、省和本市要求的低(无)VOCs含量产品。同时，鼓励企业积极响应政府污染预本次改扩建项目属于集洗剂挥发性有机化合物含量限值》(GB38508-适用范围内，因此不需(3)与《关于做好生态环境和应急管理部门联动工作的意见》(苏环办[2020]101号)的相符性分析文件要求：二、建立危险废物监管联动机制。企业法定代表人和实际控制人是企业废弃危险化学品等危险废物安全环保全过程管理的第一责任人。企业要切实履行好从危险废物产生、收集、贮存、运输、利用、处置等环节各项环保和安全职险化学品、物理危险性尚不确定、根据相关文件无法认定达到稳定化要求的，要提供有资质单位出具的化学品物理危险性报告及其他证明材料，认定达到稳定化要有尘治理、RTO焚烧炉等六类环境治理设施开展安全风险辨识管控，要健全内部污染防治设施稳定运行和管理责任制度，严格依据标准规范建本次改扩建项目建成后将开展安全风险辨识管控，确保污染防治设施稳定运行、处置，制定了危废管理计划。企业将切实履行好自身主体责任，配合相关部门积极有效开展生态环境保护和安全生产联动工作，推进专业培训、提升生态环境保护、安全生产的要求。综上，本次改扩建项目与《关于做好生态环境和应急管理部门联动工作的意见》(苏环办[2020]101号)相符。建设符合相关环保文件要求。根据江北新区产业规划，浦口经济开发区将全力打造现代产业集聚区，着力在高端的落户，产业链上下游的配套企业纷至沓来,南京地区半导体及光电制造工厂将越来越多。这些企业在日常生产中使用的半导体、光电零部件生产设备的核心部件表面易形成要求，需要清洗干净后才能再利用。万积约为4800m2。公司主要从事半导体、光电制造行业表面清洗及电浆熔射。基于良好的市场前景，台湾弘洁科技股份有限公司成立南京弘洁半导体科技有紫峰研创园一期第六栋高标准化厂房建设“半导体、光电零件精密清洗与表面处理项目”，主要为南京及周边地区客户端市场中半导体、光电制造行业中关键生产核心设备的部件表面清洗，并于2017年9月拿到项目批复(浦环表复[2017]155号)，于2020年前该项目已经在南京市浦口区发展和改革局备案(备案代码：2108-320111-89-02-338722)，改扩建内容为新增购置超音波清洗机、热风循环烘箱和干冰机等设备，用于护管理《建设项目环境影响评价分类管理名录》(2021年版)(生态环境部令第16号)，本项目属于“三十六、计算、通信和其他电子设备制造业”类中“80电子器件制造显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的”，需要编制环境影响评价报告表。受南京弘洁半导体科技有限公司的委托，江苏润响评价工作。项目工件主要为陶瓷、石英、不锈钢类机台零部件，主要来自南京台积电，上海台线)(小(kg)(mm)1线机台零部aferLiftID、H31.85ExhaustLinerL8、W20、H130berInletL5、W30、H5LinerChamberUpperOD、H2LinerChambererOD、H116VWindowID、H31.8UPShield.8L0、W10、H0indowO.D.:503、H:42CPWindow(625-00935-PID、H0H3、公用工程及辅助工程(1)供水a工程工程改扩建后全建设名称设计能力改扩建前消耗/使用变化情况 分类厂消耗/使用(2)排水厂区排水主要为生活污水及生产废水，生产废水包括化学浸泡废液、清洗废水、纯水制备弃水及再生废水、反冲洗废水、洗涤塔废水、反冲洗废水、冷却塔定期排水。项目生产废水通过厂区自建污水处理站处理排放至园区污水管网；生活污水依托紫峰研创园化粪池预处理排放至园区污水管网，由紫峰研创园污水总排口接管至南京浦口经济开，最终排入高旺河。(3)供电区市政电网引入。(4)供气在厂南侧罐区，由选定的气体供应商供给，气体供应商需装设所有必要的设备以提供达到纯度要求的气体，所有必需设备设置在气体站及专属规划站；GA设在厂房内的空压n(5)物料运输、贮存原材料及产品进出厂均使用汽车运输。(6)绿化厂厂务区建筑面积412m2//依托现有主体房熔射区建筑面积220m2//依托现有工程工程一喷砂区建筑面积107m2//依托现有///////10m3/d4560万kwh/a97m3/d新min有有理后有风量为6000m3/h酸液喷淋有//////理风量为m3/h/7500mh理放15000m3/h mh 理气筒达标排放理置/废气达标排放置活污水经园区依托依/化粪池预处理托紫峰后接管至南京研创园紫峰研创园区化粪池预处理后接管至南京依托园区现有依托园区现有依托依托园区现有依托园区现有依托紫废水处理设/雨、污水收集管雨、污水收集峰研创施网施网管网园/有园//施/////物暂存间建筑面依托现有一般工业固体废物暂存物暂存间建筑面依托现有约约35m2存间建筑面依托现有危险废物暂存间危险废物暂存间建筑面库m2设备所在区域设备名称设备型号/规格设备所在区域设备名称设备型号/规格 改扩建前改扩后新增喷砂区喷砂机利哲祥/LZX-SF18213 利哲祥/LZX-JY330 2000iB/125L330 2000iB/125L刷洗台/52015/2210化学溢流槽/12120物理溢流槽/550清洗区/31震荡槽*/10177无尘溢流槽/10111 热风循环烘箱DV1202L0120222冷却塔良机/LBCH-300121风机/550区GRUNDFOS/CRN32-2-公辅工程设备纯水水泵GRUNDFOS/CR45-2-2P区GRUNDFOS/CRN32-2-废水处理水泵GRUNDFOS/CR34-4-29112空压机HANBELL/AA6-200A121 封口机/990注：浸泡槽+溢流槽组成二槽式通用化学台，化学台长宽高分别1.85m×0.92m×2.23m；浸泡槽+溢流槽+浸泡槽组成三槽式通用化学台，化学台长宽高分别2.72m×0.92m×2.23m；震荡槽和超音波清5、原辅材料本次改扩建项目熔射工序新增钛粉及氟化钇。具体原辅材料见表2-4，原辅料理化AS及用途性1醇0点(ºC)：-88.5；沸点(ºC)：度(水＝1)：0.79；危mgkg(大2酸剧烈刺激性气味；密度：1.15g/mLat能强烈地腐蚀金体3-6性气味，具弱碱-77°C，沸点：36°C，蒸汽压：115mmHgat20°Cfor29%solution伤复D060mg/kg(大鼠经Dkg(大鼠经LC50：D3mg/kg(大鼠经Dgkg4体，浓硝酸为淡黄色液体(溶有二氧化氮)，正常情况刺激气味；相对密度：1.50(无水)，熔点-℃(无汽压：8mmHg(20°C)；浓酸性，能够发生、氧化还原反应灾5水，纯过氧化氢是淡可任意比例与水混CCat760mmHg，纯变化。凝固点时固体1g/cm³，密度随温度升高而6水和甲醇、乙醇、乙itglitC13%(V)7水有强腐蚀属粉末发生反8具有强碱性，0.1mol/L空气中水分而潮解，吸收二氧化碳而成碳酸钾，密易燃，爆炸(ethanol)9酸1-g/NMP4乎与所litF，蒸汽压：>=10g/100mLat20ºC(V)铝/mmHg(20°C)，在高温下可电离的晶体，常用于制造耐火材料，可硅9-21-2度；化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、t2700°C/钇于空气中时易吸收二氧化碳81-83°C，闪点：12°Cowder(钛亮的无定形粉末，熔 lit(水=1)：4.5 CF(氟化9-4水，难溶于盐酸、硝酸高氯酸。在空气中。与氟化铵生成mmHg，蒸汽压：922mmHgat25°C/吸入、皮肤接触及吞食有害；刺激眼睛、呼吸系统和皮肤体，微溶于酒精和水，熔点：-氢气反应生成氨加热的情形下才无毒无毒色无味极易度：0.089g/L(101.325kpa,0°C)，熔(lit.)，氢气与电负性大的非金属反应反应显示氧可燃，爆炸无毒衡(1)氟元素平衡酸性废气处理系统。F(2)铜元素平衡台零部件中铜部分进入厂区污水处理站、部分进入危险废物。平衡。、洗涤塔废水、冷却塔定期排水。本次改扩建项目不新增氢氟用量且新增的产能(5万件零部件)不进入氢氟酸槽因此新增的生产废水中氟化物量不新增，本次不再考虑氟化物指标。建新增水量及指标如下。化学浸泡废液：主要来自于化学浸泡工序中酸液浸泡槽、碱液浸泡槽及有机浸泡槽根据企业提供资料，本次改扩建新增化学浸泡废液量为1m3/d(324m3/a)，废水主 (17820m3/a)较为洁净，可经精密过滤器回处理后直接返回纯水处理系统再生，其余废水105m3/d(34020m3/a)进入厂内污水处理站。废水主要污染物为COD、BOD5、 (103032m3/a)，厂区内有一套25m3/h纯水制备系统，项目纯水制备采用“反渗透+离子交换树脂+活性炭吸附”装置制备，新增纯水制备弃水及再生废水17m3/d (5508m3/a)进入厂内污水处理站。纯水制备弃水及再生废水主要污染因子为COD、反冲洗废水：厂区纯水制备系统自动定期反冲洗水量本次不新增。水排放量为1m3/d(324m3/a)，进入厂补充，新增冷却塔定期排水6m3/d(1944m3/a)。主要污染物为COD、BOD5、SS、8.劳动定员及工作制度，年工作时间324天，年工作时间为7776h。9.建设项目周边环境概况及平面布置次改扩建项目依托公司现有厂房，现有项目位于南京市浦口区桥林街道百合路紫次改扩建项目不改变现有厂房平面布局，仅在现有布局内增加外购设备。厂区一节本次改扩建项目依托公司现有厂房。施工期主要为设备安装、调试，工程量不本次评价不做详细分析。项目主要为台积电(南即熔射)。传统表面处理是利用现代物理、化学、金属学和热处理等学科的边缘性要求的工艺方法。经与业主核实：项目所清洗的机台零部件已由来料厂方加工完毕，表面的状况和性质无需由本项目进行改善。本次改扩建项目仅进行清洗作业，工艺涉及的喷砂、熔射、化学浸泡等工序，主要作用仅为去除掉附着在机台零部件表面上的粒，获得更高的表面平整度，不属于传统表面处理行业。本次改扩建项目工艺流程与现有项目基本一致，生产工序中主要变动内容为新增了清洗设备、化学浸泡槽及无尘溢流槽，在喷砂工序增加了钛粉、氟化钇。生产过程中使用的为台积电及其同类企业的机台零部件，辅助材料包括异丙醇、氢氟酸、氨明：节与工序理塔NH3塔/库理、铜站/、铜//硃砂用三氧化二钇、用/////站//////////了《南京弘洁半导体科技有限公司半导体、光电零件精密清洗与表面处理项目》，该报告于区环境保护局批复文件(文号：浦环表复[2017]155号)，项目宁环验[2020]1107号。1有限项目于2017年9月取得南京市浦口区号)2020年1月通过了废月29日取得该项目固体废物污染防治设施验收合格的函，宁环验7号数*(万件/数(小(kg)(mm)1体、光机台零部WaferLiftShaftExhaustLinerberInletinerChamberwerOD、ID48、H116indowOD、H22、现有项目污染物排放情况(1)废气废气主要为酸性废气、碱性废气、有机废气、粉尘废气。酸性废气经两套碱液喷淋洗涤塔处理后通过1#排气筒(20m)排放；碱性废气经酸液喷淋洗涤塔处理后通过2#排气筒(20m)排放；有机废气经活性炭吸附装置处理后经过1#排气筒(20m)排放；粉尘废气经过设备自带除尘装置处理后经1#排气筒 (2)废水紫峰研创园内实行“清污分流、雨污分流”制排水，设有1个污水总排口。厂区排水包括生产废水、生活废水，其中生产废水包括化学浸泡废液、清洗废水、反冲洗废水、纯水制备弃水及再生废水、反冲洗废水、洗涤塔废水、冷却塔定期排水等。项目生产废水通过厂区自建污水处理站处理排放至园区污水管网，生活污水经紫峰研创园化粪池处理后排放至园区污水管网，由紫峰研创园污水总排口接管至南京浦口经济开6。(3)噪声纯水水泵、废水处理/回收水泵、空压机、废气处理设施风机等。项目采用高噪声设备集中布置的原则，选用低噪声设备，并采取了减振、隔声和消声等降噪措施降低噪声排(4)固废现有项目固废主要包括一般工业固废、危险固废和生活垃圾。一般工业固废主要为废胶带、熔射废料、喷砂废料、废水处理污泥；危险固废主要为各类废包装瓶/桶 RO拭废胶带、生活垃圾交由环卫部门清运；废水处理污泥由镇江炬能新型环保建材有限公司回收公司综合利用，废气收集粉尘(熔射废料、喷砂废料)收集后交由南京佳公司综合利用；危险废物交由南京卓越环保科技有限公司处置。Y行了例行监测(由南京锐创生态环境科技有限公司于2022年4月及6月进行采样分(1)大气污染物排放达标情况果进行统计如下。mh103796768//物mgm3kgh×10-2.75×10-2//mgm3NDNDNDkg/h/////mgm3NDNDNDkgh/////醇mgm3kgh0-5//mgm31kgh×10-3×10-3×10-3//mgm3kgh×10-24.73×10-24.02×10-2//mh644424955//烃mgm32.6502kgh10-20-20-2//mh262688851//NH3mg/m3kgh/mg/m3)(mg/m3)风向氨NDNDNDND满足《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3标准限值；丙酮有组织排放浓度能够满足根据多介质环境目标值(MEG)中排放环境目标(DMEG)估算公式计算得到的限值，氨无组织排放浓度满足《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表4标准限值，硫化氢无组织排放浓度能够满足《恶臭污染物排放标准》 GB标值准。(2)水污染物排放达标情况位及结果南京浦口开发区污水处理厂接管标准pH8/9650/284.9NDND(3)噪声排放达标情况噪声监测结果一览表(单位：dB(A))根据上表数据，厂界噪声均可达《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-(4)固体废物排放情况称设备(t/a)置单位1232456789脂HW5HW9-49HW1-49HW4-06HW4-06HW1-496处置。表2-15现有项目总量汇总表(单位：t/a)项目实际排放量排放量*量排放量01760176.549332287s氨00/00/00/经核查，建设单位厂区现有项目运行正常，废气、废水达标排放，固体废弃物均厂区例行监测时，酸性废气(NOx、氟化物、HCl)、有机废气(非甲烷总烃、异丙醇、丙酮)、粉尘未在配套的废气处理装置后端进行监测，后期在进行监测时应在废气处理装置后端且未进入总排口(1#排气筒)前进行数据监测。及评价标准(1)环境空气环境质量标准根据《2022年南京市环境状况公报》(南京市生态环境局)，全市环境空气质量达到二级标准的天数为291天，同比减少9天，达标率为79.7%，同比下降2.5个百分 轻度污染71天，中度污染3天)，主要污染物为O3和PM2.5。各项污染物指51ug/m3，达标，同比下降8.9%；NO2浓度年均值为27ug/m3，达标，同比下降m因O3存在超标现象，故项目所在区域为城市环境空气质量不达标区。为了实现大气污染物减排，促进环境空气质量持续改善，贯彻落实《中共江苏省委江苏省人民政府关于深入打好污染防治攻坚战的实施意见》(江苏省委办公厅2022年1月24日)、质量状况可以得到持续改善。(2)其他污染物环境质量现状Cl位于本项目西北侧0.9km；丙酮引用《江苏芯德科技先进封测基地项目》中大气环境监年监测结果见表3-2所示，结果显示监测因子NOx、氟化物、HCl、有机废气(以非甲烷总烃计)、NH3满足《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2018)附录D中排放标准详解》中限值。3-1本项目评价范围内大气监测结果汇总表坐标度范围(mg/m3)(mg/m3)率况XY润NOx0-0.0410ND/00.027020氨0.0501-0.0910要求，故可作为本项目环境现状评价的依据，评价地区大气环境中各测点监测因子浓度。(1)地表水环境质量标准根据《江苏省地表水(环境)功能区划》，南京浦口开发区污水处理厂纳污水体高旺河执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类水质标准，长江南京段执行标准准1pH-6~96~9标准》(GB3838-2002)2mgL1503mgL4mgL05gL6gL1.0≤1.57mgL0.5.58gL0.10.39gL0.050.5砷mgL0.050.1铜mgL1.01.0mgL0.20.3(2)地表水环境质量现状地表水环境质量现状监测数据和评价结论直接引用《南京浦口经济开发区环境影响测数据监测时间在三年之内，监测布点位置符合项目地表水评价要求，故可作为本项目布设位置离子表面活性剂(LAS)、动水处理厂排口上游W1开发区区域内高旺河断面监测因子皆能够满足《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)Ⅲ类标准；长江段W11监测因子均完全达到《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)II类标准要求。方案>的通知》(宁政发[2014]34号)，项目所在区域位于3类声环境功能区，执行《声环境质量标准》 A3本项目厂界外周边50米范围内无声环境保护目标，故无需对项目周边环境进行声监测。(1)地下水环境质量标准项目区域地下水执行《地下水质量标准》(GB/T14848-2017)中相关标准，具体标pH6.5≤pH≤8.5HpH＜5.5《地下水质量标准》 (GB/T14848-7)(以N计)gL≤2.0≤5.020.030.0(以N计)mgL≤0.01.00≤4.80(以N计)gL.02.50.50(以苯酚计)mgL.001.001.0020.01gL0.0010.010.05砷gL0.0010.001.01.05汞gL.00010.0001.0010.002gL0.005≤0.01.050.10(以CaCO3gL150300450650铅mgL0.0050.0050.01镍gL0.002.0020.02mgL1.01.0≤1.0≤2.0镉gL0.0001.0010.005.01铁mgL0.1.2≤0.32.0锰gL.05.05.50gL300500≤10002000mgL0150≤250350gL0150≤250350MPNh0mL或CFUc0mL≤3.0≤3.0≤3.0100100100≤1001000铜gL.01.051.00≤1.50(CODmngL1.0≤2.03.010.0(2)地下水环境质量现状地下水质量数据和评价结论引用《南京浦口经济开发区环境影响评价区域评估报mNa+.7Mg.1NDO水位(m)高程(m)井深(m)pHⅠⅢⅢⅡⅡNDⅠⅠNDⅠⅠ2Ⅰ23Ⅱ67ⅠNDⅠ铅Ⅰ砷-4Ⅰ汞NDⅠ镉NDⅠ铁NDⅠ锰NDⅠ(1)土壤环境质量标准项目所在地属于工业用地，执行《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准(试行)》(GB36600-2018)中表1中第二类用地的筛选值要求，具体标准值见表3-9。物1砷38-2 (GB36600- 8)2镉43-973铬(六价)4铜50-8005铅00006汞97-687镍02-00089935-3-33956-4000000-200-515576-5-6-585-60.775-43苯-21407000080苯-62物-3360酚-8505600-99-21-08-92䓛-01-99090034-cd]芘5萘-355(2)土壤环境现状调查土壤表层样质量数据和评价结论引用《南京浦口经济开发区环境影响评价区域评估序1pH//2ND3铅4铜5镍6镉7汞8砷9ND苯酚ND56ND0NDNDNDND䓛NDND-cd]芘ND萘NDNDNDNDNDND9ND3NDNDND5苯ND4NDND5ND8NDND70NDNDND0ND1ND2ND3ND4ND5ND6ND(GB36600-2018)中第二类用地筛选值。境位X(东经)Y(北纬)1351寓02141南3948下水环境资源。环境扩建项目不新增用地，用地范围内无生态环境保护目标。0准放标准本项目1#排气筒大气污染物氮氧化物、颗粒物、氟化物有组织浓度限值执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3标准限值，无组织浓度参照烷总烃排放浓度执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3及表4排放限值；异丙醇有组织排放浓度执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3排放限值；丙酮有组织排放浓度根据多介质环境目标值(MEG)中排放环境目标值(DMEG)估算公式计算得到。2#排气筒氨排放浓度限值执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-污水处理站氨、硫化氢排放浓度限值执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-项目非甲烷总烃无组织废气执行《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表4企业边界大气污染物浓度限值，非甲烷总烃同时需满足《挥发性有机物无放率(kg/h)浓度限值放率(kg/h)浓度限值污染物浓度标准来源排气筒高浓度 度排气筒高浓度 度/m)mg/Nm3行《半氮氧化物50氮氧化物5020/0.12导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)颗粒物颗粒物2020/物排放监0.5度参照执行《大气污染物综合排放标准》值氟化物1.520/0.02(DB值氟化物1.520/0.02(DB32/4041—2021)表31#排气氯化氢1020/0.2浓行筒非总5020/物限2.0(D表3导体行//0(DB32/3747-2020)表//0/标准限值26120/26120/(DMEG)估算公式计算值排气值排气筒氨1020/(DB32/3747-2020)表3氨///恶臭污染1///值物排放标准》(GB14554-丙酮在《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)和《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041—2021)中没有规定排放浓度限值，本次环评参考美国环保局多介质环境目标值(MEG)中排放环境目标值(DMEG)估算公式计算其废气最高允许排放浓度。公式如下：DMEGAH=45×LD50(µg/m3)DMEGAH；LD50：半数致死量，即在一定的实验条件下，引起受试动物半数死亡的剂量(一般取大高允许排放浓度计算结果DMEGAHLD01mg/m32、水污染排放标准厂区产生的酸碱化学浸泡废液、清洗废水、纯水制备弃水及再生废水、反冲洗废水、洗涤塔废水、冷却塔定期排水通过厂区自建污水处理站处理，经园区污水管网接管至南京浦口经济开发区污水处理厂。污水处理厂接管水质及尾水执行标准见下接管浓度限值(mg/L)pH标准》(GB8978-准0080放浓度pH质量标准》(GB3838-2002)Ⅳ类60.35(10)*A准CC时的控制指标。噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准。排2准3、固体废弃物控制标准GBGB97-2023)相关要求。气气废类组织VO烷总接管排量氟化物0.009//0.009HCl0.00019//0.00019VOCs(以非甲烷总烃计)VOCs(以非甲烷总烃计)无组织异丙醇0.00014//0.00014丙酮0.005//0.005粉尘0.06//0.06氨0.09475//0.09475 H2S0.00336//0.00336废水量8229608229682296COD41.536817.842823.6941.264BOD527.835221.25426.5810.253SS20.00097.753912.2470.421氟化物5.16134.55930.6020氨氮3.63842.40441.2340.063TP1.06160.92940.13220.0126TN6.36663.68762.6790.21126.81426.81419.332铜0.084600.08460.04213/0/0/0织NOx///.04/////2/.00012///0//75/-25//////.176氨///004织NOx///.0035///0//9/.00009VOCs以非甲///018//4/.00004/6//.0014///.043氨/35/75/.0464H2S/64/36/.0017