常规机械密封产业发展实施意见

常规机械密封产业发展实施意见

制造业基础技术研究能力薄弱已经成为当前制约我国制造业发展的主要瓶颈，其中基础材料、关键基础零部件、电子元器件、集成电路、传感器、控制系统、软件工具及平台等众多领域的基础研究、关键技术研究、关键工艺研究都没有掌握自主核心技术，工艺装备、测试与实验装备、标准化等共性技术自主创新能力薄弱，亟需科技攻关。绿色发展理念逐步成为共识，激励制造企业开始重视绿色技术在产品研发设计、生产制造、销售服务和回收利用等产品全生命周期中的应用，创新高效、节能、环保和可循环的新型制造工艺和装备，不断降低资源消耗和环境影响，实现企业经济效益和社会效益的协调优化，符合经济社会可持续发展的低碳环保和循环利用要求。智能机器人推动机器人产业与人工智能等新一代信息技术深度融合，突破共性关键技术，形成具有国际竞争力的机器人产品，协同标准体系建设、技术验证平台与系统建设、以及典型示范应用，支撑我国机器人技术和产业向高端发展。（一）智能机器人基础前沿技术结合机器人与以人工智能为代表的新一代信息技术深度融合的国际发展趋势，开展机构/材料/驱动/传感/控制与仿生的创新技术、智能机器人感知与认知技术、智能机器人学习与智能增殖技术、人机自然交互与协作共融技术等重大基础前沿技术研究，搭建机器人技术验证平台系统，开展试验验证，取得原创性创新成果，为我国新一代智能机器人提供技术支撑。（二）智能机器人共性关键技术以攻克制约我国机器人技术与产业发展的共性关键技术为目标，开展高性能机器人核心零部件（RV减速器、谐波减速器、伺服电机与驱动器、机器人控制器）、专用传感器、软件体系及多任务操作系统、功能软件、计量测试/安全与可靠性、应用工艺及系统集成等共性关键技术研究，建立机器人安全性与可靠性技术体系，机器人性能达到国际同类产品水平，解决我国机器人产业空心化问题，提升国产机器人的国际竞争力。（三）新一代机器人技术与平台开展主/被动结合新型机构与驱动、模块化柔顺关节、关节变刚度弹性驱动、生物-机械界面与接口的人机相容性设计、人机安全共存、智能交互、协同作业等新一代机器人核心技术研究，研制以协作型多自由度轻型臂、协作型双臂机器人、移动操作臂等为代表的新一代互助协作型作业机器人和以上肢外骨骼、下肢外骨骼、全身外骨骼等为代表的新一代人体行为增强型机器人试验样机系统，为后续产品化奠定技术基础，实现新一代机器人技术研究与世界同步，抢占技术与产业制高点。（四）机器人关键产品/平台/系统研发研发新型作业机器人、医疗/康复机器人、面向老年人/残障人士的生活辅助机器人、特殊环境服役自主作业机器人、机器人云端在线服务平台、机器人智能作业技术及系统等高端机器人关键产品/平台/系统，丰富我国机器人产品种类，完善我国机器人产品谱系建设，提升我国机器人的整体性能与智能水平，创新服务领域和商业模式，支撑我国机器人技术与产业向高端发展，彻底转变低水平重复的局面。（五）系统集成与应用推进我国机器人面向制造业典型行业/重点领域、医疗/康复、助老助残/智慧家庭/社会服务、安全与救援/科学工程等行业/领域的系统集成与应用，实现我国机器人技术与产品在国家重点行业/领域高端应用和典型领域拓展应用，提高国产机器人国际竞争力，为国产机器人产业化奠定基础，加速推进我国智能机器人技术与产业的快速发展。机械密封行业的未来发展趋势（一）机械密封行业市场发展趋势中高端机械密封产品具有明显的个性化定制和工业消耗品特征，在主机设备的持续运行过程中存在定期更换、密封升级、日常服务、备件采购等持续需求。终端用户对主机设备运行安全性十分重视，具有较高的客户忠诚度。随着设备制造商将机械设备向终端用户交付使用，机械密封行业的存量终端用户规模不断扩大，未来市场空间将越来越集中到机械密封产品的修复、更换、升级、备件采购等存量市场，其是机械密封生产厂商利润实现的主要来源。增量市场与下游行业固定资产投资情况紧密相关，并会在主机设备交付运行后转化为存量业务。增量市场将一直是机械密封生产厂商拓展存量市场和行业收入的重要组成部分。近年来，在《国家重大科技基础设施建设中长期规划（2012-2030年）》《工业强基工程实施指南（2016-2020年）》《制造基础技术与关键部件重点专项2019年度项目申报指南》《液压液力气动密封行业十三五发展规划》等一系列行业政策所营造的良好政策环境下，以中密控股、丹东克隆和一通密封为代表的国内机械密封行业龙头企业不断延伸和拓展高端机械密封产品市场，与国际密封龙头企业展开竞争，推动高端机械密封的国产化和进口替代进程。未来，随着国内企业尤其是综合实力较强的龙头企业的不断发展，国内机械密封市场的整体进口替代水平有望进一步提升，高端机械密封市场的国产化率将进一步提高，国内企业的市场份额有望取得更大突破。（二）机械密封行业理论发展趋势密封的基础理论涵盖了流体力学、热力学、固体力学、传热学、材料学、摩擦学等多个学科领域。随着各学科基本理论的进步，密封理论正在向解决极端应用场景下的传热、变形、磨损和微尺度下的流动特性等方向发展。密封理论的不断发展将有力的支撑机械密封产品向大型化、高参数化、环保化和高稳定性的趋势发展，以满足极端应用场景下主机设备的密封需求。（三）机械密封行业技术发展趋势机械密封产品在研发设计、试验监测、加工生产等生产环节依托计算机、信息、工业自动化、数控加工等领域技术发展。随着虚拟现实技术的发展，机械密封产品的数字化设计将成为主流方向；三维可视化技术、传感器技术、振动和噪声等测试分析技术以及先进测量仪器、试验手段将在机械密封的试验和监测方面得到进一步推广和应用；未来纳米级机械加工、电子束和离子束加工、LIGA（光刻）技术、扫描隧道显微等高科技加工技术将支持机械密封加工技术在微纳制造、极端制造、数字制造等方面的同步发展。此外，智能制造技术有助于提高企业设计中心、加工中心、生产线、销售服务系统的信息智能化、网络化集成与共享，是企业实现产品全生命周期的高度柔性化和集成化的技术方向。（四）机械密封行业产品发展趋势随着石油化工、煤化工、冶金等终端下游行业的供给侧改革不断深入、节能环保标准不断提升、项目建设向大型化不断发展，以及航空航天等高精尖行业的快速发展，机械密封产品的应用领域不断向更高参数、更复杂工况领域延伸，市场对高端机械密封产品的需求呈现扩大趋势。国内机械密封行业经过多年的发展，中低端产品市场已经基本实现进口替代，高端产品市场也已步入进口替代发展阶段，并在部分高参数产品领域逐步开始与国外厂商竞争。未来，随着国内企业在研发和技术创新方面的不断突破，国内高端机械密封产品覆盖的市场深度和广度将进一步延伸和拓展，高端机械密封的国产化和进口替代将持续深化。（五）机械密封行业市场集中度发展趋势全球机械密封行业经过一百多年的发展已经呈现高度集中的市场格局和稳定的专业化分工。由于我国工业建设起步较晚，发展初期主要以产品模仿为主，加上受计划经济期间重主机、轻配套思想影响较大，自主创新能力培养较为落后。目前，我国机械密封企业产品主要集中在中低端，行业整体处于分散化、低集中度的发展阶段。近年来，国内部分规模较大的企业通过产业并购的方式提升了自身市场占有率。未来，随着国家供给侧改革的不断深化和节能环保要求的不断提高以及产业结构调整与升级的持续推进，机械密封行业的市场集中度有望得到进一步提升。机械端面密封（一）机械端面密封的简介机械端面密封是指由至少一对垂直于旋转轴线的端面在流体压力和补偿机构弹力（或磁力）的作用以及辅助密封的配合下保持贴合并相对滑动而构成的防止流体泄漏的装置。机械端面密封的工作原理是：在弹簧力和介质压力的作用下，两个密封端面紧密贴合，使密封端面之间的交界处形成连续（非接触式）或间断（接触式）的液膜或气膜，形成对带压介质的密封。（二）接触式机械密封接触式机械密封是最早出现和应用最为普遍的一类机械端面密封。接触式机械密封的基本元件包括：摩擦副、补偿机构、辅助密封圈和传动防转机构组成。摩擦副包括旋转环（动环）和静止环（静环）；补偿机构由弹性元件组成，如弹簧、波纹管等；辅助密封圈包括动环密封圈、静环密封圈、压盖密封圈等；传动防转机构包括传动销、防转销、锁紧传动装置等。机械密封（此处特指机械端面密封）是指由至少一对垂直于旋转轴线的端面在流体压力和补偿机构弹力（或磁力）的作用以及辅助密封的配合下保持贴合并相对滑动而构成的防止流体泄漏的装置。其原理是：在弹簧力和介质压力的作用下，两个密封端面紧密贴合，使密封端面之间的交界处形成液膜，形成对带压介质的密封。具体包括：a、动环在弹簧力和介质压力的作用下，与静环的端面紧密贴合，并发生相对滑动，阻止了工艺流体沿动、静环端面的泄漏；b、动环辅助密封圈阻止了介质可能沿动环与轴套之间间隙的泄漏；c、静环辅助密封圈阻止了介质可能沿静环与端盖之间间隙的泄漏；d、用O形圈或垫片来密封端盖与密封腔体连接处，阻止轴套与轴之间的泄漏。简而言之，通过在过程设备上加装机械密封装置，解决了圆周间隙泄漏的问题，让工艺介质只能从动、静这个端面往外流出。接触式机械密封是机械端面密封中的一种常见类型，具有工作可靠、泄漏量少、技术成熟等优点，广泛应用于石油化工、煤化工、管道输送、电力、冶金、制药、食品、船舶、、航空航天等各个工业领域，主要用于解决在不同温度、压力、转速等工况环境下旋转设备运转时的密封问题，是压缩机、泵、釜等旋转设备的核心零部件。干气密封是20世纪60年代末期在气体动压轴承的基础上发展起来的一种新型、先进的非接触式机械端面密封。干气密封利用流体动力学原理，通过在密封端面上开设动压槽而实现密封端面的非接触运行。与接触式机械密封相比，干气密封具有以下优点：①非接触运行，摩擦副不磨损，密封使用寿命长，理论上可以和设备同寿命；②密封功率消耗小，仅为接触式机械密封的5%左右；③与其他非接触式密封相比，干气密封气体泄漏量小；④当干气密封的工作介质选用氮气时，可实现危险介质的零泄漏或零逸出，是一种环保型密封；⑤干气密封辅助系统在使用中基本不需要维护。干气密封所具备的这些优点，高度契合易燃易爆、有毒有害等危险介质装置对轴封在安全、环保、节能、长周期运行方面的需求。尤其是在具有高温、高速、高压等特点以及环保要求极高的流体旋转设备上，干气密封具有广阔的应用前景。行业企业经过多年对干气密封技术的开发、应用和改进，解决了设备低速、振动、频繁启动以及介质含粉尘、高温、高压等恶劣条件下影响干气密封运行稳定性的关键技术难题，扩大了干气密封的应用范围，其使用可靠性和经济性已被很多工程应用所证实。从高速离心压缩机，到频繁启动的螺杆压缩机、固液分离的离心机、常规离心泵、低速反应釜、高速泵、真空泵、罗茨风机等；从干净介质到有毒有害介质、颗粒介质、高温介质、易凝介质；从转速几转/分钟的设备到50，000转/分钟的超高速设备，干气密封均已获得成功应用，并且其应用场景还在不断的拓展中。我国机械密封下游行业需求分析机械密封的应用场景包含高温、高压、高速、高腐蚀性等极端工况环境，属于工业生产中的易损件，使用一段时间后需要进行更换，通常机械密封产品的更换周期为1-3年。此外，机械密封产品，尤其是中高端机械密封产品是针对不同主机设备和不同终端下游行业的应用场景进行个性化定制，因此，存量客户对供应商设有较高的准入门槛。存量客户首次采购机械密封产品后，未来该机械密封产品的更换、密封升级或者备件采购通常会直接向原供应商直接采购，具有较高的客户粘性。鉴于机械密封产品所具有的固定更换周期和客户粘性高的特点，机械密封行业的市场需求可以分为存量市场需求和增量市场需求。其中，存量市场需求主要是指已装配于主机设备上的机械密封产品，在正常运行过程中的修复、更换、升级、备件采购等业务需求，市场空间能够保持稳定增长态势；增量市场需求主要是设备制造商的机械密封配套采购和终端用户的设备整体技术升级与改造，与下游客户固定资产投资情况紧密相关，并会在主机设备交付运行后转化为存量业务。机械密封作为压缩机、泵、釜等主机设备的关键部件，广泛应用于石油化工、煤化工、管道输送、电力、冶金、制药、食品、船舶、、航空航天等下游行业。机械密封行业的市场需求与工业领域固定资产投资情况紧密相关，直接受到主机设备对应的下游行业市场需求影响。机械密封行业的市场需求情况与社会固定资产投资趋势密切相关，当固定资产投资扩大时，机械密封行业的终端下游行业会产生联动增长，并带动机械密封行业市场需求的扩大。根据国家统计局数据信息显示，2010-2018年间，我国全社会固定资产投资规模由25．17万亿元增长至64．57万亿元，年复合增长率为12．50%；其中，固定资产投资（不含农户）规模由24．14万亿元增长至63．56万亿元，年复合增长率为12．86%。根据国家统计局发布的《中华人民共和国2020年国民经济和社会发展统计公报》《中华人民共和国2021年国民经济和社会发展统计公报》，按照可比口径计算的2019年度、2020年度、2021年度全社会固定资产投资同比分别增长5．1%、2．7%、4．9%。宏观经济发展的稳定和固定资产投资规模的稳定上升为机械密封行业的持续稳定发展创造了良好的市场发展环境。（一）终端下游行业对机械密封行业需求的影响机械密封产品的终端下游行业分布十分广泛，是机械工业中不可或缺的关键部件生产行业。其中，按照下游应用行业划分，中高端机械密封产品的终端下游行业主要集中于石油化工、煤化工、管道输送、电力、冶金、制药、食品、船舶、、航空航天等领域。终端下游行业的发展情况对机械密封行业的市场需求有着直接影响。1、机械密封石油化工行业的发展情况石油化工行业（含天然气和油品管道输送）在国民经济中发挥重要的作用，是我国化学工业的重要组成部分，也是我国的支柱产业部门之一。机械密封在石油化工行业的应用领域主要集中在炼油、乙烯、管道输送、PTA、烧碱（离子膜法）和LNG等领域的各种主机设备。我国石油化工行业发展迅速，根据《2021年中国石油和化学工业经济运行报告》以及国家石油和化工网的信息显示，2021年度，石油和化工行业营业收入14．45万亿元，同比增长30．0%，占全国规模工业营业收入的11．3%，较2020年上升0．9个百分点。《石化化工行业十四五规划研究报告》预计2019~2025年，石化化工行业主营业务收入年均增速在5%~5．5%，到2025年达15万~16万亿元。《化工园区十四五规划指南及2035中长期发展展望》提出了我国化工园区十四五发展的总体目标：由规范化发展向高质量发展跃升，打造化工园区产业发展提升、绿色化建设、智慧化建设、标准化建设和高质量发展示范的五项重点工程，五大世界级石化产业集群初具轮廓，重点培育70个具有一流竞争力的化工园区，打造5个50，即：建成50个园区科创中心、创建50家绿色化工园区、新建50家智慧化工园区、制定并颁布50项化工园区管理与建设标准和培育50项高质量发展示范工程。伴随石油和化工行业的持续发展、产业结构调整的深化、大型设备研发和国产化深入、绿色发展理念的持续推进以及的不断深化实施，未来，中高端机械密封产品在石油和化工行业的市场空间有望得到进一步提升。2、机械密封煤化工行业的发展情况我国煤矿资源储量巨大，煤化工行业起步较晚，项目受政策影响较大，产业政策与国际能源价格是煤化工行业的主要影响因素。受国内油气资源储量约束，烯烃、芳烃、乙二醇等石化产品同样存在对外依赖度过高的问题，加上中美贸易摩擦为能源和石化产品进出口带来了较多不确定性，现代煤化工将是我国保障能源和化工战略资源安全的一个重要路径。根据《2020年煤炭行业发展年度报告》，2020年，煤制油、煤制烯烃、煤制气和煤制乙二醇产能分别达到931万吨/年、1，582万吨/年、51亿立方米/年和489万吨/年。《现代煤化工十四五发展指南》指出十四五的发展目标是形成3，000万吨/年煤制油、150亿立方米/年煤制气、1，000万吨/年煤制乙二醇、100万吨/年煤制芳烃、2，000万吨/年煤（甲醇）制烯烃的产业规模。煤化工行业中，大化肥（合成氨、尿素）、煤制甲醇、二甲醚、煤制烯烃和煤制油是重点发展方向，相关项目的建设将对机械密封产品的市场需求形成拉动。随着我国煤化工行业的节能环保、供给侧改革和产业结构调整的不断推进完善，未来我国煤化工行业尤其是现代煤化工行业将迎来发展机遇。所有的煤化工项目均需配置大量的泵和压缩机等主机设备，高端设备的投资规模不断扩大也将对中高端机械密封产品的市场需求提供重要支撑。3、机械密封电力行业的发展情况根据国家统计局的数据显示，2010-2021年间，全国发电量由4．21万亿千万时增长至8．11万亿千瓦时，年复合增长率为6．15%。根据《中国十四五电力发展规划研究》，到2025年，我国全社会用电量将达到9．2万亿千瓦时，十四五期间年均增速约4．4%，新增用电量约1．8万亿千瓦时。随着我国经济的持续快速发展，国内市场对电力的使用需求保持着较为稳定的增长。根据《中国十四五电力发展规划研究》，十四五期间，我国常规水电发电装机将从2020年的3．40亿千瓦增长至2025年的3．92亿千瓦；核电发电装机将从2020年的0．51亿千瓦增长至2025年的0．72亿千瓦；气电发电装机将由2020年的0．98亿千瓦，增长至2025年的约1．52亿千瓦水平。我国将在十四五期间继续深化节能减排工作，淘汰落后产能，开展煤电灵活性改造，大力发展太阳能发电、陆上风电，安全稳妥发展核电，预计2025年，电源总装机达到29．5亿千瓦，清洁能源装机达到17亿千瓦，占比由2019年41．9%提高至2025年57．5%，清洁能源发电量占比由2019年32．6%提高至2025年45%。供给侧改革和节能环保改造将增加电力行业对大型主机设备的使用和维护需求，带动中高端机械密封生产厂商的产品销售。机械密封在电力行业主要应用在水电、火电、核电等领域。随着我国电力行业的持续稳定增长和投资规模的不断扩大，以及节能环保和供给侧改革的不断深入，未来我国电力行业对大容量、高参数、环保型设备的应用需求将继续增加，电力行业对中高端机械密封产品的需求量有望保持稳定增长态势。4、机械密封冶金行业的发展情况冶金工业是国民经济和社会发展的基础原材料产业之一，具有总量大、涉及面广、就业人数多、产业关联度高等特点。其中，机械密封产品的市场需求主要集中在冶金焦化和氧化铝等领域。根据中国炼焦行业协会发布的《中国焦化工业改革开放四十年的发展》，经过2013-2015年企业的分化调整，淘汰落后产能、煤钢行业化解过剩产能、环保安全监管督察的规范治理，煤焦钢市场供需状况趋于平衡。《焦化行业十四五发展规划纲要》提出了开展清洁生产，源头控制污染物产生，到2025年焦化废水产生量减少30%，氮氧化物和二氧化硫产生量分别减少20%；优化固体废弃物处理工艺，固体废弃物资源化利源率提高10%以上。完善能源管控体系，建设能源管控中心，力争到2025年能源管控中心普及率到达50%以上。冶金行业在经历了供给侧改革和节能环保改造后，淘汰了一批工艺落后、设备陈旧的生产企业，市场供求情况将趋于平稳，将逐步实现装备大型化、连续化和自动化。冶金行业在逐步完成供给侧改革和节能环保改造，并初步实现产业结构优化后，有望进入稳定发展阶段。冶金行业的设备改造和升级等需求将对中高端机械密封产品的市场需求形成支撑。5、机械密封制药食品和航空航天等其他行业的发展情况制药和食品作为机械密封行业下游需求来源的重要组成部分，近年来的固定资产投资总额持续保持在较高的水平。根据国家统计局的数据测算，2015-2021年间，我国医药制造业固定资产投资总额的年复合增长率约为9．07%，2021年同比增长10．6%；2015-2021年间，我国食品制造业固定资产投资总额的年复合增长率约为3．95%，2021年同比增长10．4%。在制药和食品行业固定资产投资规模维持在较高水平和行业发展过程中主机设备运行参数不断提高的背景下，未来制药和食品行业对机械密封产品的市场需求有望进一步提高。中国正面临着国内民航市场快速成长和未来对民用飞机的巨大需求。根据《机械密封行业十三五专业发展规划》信息显示，中国未来20年需补充大型民用飞机2，000多架，价值高达2，000亿美元，占全球需求总量的10%，是世界第二大市场。我国大型飞机项目计划到2020年实现大飞机的国产化。现代航空发动机上有几十处流体动密封装置，包括梳齿密封、刷式密封、指尖密封和气膜密封等。我国载人航天和探月工程实现加速跨越，中国正在研制推力超过一千吨的重型运载火箭以及起飞推力更大的巨型运载火箭，对超高速涡轮泵轴封的技术要求越来越高。因此，我国航空航天密封产品市场需求巨大，加快航空发动机密封、临近空间飞行器高温热障密封、超高速涡轮泵轴封等先进技术的研究进程是国内机械密封行业未来的重要突破方向。（二）机械密封行业市场需求综述机械密封产品广泛应用于石油化工、煤化工、管道输送、电力、冶金、制药、食品、船舶、、航空航天等工业领域。根据中国报告网的信息显示，密封件是千亿市场，分类很多，包括橡塑密封、机械密封和填料密封技术。其中，机械密封产品作为各类主机设备的关键部件，是密封件产品中技术门槛高、附加值大的一种，属于精密、结构较为复杂的机械基础元件之一。根据《机械密封行业十三五专业发展规划》提出的重点目标，到2020年国内生产的各类主机设备所需机械密封产品基本能在国内生产、供应，品种、质量满足要求；机械密封行业的产值达到200亿元，产品出口达到40亿元。随着中国经济步入新常态发展阶段，经济增长从高速转为中高速，从规模速度型粗放增长向质量效率型集约增长转变，从要素投资驱动向技术创新驱动转变。我国固定资产投资规模一直维持在较高的水平，尤其是重点行业领域的投资规模持续增长，供给侧改革、产业结构升级和节能环保改造以及各类大型项目建设推进等已取得比较明显的成效，机械密封行业的市场需求将继续保持稳定，石油化工、煤化工、管道输送、电力、冶金、制药、食品、船舶、、航空航天等重点领域对中高端机械密封产品的需求有望保持稳定的增长态势。我国制造业自身存在的问题（一）自主创新能力不强我国是制造业大国，但多数制造企业在国际产业链分工中仍处于制造—加工—组装低技术含量和低附加值环节，创新能力不强。尤其在高端产品创新设计方面，设计工具软件受制于人，设计方法和理念不够先进，创新设计能力较为薄弱。2015年，我国集成电路进出口逆差1600多亿美元，众多高端芯片的核心技术尚无法突破，企业被迫将大部分利润用于购买国外专利授权，产业自主发展的能力不强，难以打破市场垄断。（二）基础能力薄弱，产品质量不高我国制造业质量基础相对薄弱，高性能液压件与气动元件、高速精密轴承、大功率变频技术、特种执行机构、仪器仪表传感器、工控软件系统等发展滞后。产品质量和技术标准整体不高，出口产品召回问题不断，严重影响着我国制造业的国际形象。此外，制造业每年直接质量损失超过2000亿元，间接损失超过1万亿元。（三）资源利用效率偏低我国部分传统制造行业高投入、高消耗、高污染、低效益的粗放式生产方式，加剧了对生态环境的破坏。全国钢铁、建材、化工等行业单位产品能耗比国际先进水平高出10%-20%；机电产品中量大面广的燃煤工业锅炉运行效率比国外先进水平低15～20%。制造业可持续发展遇到瓶颈。我国大部分地区和行业的信息化仍处于以局部应用为主的初级阶段，且不同地区、行业和不同规模企业间信息化水平尚存在明显差距。面对网络协同制造、大规模个性化定制等新型生产模式的变革，认识不充分，准备不足，传统制造业将面临二次淘汰的风险。极大规模集成电路制造装备及成套工艺针对移动通信、大数据、新能源、智能制造、物联网等重点领域大宗产品制造需求，重点围绕28-14纳米技术节点进行工艺、装备和关键材料的协同布局，形成28-14纳米装备、材料、工艺、封测等较完善的产业链，推动全产业链专项成果的规模化应用，促进产业生态的改善和技术升级，实现技术促进产业发展目标。（一）光刻机及核心部件研发干式光刻机产品并实现销售；研制28纳米浸没式光刻机产品，进入大生产线考核；开展配套光学系统、双工件台等核心部件产品研发，并集成到整机；构建关键技术与产品开发平台，提升光刻机自主创新能力；建设光刻机光学系统等关键部件生产基地，具备批量生产能力。（二）高端关键装备及零部件面向集成电路14-10纳米先进工艺，重点开展刻蚀、薄膜、化学机械处理、掺杂和检测等关键装备及其配套核心零部件产品研发，通过大生产线考核并进入销售。（三）成套工艺及知识产权（IP）库以移动通信应用为重点，开发14纳米及相关产品工艺；以大数据应用为重点，开发立体堆叠闪存（3D-D）存储器工艺，开展7-5纳米关键技术研究；面向新能源、智能制造、物联网等重点领域大宗产品制造需求，开发特色产品工艺平台；取得核心知识产权并实际应用。（四）关键材料面向45-28-14纳米集成电路工艺，重点研发300毫米硅片、深紫外光刻胶、抛光材料、超高纯电子气体、溅射靶材等关键材料产品，通过大生产线应用考核认证并实现规模化销售；研发相关超高纯原材料产品，构建材料应用工艺开发平台，支撑关键材料产业技术创新生态体系建设与发展。（五）封装测试面向移动互联和汽车电子等重大领域需求，围绕处理器、存储器、14-10纳米工艺节点晶圆等产品开发下一代封装集成与测试新技术以及相关的关键装备和材料产品；实现可集成数模混合电路、射频、微机电系统（MEMS）和光电等多功能异质材料芯片的三维系统集成技术的量产应用；建成有影响力的封装集成产业共性技术研发平台，取得较完善的知识产权体系。发展先进制造技术是国家战略需求（一）建设制造强国的战略需要制造业是国民经济的主体，是富国之基、强国之本。我国经济社会各领域的发展，要求制造业提供更先进的生产技术水平、高品质的消费产品、自主可控的重大技术装备。从制造大国转变为制造强国，是我国制造业发展的战略选择。发展先进制造技术，增强制造领域的自主创新能力和整体实力，推进制造质量和产品品牌建设，才能全面提升我国制造业水平，这是提升我国综合国力、保障国家安全、建设世界强国的必由之路。（二）经济发展和产业结构调整的现实需求我国经济发展已进入速度变化、结构优化和动力转换的新常态。资源环境约束不断强化，劳动力等生产要素成本正在加快上升，投资和出口增速放缓，主要依靠资源要素投入、规模扩张的粗放发展模式已难以为继，推进供给侧结构性改革，提质增效已成为经济发展的主要目标。转变经济发展方式，打造竞争新优势，要依靠科技创新提供发展新动力。（三）应对国际产业竞争的战略需要世界制造业产业竞争格局正在发生重大调整。欧美等工业发达国家纷纷制定再工业化战略，重点发展先进制造技术，抢占制造业高端。新兴发展中国家也在积极参与全球产业再分工，承接产业及资本转移，抢占制造业的中低端。双重挤压的外部环境短期内不会改变。通过增强制造业技术水平，提高制造业生产效率，使我国制造业在产业竞争中跨入中高端，对国家未来发展意义重大。新型电子制造关键装备面向宽禁带半导体器件、光通讯器件、MEMS（微机电系统）器件、功率电子器件、新型显示、半导体照明、高效光伏等泛半导体产业领域的巨大市场需求，开展关键装备与工艺的研究，重点解决电子器件关键材料装备、器件制造装备等高端装备缺乏关键技术、可靠性低、工艺开发不足等问题，推动新技术研发与关键装备研发的协同发展，构建高端电子制造装备自主创新体系。（一）宽禁带半导体/半导体照明等关键装备研究针对碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等为代表的宽禁带半导体技术对关键制造装备的需求，开展大尺寸（6吋）宽禁带半导体材料制备、器件制造、性能检测等关键装备与工艺研究。针对高亮度半导体照明（LED、OLED）大生产线对制造装备的需求，开展大产能材料制备、器件制造、性能检测等关键装备研发，掌握核心技术与工艺，满足大生产线要求。（二）光通讯器件关键装备及工艺研究针对光通讯器件制造对装备的需求，重点围绕硅基光电子芯片工艺装备、InP（铟磷）基等光电子芯片工艺装备、光纤器件工艺装备、光电子器件耦合封装等关键装备等开展研究，掌握核心技术，实现产品应用，提升国内光通讯器件制造能力及工艺水平。（三）MEMS器件/电力电子器件等关键装备与工艺研究针对MEMS器件、电力电子器件等领域对装备的特殊工艺需求，开展材料制备、芯片制造、特种封装、性能检测等关键装备与工艺的研发，掌握关键技术、开发特色工艺，提高国产装备的工艺适应性及可靠性。研究基于国产装备为主的成套工艺，完成对国产装备的工艺优化、可靠性验证及集成应用，打造自主产业链，提升产业竞争力。（四）高效光伏电池关键装备及工艺研究针对下一代高效光伏电池技术（PERC、HIT、黑硅电池等）对关键装备及工艺的需求，开展大产能、高转换效率光伏电池制造工艺装备、自动化制造装备、核心工艺等研究，降低电池片制造成本，转换效率达到国际领先水平，实现批量销售。（五）新材料，新器件关键电子装备与核心部件研究针对石墨烯、碳基电子器件、柔性显示、光互联等国际上不断出现的新材料、新器件、新工艺对半导体技术相关的装备需求，开展面向电子器件应用石墨烯材料制备装备、大面积转移装备、石墨烯电子器件制造装备、柔性显示有机膜材料制备装备、柔性显示有机器件制造及检测装备、碳基电子器件制造装备、光互联器件制备装备、高密度封装等方面的关键装备开发，满足研发或产