离子注入设备行业发展分析与投资前景分析报告

离子注入设备行业发展分析与投资前景分析报告汇报人：汇报时间2023目录CONTENTS010302040506离子注入设备发展环境离子注入设备发展趋势离子注入设备投资分析离子注入设备竞争格局离子注入设备现状分析离子注入设备行业综述行业定义行业产业链发展历程离子注入设备行业概述01&&&离子注入设备行业定义离子注入机主要应用于半导体和光伏领域，半导体领域中属于晶圆制造设备，主要用于晶圆制造流程中的注入（掺杂）工序，主要方式和目的是通过加入少量杂质使得原本导电性能很差的纯净硅变为一种有用的半导体。通过离子注入机的加速和引导，将需掺杂离子以离子束形式入射到材料中去，发生一系列理化反应从而优化材料表面性能。离子注入相较以往的高温热扩散法存在精确控制能量和剂量、均匀性好、纯度高等优点，已基本取代高温热扩散法成为主流工艺。根据离子束电流和束流能量范围，一般可以把离子注入机分为低能大束流离子注入机、高能离子注入机和中低束离子注入机，应用存在区别，如高能离子注入机因电子束能量较高，主要用于深埋层。离子注入机主要用于掺杂工艺。目前从掺杂工艺技术上有2种方法:一是高温热扩散法，即将掺杂气体导入放有硅片的高温炉，将杂质扩散到硅片内的一种方法；二是离子注入法，通过离子注入机的加速和引导，将要掺杂的离子以离子束形式入射到材料中去，离子束与材料中的原子或分子发生一系列理化反应，入射离子逐渐损失能量，并引起材料表面成分、结构和性能发生变化，最后停留在材料中，从而优化材料表面性能，或使材料获得某些新的性能。行业定义行业政策1突破集成电路关键装备和材料，加强集成电路装备、材料与工艺结合，研发光刻机、刻蚀机、离子注入机等关键设备将高效N型晶体硅太阳能离子注入机等太阳能电池生产装备，以及中束流、大束流、高能离子注入机等集成电路生产装备列入名录主要包括6英寸/8英寸/12英寸集成电路生产线所用的光刻机、刻蚀机、离子注入机、退火设备、单晶生长设备、薄膜生长设备、化学机械抛光设备、封装设备、测试设备等集成电路为重点发展领域，“十四五”规划建设世界级产业集群。在装备材料方面，加强装备材料创新发展，突破光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、离子注入设备、湿法设备,检测设备等集成电路前道核心工艺设备言战网《国家集成电路产业发展推进纲要》《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录(2016)》《上海市先进制造业发展“十四五”规划》《首台（套)重大技术装备推广应用指导目录(2019年版）》行业市场分析5868亿营收10.5%年复合增长率21462亿2020资产总额567.6亿净利润随着下游消费电子领域回升和汽车电子等需求持续增长，2020-2021年全球半导体产业景气度回升，离子注入机市场规模快速扩张，2019年达18亿美元左右，根据半导体设备总体规模变化情况预测，2021年全球离子注入机市场规模将超过30亿美元，2022年上半年来看，主要晶圆厂订单减少，整体半导体设备领域增长将降速，离子注入机需求增长有限。目前，全球离子注入机仍以大束流离子注入机为主，数据显示，大束流离子注入机占全部离子注入机市场份额的61%，中低束流离子注入机及高能离子注入机分别占比20%和18%。主要原因是2）本土离子注入设备企业的研发技术不断提高，逐渐发展扩大，丰富了离子注入设备行业产品的种类，扩大了市场规模；行业得以保持快速增长，主要因为受到以下三个因素的影响：1）离子注入设备行业的发展需要大量科学实验的支持，拉动产品的需求提升；3）相关政策的逐渐完善，使得离子注入设备的监管愈加完善，生产、消费、使用流程得到安全保障，促进了行业的发展。6驱动因素15页驱动因素标题115页驱动因素标题215页驱动因素标题415页驱动因素标题3在中美持续对弈、中方政策高度重视、国有基金资金助力的情况下，离子注入机的国产化进程正在加速到来。由于离子注入机在集成电路制造前道设备中的不可替代性和目前被美日龙头企业垄断的市场现状，我国在政策上对离子注入机重视程度较高，在多项政策中将离子注入机的研发列为战略发展目标。政策支持、有望快速突破OLED面板离子注入技术瓶颈、半导体专用设备需求巨大、光伏需求加速离子注入设备改造等是行业主要驱动因素需求驱动:AMOLED已经成为智能移动设备面板的首选，除智能手机，AMOLED面板已渗透到智能手表、车载显示和虚拟现实可穿戴设备等更多应用领域。至2020年,AMOLED面板需求面积年复合增长率将达40.7%。技术需求:目前主流TFT-LCD显示的前段制造工艺和AMOLED前段制造工艺大部分设备相同,由于AMOLED采用LTPSTFT背板,需额外添加激光结晶设备和离子注入机。离子注入设备占前道晶圆设备市场33份额，目前全球每年市场规模约1B亿美元。根据离子注人设备产率和工艺注入量的不同.估计成熟制程产线每方片/月需要约2台大束流离子注入机，先进制程产线每万片/月需要约4-5台大末流离子注入机。如中芯计划投资76亿美元新建的北京亦庄2Bnm一期.设计产能10方片/月,约需40台离子注入机.总计价值约12亿人民币。长江存储—条月产5方片12英寸存储制造线.已采购30余台离子注入机。离子注入高效低成本,中国企业凯世通光伏领城实力强。全球光伏离子注入企业仅有三家，除凯世通外,还有美国Irntevac和日本真空。凯世通专注离子注入技术，紧抓中国巨大的市场，光伏领域出货量世界第一、占据光侯离子注入绝对领导地位。中国光伏离子注入机潜在市场规模约为225亿元:根据国家能源局2018年公布2017年全国新增光伏装机58Gw,其中生产线超过000条，未来光伏的发展趋势是高效单品的路线，通过产业链交流假如按照30%技术升级的需求进行估算,中国有近30O条生产线需耍用离子注入设备来改造为N-PERT电池产线,市场空间较大。经济环境社会环境02离子注入设备发展环境02政策环境行业经济环境从2017-2022年以来，我国国内生产总值呈现上涨的趋势，同比增速处于持续正增长的态势，其中2021年国内生产总值为1143670亿元，同比2020年增长了184%。2022年1-9月我国国内生产总值为870269亿元，同比增长了6.2%。在疫情得到有效控制的情形下，我国经济开始逐渐复苏，之前受疫情影响而停滞的各个行业，也开始恢复运行，常态化增长趋势基本形成，未来中国离子注入设备行业的发展必然有很大的上升空间。9社会环境1社会环境2行业社会环境改革开放以来，我国经济不断发展，几度赶超世界各国，一跃而上，成为GDP总量仅次于美国的唯一一个发展中国家。但同时我们也应看到其中的不足之处，最基本的问题便是就业问题，我国人口基数大，在改革开放后，人才的竞争更显得尤为激烈，大学生面对毕业后的就业情况、失业人士一直困扰着我国发展过程中，对于国家来说，促进社会就业公平问题需持续关注并及时解决；对于个人来说提前做好职业规划、人生规划也是人生发展的重中之重。中国当前的环境下，挑战与危机并存，中国正面临着最好的发展机遇期，在风险中寻求机遇，抓住机遇，不断壮大自己。自改革开放以来，政治体系日趋完善、法治化进程也逐步趋近完美，市场经济体系也在不断蓬勃发展；虽在一些方面上弊端漏洞仍存，但在整体上，我国总体发展稳中向好，宏观环境稳定繁荣，二十一世纪的华夏繁荣美好，对于青年人来说，也是机遇无限的时代。10行业社会环境整体光伏产业来看，根据中国光伏行业协会（CPIA）的统计，2018年全球光伏设备市场规模为48亿美元，同比增8%。太阳能光伏设备可分为硅片生产、电池生产和组件生产三个环节的设备，其中离子注入主要用于电池生产，由于全球仅万业企业旗下凯世通、美国Intevac和日本真空技术三家生产太阳能离子注入机，根据万业企业公告，2017年万业企业旗下凯世通和Intevac分别销售15和2台离子注入机（日本真空技术未披露销量），以600万人民币的平均单价来测算，则2017年离子注入机的市场规模至少为02亿人民币，占2017年全球光伏设备市场规模为0.3%以上。展望未来，随着国内光伏建设的政策支持与方案落地，叠加欧洲、印度与其他新兴国家的发力，全球光伏装机量有望持续增长，从而带来整体光伏设备与太阳能离子注入设备行业的继续成长。行业市场规模行业现状03离子注入设备现状分析03行业现状下游消费电子需求回暖，叠加汽车电子产业快速扩张，全球半导体产业景气度高涨带动半导体设备市场规模持续扩张，数据显示，2021年全球半导体设备市场规模达1026.4亿美元，经历了2019年产业的整体萎缩，产业回弹规模更快细分产品类型而言，晶圆制造设备种类众多且技术壁垒深厚，如光刻机等产品价格极高，是半导体设备的主要组成部分，相较2020年结构（晶圆制造设备占比84%、封装和测试分别占比9%和6%），封装设备因销售额同比增长87%左右，远高于晶圆设备增速（44%）和测试设备（30%），占比提升至12%左右。离子注入机属于半导体设备的关键设备，占比晶圆制造设备价值量4-6%左右。13行业市场规模随着下游消费电子领域回升和汽车电子等需求持续增长，2020-2021年全球半导体产业景气度回升，离子注入机市场规模快速扩张，2019年达18亿美元左右，根据半导体设备总体规模变化情况预测，2021年全球离子注入机市场规模将超过30亿美元，2022年上半年来看，主要晶圆厂订单减少，整体半导体设备领域增长将降速，离子注入机需求增长有限。目前，全球离子注入机仍以大束流离子注入机为主，数据显示，大束流离子注入机占全部离子注入机市场份额的61%，中低束流离子注入机及高能离子注入机分别占比20%和18%。主要原因是14行业市场规模2016年中国离子注入机的市场规模约为222亿元，2020年增长至453亿元，年复合增长率为17.68%，近3年复合增长率为28.23%。从过去市场表现来看，国内市场规模增速均高于行业增速，未来随着国内晶圆厂加速扩张，对离子注入机的采购需求将随之快速增长，中国市场有望持续领跑全球增速。离子注入机按下游应用领域不同，可以分为集成电路离子注入机、光伏离子注入机和AMOLED离子注入机。据统计，截至2020年我国离子注入机总产量为26台，同比2019年增加了6台。15行业现状进出口目前高端集成电路离子注入机仍严重依赖进口，就数量而言，进口和出口整体皆表现为稳步增长趋势，进口增速略高于出口增速，尤其2021年国内半导体产也需求大幅度上升背景下，离子注入机进口量增加154台，进口金额增长48.5%至9.13亿美元，出口而言虽然出口量有所上升，但产品主要为中低端产品，对比进出口均价而言，单台离子注入机进口均价是出口均价的40倍以上。16进口来源地就我国离子注入机进口来源分布而言，美国是最大供给国，数据显示2021年我国从美国进口234台离子注入机，金额达6.11亿美元，除此之外，日韩等半导体发展较快的发达国家也是进口关键来源国，分别从日本和韩国进口74和35台。行业发展趋势04离子注入设备发展趋势04行业制约因素行业发展策略行业制约因素行业监管难度大质量参差不齐高端产品发展落后离子注入设备行业缺乏完备的质量控制和质量保证体系，生产商缺乏统一的生产标准，行业内产品质量良莠不齐，导致产品的可靠性难以保证，丧失产品市场竞争力政府秉承创新开放的态度，支持和鼓励科学研究创新，对科学研究试验不设置严格限制，因此，离子注入设备行业不存在统一的监督管理规范，产品质量主要依靠生产企业自主检测，离子注入设备行业产品质量的监管难度加大在中低端产品领域，仍然有较大比例的产品依赖于进口渠道。此外，离子注入设备行业企业缺乏创新研发能力以及仿制能力，加重下游消费端对进口科研用检测试剂的依赖，不利于离子注入设备行业的发展流通环节有待完善离子注入设备产品种类繁多，消费数量较大，质量参差不齐，试剂流通管理难以完善，导致离子注入设备行业目前在流通领域还面临许多问题。（1）在产品的流通中，许多环节缺少安全的冷链和冷库设施供应。在目前运输多为汽车和铁路运输的情况下，离子注入设备行业生产企业普遍采用运输箱内置冰冻袋的冷藏方式，在高温天气或长距离运输的情况下无法确保运输温度的稳定，影响试剂的安全性。（2）监管人员技术水平有待提高。离子注入设备产品是一种高技术含量的产品，产品研发涉及生物学、信息技术、电子技术、工程学等多项学科，而目前从事离子注入设备行业的人员50%以上是工商、质检管理等专业背景的人员，缺少必要的专业技术知识。知识背景的不匹配使得管理流程漏洞频发，离子注入设备行业整体监管水平有待提高。（3）中间环节加价严重。出于安全的考虑，国家对离子注入设备行业进出口标准与流程严格把控，环节复杂，中间环节加价严重，代理公司的介入可能使产品出厂价格上涨至少一倍以上，导致产品市场竞争力下降，阻碍本土离子注入设备行业企业的国际化进程。流通环节问题中间环节加价严重供应链质量监管质量提升在资本的加持下，离子注入设备的跑马圈地仍在持续，预计2021年将会更加残酷和激烈。同时，在线教育也面临着更严格的监管，合规成本提升。离子注入设备行业产品品种多、批量小、附加值高，产品质量要求也较为严格。离子注入设备行业市场产品质量参差不齐，假冒伪劣等乱象仍普遍存在，严重阻碍离子注入设备行业发展进步。未来，提升离子注入设备行业产品质量是发展离子注入设备行业的核心任务，具体措施可分为以下两大部分：（1）政府方面：政府应当制定行业生产标准，规范离子注入设备行业生产流程，并成立相关部门，对科研用离子注入设备行业的研发、生产、销售等各个环节进行监督，形成统一的监督管理体系，完善试剂流通环节的基础设施建设，重点加强冷链运输环节的基础设施升级，保证离子注入设备行业产品的质量，促进行业长期稳定的发展；（2）生产企业方面：离子注入设备行业生产企业应严格遵守行业生产规范，保证产品质量的稳定性。目前市场上已有多个本土离子注入设备行业企业加强生产质量的把控，对标优质、高端的进口产品，并凭借价格优势逐步替代进口。此外，离子注入设备行业企业紧跟行业研发潮流，加大创新研发力度，不断推出新产品，进一步扩大市场占有率，也是未来行业发展的重要趋势提升产品质量生产企业方面政府方面20行业发展建议提升产品质量（1）政府方面：政府应当制定行业生产标准，规范离子注入设备行业生产流程，并成立相关部门，对科研用离子注入设备行业的研发、生产、销售等各个环节进行监督，形成统一的监督管理体系，完善试剂流通环节的基础设施建设，重点加强冷链运输环节的基础设施升级，保证离子注入设备行业产品的质量，促进行业长期稳定的发展；（2）生产企业方面：离子注入设备行业生产企业应严格遵守行业生产规范，保证产品质量的稳定性。目前市场上已有多个本土离子注入设备行业企业加强生产质量的把控，对标优质、高端的进口产品，并凭借价格优势逐步替代进口。此外，离子注入设备行业企业紧跟行业研发潮流，加大创新研发力度，不断推出新产品，进一步扩大市场占有率，也是未来行业发展的重要趋势。全面增值服务单一的资金提供方角色仅能为离子注入设备行业企业提供“净利差”的盈利模式，离子注入设备行业同质化竞争日趋严重，利润空间不断被压缩，企业业务收入因此受影响，商业模式亟待转型除传统的离子注入设备行业需求外，设备管理、服务解决方案、贷款解决方案、结构化融资方案、专业咨询服务等方面多方位综合性的增值服务需求也逐步增强。中国本土离子注入设备行业龙头企业开始在定制型服务领域发力，巩固行业地位多元化融资渠道可持续公司债等创新产品，扩大非公开定向债务融资工具（PPN）、公司债等额度获取，形成了公司债、PPN、中期票据、短融、超短融资等多产品、多市场交替发行的新局面；企业获取各业态银行如国有银行、政策性银行、外资银行以及其他中资行的授信额度，确保了银行贷款资金来源的稳定性。离子注入设备行业企业在保证间接融资渠道通畅的同时，能够综合运用发债和资产证券化等方式促进自身融资渠道的多元化，降低对单一产品和市场的依赖程度，实现融资地域的分散化，从而降低资金成本，提升企业负债端的市场竞争力。以远东宏信为例，公司依据自身战略发展需求，坚持“资源全球化”战略，结合实时国内外金融环境，有效调整公司直接融资和间接融资的分布结构，在融资成本方面与同业相比优势突出。行业趋势供科研咨询服务通过进行细化分工，为客户制定科研问题解决方案，使客户能更加专注于其擅长的领域，提高科研效率，且帮助行业大幅节省医学科研投入离子注入设备行业企业开始在定制型服务领域发力，巩固行业地位提高产品定制服务能力行业趋势新兴领域+应用场景拓宽未来，随着下游5G通信、计算机、消费电子、网络通信等各行业需求的稳步增长以及物联网、人工智能、汽车电子、智能手机、智能穿戴、云计算、大数据和安防电子等新兴领域的快速发展、集成电路产业面临着新型芯片或先进工艺的产能扩张需求为半导体专用设备行业带来广阔的市场空间。2015至2020年，在智能手机和消费电子快速发展的推动下，半导体设备进入持续上升行业周期，全球半导体设备市场规模从356.3亿美元增长至719亿美元，GACR达12020年，中国成为最大的半导体设备市场，市场空间达187.2亿美元。2020年，受到新冠疫情影响下．中国是唯一保持持续增长的地区，市场规模在全球占比逐年提升.GACR达30.7版。全球经济复苏刺激消费需求下，品圆制造厂进入新一轮投资周期，下游晶圆代工厂加速扩建扩产能，目前全球晶圆代工市场仍处于供应不求的局面，将直接带动半导体离子注入设备需求并有望持续增长。国产半导体专用设备发展进程行业典型企业05离子注入设备竞争格局05行业竞争格局同质化竞争激烈价格战授信加大行业并购新进企业（1）价格战引发收益率报价逐年下降：部分离子注入设备行业公司为抓住优质客户资源，依靠价格战取得竞争优势，导致行业毛利率下降，选择合作企业时“唯价格论”，不利于行业良性发展；（2）过高授信加大财务风险：离子注入设备行业公司对各家医院的总体授信额度偏高，甚至超过医院的偿还能力，为自身带来较大财务风险，不利于企业的长期发展。未来，离子注入设备行业行业要想获得突破，首先需要企业间形成差异化竞争优势。25离子注入设备行业受经济周期影响较弱，于离子注入设备企业而言具有“低风险、高收益”的特点，吸引众多新兴市场参与者加入其中。目前中国离子注入设备行业市场企业数量众多，同质化竞争现象日趋严重，成为制约中国离子注入设备行业行业发展的主要原因。中国离子注入设备行业公司数量众多，但大多以简单融资租赁为主要业务方式，服务模式单一，同质化现象严重，为中国离子注入设备行业行业的发展带来以下不良影响：竞争趋势

随着科技不断发展，离子注入设备企业对离子注入设备行业产品的研发投入不断加大，企业形成自己的技术堡垒是在未来市场中取得市场份额的重要收到，因此技术竞争也是未来行业竞争的重要方向之一。离子注入设备行业的竞争促进了产品质量与服务的持续优化与创新，在满足客户需求的同时也给行业服务带来不断的新体验。优质的服务是离子注入设备行业竞争的重要焦点与未来趋势。客户是上帝，满足客户的需求是离子注入设备行业企业的价值实现，离子注入设备行业竞争趋势首先在需求的分析与客户痛点的把握。小众运动场景日益崛起，带动了新的离子注入设备行业产品需求。随着行业的竞争不断加剧，企业竞争的本质是人才的竞争，离子注入设备行业企业都在不断提升专业员工的技术水平。通过专项培训、高薪招聘吸引高端优质人才加入。人才竞争是未来离子注入设备行业竞争的核心点之一。

服务技术需求人才26随着科技不断发展，离子注入设备企业对离子注入设备行业产品的研发投入不断加大，企业形成自己的技术堡垒是在未来市场中取得市场份额的重要收到，因此技术竞争也是未来行业竞争的重要方向之一。离子注入设备行业的竞争促进了产品质量与服务的持续优化与创新，在满足客户需求的同时也给行业服务带来不断的新体验。优质的服务是离子注入设备行业竞争的重要焦点与未来趋势。客户是上帝，满足客户的需求是离子注入设备行业企业的价值实现，离子注入设备行业竞争趋势首先在需求的分析与客户痛点的把握。小众运动场景日益崛起，带动了新的离子注入设备行业产品需求。&&&行业竞争格局全球离子注入机的领先企业主要分布在中国、美国和日本，其中，中国大陆拥有凯世通和中科信两家离子注入机行业的龙头企业，凯世通在光伏离子注入机方面遥遥领先。而美国则拥有近乎垄断IC离子注入机市场的应用材料，以及Axcelis、等企业，前者占据了70%左右的市场份额，而后者则占据了20%左右的市场份额。日本也拥有日新、日本真空、住友重工等离子注入机知名厂商。凯世通作为万业企业旗下子公司，2020年受疫情影响离子注入机营收大幅度下降，2021年产业回暖，达23亿元，毛利水平整体较高。行业竞争格局综合来看，目前市场上离子注入机主要由美国和日本的厂商垄断，知名公司还有台湾AIBT汉辰科技、日本住友、日新公司、日本真空，VARIAN（瓦里安）,SEN和Invetac等，其中日新公司是AMOLED离子注入机市场垄断厂家，汉辰科技产品主要服务于台积电，而国内起步较晚，目前主要代表性的企业仅有凯世通和北京中科信电子装备两家:（1）中电科电子装备自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万，首台200mmCMP设备实现了销售。这是电科装备承担“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大02专项所取得重大成果的缩影。（2）光伏竞争格局目前全球只有凯世通、美国Intevac公司、日本真空3家公司主要从事光伏离子注入机的生产制造，凯世通的光伏离子注入机更被广泛应用，市场占有率全球第一。行业代表企业1上海万业企业股份有限公司