Zeiss Supra55扫描电镜操作使用

本文格式为Word版，下载可任意编辑——ZeissSupra55扫描电镜操作使用ZeissSupra55(VP)扫描电子显微镜简明操作指南

一、开机说明冷启动步骤

1、启动UPS

开启墙上空气开关，确认UPS后面电池开关开启，按前面面板上On键至两个绿灯亮。2、启动循环水冷机。

按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。

检查出水口压力在2～3bar。出水口压力可由压力表下方阀门调理。若有报警，检查水位，按Res键。3、启动空气压缩机。

确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I〞状态。检查输出气压为5～6bar。4、确认主机后两个电源开关状态为On。

此时，主机前面板上红灯亮。5、按下黄键。

说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。6、按下绿键。

按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：7、启动SmartSEM软件。

用户名：system密码：8、检查真空值，等待真空就绪。

注意：当SystemVacuum5kV，以获得较好分辩率。

对于轻元素样品，为减小电子穿透深度，可选择EHT5mm5～10mm5～15mm成像特点低EHT效果好具有阴影效应，立体感较好，低倍效果好反应元素衬度低真空模式下形貌像具有边缘效应，分辩率高，适用于高倍成像，4、AsB背散射探测器使用步骤。

先使用Inlens或SE2探测器调好图像，再切换至AsB探测器，

开启BSD控制界面（菜单栏Detection→BSDcontrol），设置BSDgain=High；对比度需在80％左右。5、VP模式使用。

适用于不导电样品形貌观测，步骤如下：

点击Vacuum面板GotoVP，设定VPtarget=60Pa左右。

选择VPSE探测器，可调高VPSE偏压至～80％，以加强信号强度，若出现亮暗条纹，则适当降低VPSE偏压。调整VPtarget至完全消除电荷积累效应。一般60～80Pa可完全消除。拍照完成后，需退出VP模式，Vacuum面板中点击GotoHV。6、高景深模式。

适用于岩石、断口等高低起落较大的样品。

使用时，Aperture面板中选上HighCurrent。使用终止后，取消HighCurrent。7、光阑选择。

30um标准光阑：束流强度适中，分辩率最好，适用于拍高倍图像。另外，低EHT效果较好。60、120um光阑：束流较强，分辩率稍差，适用于拍低倍图像和采集EDX、EBSD谱。

五、常见问题

问题样品台无法移动样品台移动无法中止样品台状态一直是Busy抽真空时间太长循环水冷机报警电子枪真空较差电脑死机图像漂移高倍图像有锯齿图像无法存盘停电放气，取出样品，检查样品仓门O圈，重新抽真空。若15分钟内未能到就绪状态，报告蔡司服务工程师。检查水位，加水，按Res键。若缺水报警频繁，有漏水，报告蔡司服务工程师。Gunvacuum难以抽到5×10mBar以下，需做烘烤。灯丝正常工作时，Gunvacuum一般小于5×10mBar按下黄键待机，等待～20s后，再按绿键重启，一般重启后需做样品台初始化。样品表面导电性或接地不好，重新制样，可蒸碳或镀金改善导电性。场地有振动或磁场干扰，也可能减震气垫系统漏气。清理磁盘。鼠标右键点击C盘→属性→清理磁盘，删除所有垃圾文件。停电前关机。若停电时间较短，UPS电量够用，可关至待机状态。-9-9解决方案做初始化。若初始化长时间不终止，Stage面板上点Stagestop，报告蔡司服务工程师。按F12或操纵杆上Break键强制中止。检查操纵杆能否复位，并尝试禁用操纵杆。

六、日常维护

检查内容房间温度房间湿度房间卫生系统真空极限值电子枪真空引出电流抽真空时间样品仓样品台初始化氮气空气压缩机循环水冷机油式真空泵电脑附录一、专业词汇Airlock样品交换室Annotation标注Aperture光阑Bakeout烘烤Column镜筒

Columnchambervalve,ColumnIsolationvalve(CIV)镜筒隔离阀Cycletime扫描循环时间EHT加速电压Emission发射像Extractor引出电极Focuswobble聚焦摇摆Freeze冻结图片、中止扫描LUT(lookuptable)信号变换关系Normal全屏正常扫描Reduced选区扫描Stigmation像散Vacuum(Vac)真空

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