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文档简介

高灵敏度阵列气敏传感器的制备

与气敏特性研究

答辩人：杨锐强、卫怡、康颖通过以下图片我们能得出什么？1.酒后驾车这样生活真累2、环境污染

图一

消防队员处理泄露事故

图二

硫化氢有毒气体泄露4、气体泄漏本项目使用纳米材料薄膜，比表面积大，表面能高，具有传统材料所不具备的物理化学特性。比普通薄膜有更快的响应速度，具有高灵敏度。目录1、气敏传感器的简介2、本项目的研究意义以及研究目标3、高灵敏度阵列气敏传感器的制备工艺4、数据分析及总结5、未来前景展望气敏传感器的基本原理：气敏薄膜基底气敏薄膜加热电极叉指电极

气敏传感器的分类气敏传感器半导体气敏传感器催化燃烧式气敏传感器电化学气敏传感器热导池式气敏传感器磁性氧气传感器2、本项目的研究意义以及研究目标由于单个气敏器件对多种气体都有响应，我们对单个敏感器件的这一特点加以研究，制备出高灵敏度阵列气敏传感器。它不仅能克服单个气敏传感器的缺点，更能够对混合气体加以辨别。存在多种应用和潜在应用。（1）氧化高温氧化炉3、高灵敏度阵列气敏传感器的制备工艺（2）匀胶光刻胶氧化层涂胶机（3）光刻光刻机（5）掺杂硅晶片的蚀刻掩膜去除后叉指电极掺杂（硼）（6）划片及印刷制备的薄膜激光切割机我们在制作好的硅片上涂抹特定的纳米材料薄膜，然后封装。制成我们所要的气敏传感器！纳米氧化锌的生长二氧化钛ZnO气敏传感器V-G特性TiO2气敏传感器V-G特性工作总结根据半导体工艺以及相关技术，结合先进的测试方法和理论分析，建立智能化识别模式使之适应复杂环境中气体的检测，实现高精度、低功耗和集成化气体传感器阵列结构和不同选择性的气敏薄膜的制备。石墨烯5、未来前景展望

本设计结合高性能气体传感器发展的需要和最新的研究成果，通过阵列结构、气敏薄膜和识别模式的不断完善，可实现国防、工业及日常生活发展对选择性强和测量精度高的新型气体传感器需求，对提高国民经济有很大的应用价值，具有很大的现实意义。Thankyouforyoursupport

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