LCD行业-使用及储存作业规范

主题：文件编号：WE060文件版本：AMASK使用及储存作业规范页次：01/05本页版次：0＊＊＊＊＊＊目录＊＊＊＊＊＊项目内容页次目录01/05修订履历02/051目的03/052范围03/053图阳片装置作业内容03/054图阳片之储存04/055注意事项05/05制订审核核准＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗体编号：FQ001A主题：文件编号：WE060文件版本：AMASK使用及储存作业规范页次：02/05本页版次：0＊＊＊＊＊＊修订履历＊＊＊＊＊＊文件版本修订记录：版本工程变更号生效日期变更要旨AISO9001﹕2000体系改版后初次发行。页次修订状况：页次123456789101112131415版次页次161718192021222324252627282930版次页次313233343536373839404142434445版次页次464748495051525354555657585960版次页次版次工程变更号变更要旨＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗体编号：FQ002A主题：文件编号：WE060文件版本：AMASK使用及储存作业规范页次：03/05本页版次：01.目的﹕制定MASK使用及储存作业标准﹐保证生产线生产顺利进行。2.范围﹕适用于本公司MASK使用及储存作业指导。3.MASK安装作业内容﹕3–1作业辅助材料与治﹑工具﹕掩膜玻璃(14"x16"x12mm)﹑无尘纸﹑分析纯乙醇﹑NITTO耐热胶带﹑透明胶带﹑SODAGLASS16"x18".t=3mm﹑框架﹑菲林﹑干版﹑铬版﹑六角扳手一组﹑MASK对位机一部。3–2操作前检查﹕3-2-1气压供应4~6kg/cm2。 3-2-2气缸工作气压1.35~2.35kg/cm2(电源开启后检查)。3-2-3三组计量尺是否定位于14mm处。3-2-4计量尺升降座是否在下的位置﹐该二组计量尺是否定位在外侧之定位梢上。3-2-5MASKPUSH及RETICLELOCK二开关是否处于OFF位置。3-2-6操作台﹑阳片﹑干版﹑络版框架及SODAGLASS是否清洁﹐并在装置前以无尘纸沾分析纯乙醇擦拭干净。3–3图阳片张贴﹕3-3-1取待使用曝光之图阳片﹐清洁后﹐匀称置于清洁后之图阳片框架的SODAGLASS上﹐玻璃流向记号朝前﹐膜面朝上﹐且图阳片边缘到SODAGLASS边缘距离一致﹐用透明胶带固定四角。3-3-2清洁膜面﹐用清洁后之掩膜玻璃压住菲林﹐用耐热胶带将菲林贴于SODAGLASS上。3–4MASK安装(含干版﹑络版﹑已贴图阳片之SODAGLASS)3-4-1依所需曝光之MASK﹐将已贴好菲林之SODAGLASS或干版(铬版)装置于MASK框架上﹐装上压块于四周﹐压住SODAGLASS或干版(铬版)﹐但不把压块旋紧﹐以便对位调整。3-4-2放置MASK框架于操作台上﹐框架之倒角朝左下角﹐并打开操作台电源开关(CIRCUITON)。3-4-3电源开启后﹐依序将RETICLELOCK开关拔至ON位置﹐此时框架已定位﹐再将MASKPUSH开关拔至ON位置﹐此时SODAGLASS左右及上方气压缸动用。 3-4-4提起操作台下方计量尺升降座﹐并将二组计量尺固定于前方定位梢﹐此时便进入MASK定位调整状态。 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE060文件版本：AMASK使用及储存作业规范页次：04/05本页版次：0 3-4-5打开操作平台左﹑右接目镜之护盖﹐并调整"+"字计号至对位状态﹐并固定﹐再调整其焦距至检视清晰。3-4-6交互调整三组计量尺﹐右侧为X轴调整﹐操作平台下侧二组为Y轴及水平调整﹐调节至目镜中左﹑右"+"字记号匀称位于阳片之对位记号内为止。3-4-7MASK准确对位后﹐则以内六角扳手将SODAGLASS或干版(铬版)四边压块谨慎上紧固定﹐并检查位准是否偏移﹐必要时重新松开压块调整对位﹐自3-4-6起再操作一次﹐直至固定对位无误为止。3-4-8通知品管人员作MASK装置确认﹐合格后依下流程谨慎取下框架﹐流程如下﹕A将计量尺归位至14mm位。B放下计量尺升降座并定位于外侧。C将MASKPUSH开关拔至OFF。D将RETICLELOCK开关拔至OFF。E取下框架并放置于台车上。F将装好的MASK送至曝光机进行生产。G继续装置作业﹐自3-4-1重复动作(电源已开)。H盖上目镜护盖﹐待下一型号﹐如需停线﹐则关闭电源。3–5MASK之清洁﹕ 3-5-1将待用之MASK放在框架上﹐放时双手托住MASK底部两边缘﹐将其轻轻放在MASK架上﹐然后用氮气枪吹洗﹐对残余脏点再用沾有分析纯乙醇之无尘纸轻轻沾取﹐最后再用氮气枪吹洗膜面之灰尘。3-5-2若在作业过程中抽检显影玻璃发现有脏点引起的不良﹐须暂停曝光机﹐用粘有分析纯乙醇纸粘取脏点或将之擦拭至MASK边缘再粘取﹐若脏点还存在﹐则需要将框架从曝光机中取一重复3-5-1的动作。 3-5-3使用完MASK后将MASK框架放在操作台上﹐用六角扳手小心地将压块松开﹐将贴在黑色边框上的胶带撕下来﹐用沾有丙酮之无尘纸将贴过胶带处轻轻擦拭干净﹐最后用氮气枪吹洗干净MASK正反两面﹐用干净之塑料保护膜贴上。4.MASK之取﹑放及储存﹕4–1将已贴上保护膜的图阳片装入塑料袋中﹐此操作需两个人操作﹐一人轻轻托住图阳片边缘﹐另一人将塑料袋之开口敞开﹐再将图阳片慢慢送入塑料袋中﹐然后双手托住塑料袋将其插入搬送盒中﹐取图阳片时动作与此相反。4–2将已贴上保护膜的干(铬)版装箱﹐打开箱盖﹐双手托住干(铬)版边缘﹐慢慢将版顺着格子插进箱子﹐然后盖上盖子。取干(铬)版时动作与此相反。 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE060文件版本：AMASK使用及储存作业规范页次：05/05本页版次：0 4–3将搬送盒送往治具室IQC检验区﹐搬送时要提住搬送盒的提手﹐竖直搬送。4–4检验OK之MASK贴合格标签﹐由治具管理员将其取出﹐双手托住其边缘﹐然后用手分别抓住MASK上﹑下两边﹐竖直插入存放柜中﹐(图阳片则水平插入存放柜中)插入时要轻推。5.注意事项﹕5–1图阳片粘贴需注意胶带不可拉扯变形﹐以免图阳片贴上SODAGL