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文档简介
玻璃板制造方法特 开:2023--240882申请日期:2023.12.10申请人:日本电气玻璃公司浮法制造玻璃板的方法,在上述锡槽的上部空间内测量浮游的锡化合物粒子浓以此为特征的玻璃板制造方法。1方法。1的侧壁部和出口向外部排出。用这样的方法生产浮法玻璃时,在成形的玻璃板上面,产生直径为数十μm的微小缺陷。这个缺陷密度(个/m2)变大后,会导致玻璃板的质量不好。硫化锡(SnS)和氧化亚锡(SnO)在锡槽的上部和用于冷却玻璃的冷却器等的附设玻璃带上面。量(包含供给量的分布)和从锡槽的侧壁部与出口排出的复原性气体的排出量(包含排出量的分布),降低锡槽上部空间复原性气体中漂移的化合物粒子的浓度。的排出量,以使检查出来的缺陷密度比规定的数值还要小。在锡槽的上部空间锡化合物粒子的浓度变化会变得困难。1内,使用激光二极管测量玻璃带外表上方的HO浓度,掌握在锡槽内供给的氮和2氢的流量分布。1:2023——505027制造要解决的问题:但是,在特许文件1中指出的方法,在锡槽的上部空间2HO2此,以掌握HO的浓度作为目标时,降低起因于锡化合物粒子的缺陷密度仍旧是2很困难的。物粒子引起缺陷密度为技术课题。锡槽的上部空间的复原性气体排气量、以及锡槽的上部空间的温度中的至少一掌握。利用这种方法,将锡槽的上部空间漂移的锡化合物粒子的浓度作为目标测子在形成的玻璃板产生的缺陷密度降低到预先规定的数值。排气部最下游位置的下游侧进展。和侵入锡槽内的氧或者是玻璃中所包含的硫酸盐反响,生成硫化锡(SnS)和氧化亚锡(SnO)。其次,这些硫化锡和氧化亚锡等的锡化合物变成蒸气从锡液外表挥发出去。第三,在锡槽的上部空间包含的锡化合物的饱和度(=水蒸气分压/饱和11,在该区域内部的下游侧相对温度比较低,因没能设置排气部,存在锡化合物的饱和超过1的区域,在该区域内的锡化合物粒子简洁成为问题。地掌握复原性气体的供给量和排气量的。蒸汽压的锡槽下游侧范围内进展锡化合物粒子的浓度测量。所以能够很好地掌握复原性气体的供给量和排气量。合物粒子的缺陷密度。21A-A31B-B41B-B11M223,2G14。另外,在2a、流路相2b2c2d。22x5。另一方面,如图22652的气氛气体压力值。该实施状态中,只有排气部5设置在包含宽幅部2b的锡槽2的上游区域。2c2d)内,即使不设置排52247的同时进展转动。作为特征构造,如图1所示,在最下游配置的排气部5更下游侧区域(图中2硫化锡(SnS)和氧化亚锡(SnO))的浓度的浓度测量部8。具体地说,该浓度测量2x8a28a28b22SICK8a8b210210,9。以下对使用具备上述的构造的玻璃板制造装置1明。2的下游端部的出口4拉出G1G2G1222d8,2的锡化合物粒子的浓度。然后,依据这个浓度测量结果,掌握从气体供给部6524体的排气量、锡槽22意一个或者两个的参数。依据这种方法,作为复原性气体的供给量的直接掌握目标,测量在锡槽2的上部空间漂移的锡化合物粒子的浓度,即使锡槽2内的温度和压力条件发生变因于锡化合物粒子的缺陷密度降低到规定程度。8522xM1,在22x2低,由于没有设置排气部5,锡化合物的饱和度超过1,则在该区域内简洁产生锡化合物粒子。因此,假设把锡化合物粒子的浓度测量放在比最下游的排气部5域的测量结果。8,说明白透过型浓度计的例子,在锡槽22x22x2的上部空间,这时也可以使用依据由投
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