沈阳汉科半导体材料有限公司中德园工厂建设项目环评报告

建设项目环境影响报告表(报批稿)项目名称：沈阳汉科半导体材料有限公司中德园工厂建设项目建设单位(盖章):沈阳汉科半导体材料有限公司编制日期：2021年1月国家环境保护总局制《建设项目环境影响报告表》编制说明)。2.建设地点——指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起按国标填写。总投资——指项目投资总额。5.主要环境保护目标——指项目区周围一定范围内集中居民住、性质、规模和距厂界距离等。6.结论与建议——给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制7.预审意见——由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项8.审批意见——由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批1情况项目名称沈阳汉科半导体材料有限公司中德园工厂建设项目建设单位沈阳汉科半导体材料有限公司法人代表联系人齐大丰通讯地址沈阳市经济技术开发区昆明湖街20号联系电真024-8583编码建设地点沈阳市经济技术开发区开发二十二号路193号立项审批部门沈阳经济技术开发区发展和改革局批准文号沈开发改备[2020]49号建设性质■新建□改扩建□技改行业类别及代码C3051技术玻璃制品制造(平方米)63876.64绿化面积(平方米)4912.6450000其中：环保投资(万元)环保投资0.26%评价经费(万元)预期投产日期：沈阳汉科半导体材料有限公司目前位于沈阳铁西区张士地铁站口，占地24530平方米，成立于2006年，是由新加坡汉民科技有限公司与英国YE陶瓷材料有限公司投资兴办，注册资金1900万美元；年营收约2亿人民币。生产技术ISO1质量管理体系认证、ISO14001环境管理体系认证。由于产品需求增加，沈阳汉科半导体材料有限公司拟投资50000万元新建沈阳汉科半导体材料有限公司中德园工厂建设项目，新厂区位于沈阳市经济技术开发区开发二十二号路193号，占地面积为63876.64m2，建筑面积63573.42m2。项目年产ETCH石英产品18吨，太阳能石英产品50吨，半导体超高纯石英产品12吨，半导体一般石英产品248吨。根据《建设项目环境保护管理条例》(国务院第682号令)、环境保护部《建2设项目环境影响评价分类管理名录》(2021年版)及《中华人民共和国环境影响评价法》中有关规定，需对建设项目编写环境影响评价报告表。为此，沈阳汉科半导体材料有限公司委托辽宁唐龙技术咨询有限公司对本项目进行环境影响评价，环境影响评价技术人员在收集资料、现场踏勘、走访调查的基础上，通过工程分析，污染源调查，环境现状监测，环境影响预测和评价，编制了项目环境影响报告表，供建设单位报请生态环境主管部门审查。2、建设内容及规模本项目位于沈阳经济技术开发区开发二十二号路与中德大街交叉口处，地理坐标为：123.189727984，41.698573127。总投资50000万元，占地面积63876.64平方米，建筑面积为63573.42平方米，由1#厂房、2#厂房、宿舍楼、变电所、门卫、设备用房、氢气管束车棚及危废暂存间组成。项目年产ETCH石英产品18吨，太阳能石英产品50吨，半导体超高纯石英产品12吨，半导体一般石英产品248吨。建设项目组成详见表1。项目地理位置图、项目平面布置、周边情况示意图见附图。表1建设项目组成表工程组成工程名称建设内容及规模备注主体工程1#厂房1栋，二层，建筑面积为44000m2。一层主要为生产车间：机加车间、酸洗间、焊接车间、旋盘车间、扩管车间、处理间、切割间、喷砂室、化蜡间等；二层主要为设备间；年产ETCH石英产品18吨，太阳能石英产品50吨，半导体超高纯石英产品12吨，半导体一般石英产品200吨新建2#厂房1栋，二层，建筑面积为8460m2。一层主要为生产车间：机加车间、酸洗间。氢氟酸处理间、喷砂室；二层为设备间；年产半导体一般石英产品48吨储运工程氢气管束车棚1栋，一层，建筑面积为250m2。存放氢气管束车新建辅助工程宿舍楼1栋，三层，建筑面积为2579.24m2。提供住宿食堂1栋，位于办公楼二层办公楼1栋，四层，建筑面积为6000m2。员工办公变电所1栋，一层，建筑面积为600m2设备用房1栋，一层，建筑面积为1012.18m23栋，一层，总建筑面积为920.74m2公用工程供水由市政供水管网提供//化粪池托现有市政排供电由市政供电管网提供排水厂区内新建化粪池，氢氟酸清洗废水经生石灰和絮凝剂处理后与食堂废水(经隔油池处理)、生活污水经化粪池处理后通过市政污水管网排入西部污水处理厂3水管网供暖市政供暖管网/环保工程施工期废气治理施工场地洒水、苫布覆盖多尘物料堆新建废水治理生活污水排入防渗旱厕，定期清掏至附近做农家肥新建声治理厂界围挡，避免夜间施工新建治理建筑垃圾统一收集、分类处理；生活垃圾收集到指定垃圾箱，环卫统一及时清运新建运营期废气治理1#车间设有两个喷砂室，2#车间设有一个喷砂室，3个喷砂室产生的废气经各自喷砂室配套的布袋除尘器收集后，经15m高排气筒排放(1#、2#、3#排气筒)；酸洗机和酸洗间设有酸雾收集装置，收集送至SDG酸雾吸收装置处理，本项目设有三个SDG酸雾吸收装置(1#厂房内两个，2#厂房内一个)，处理后经15m高排气筒排放(4#、5#、6#排气筒)；激光切割设置直立式滤筒除尘机；三个化蜡间设有集气罩，液化气燃烧废气和化蜡废气经集气罩收集后经过15m高排气筒排放(7#、8#、9#)；车间内加强通风新建废水治理食堂新建隔油池1m3，化粪池100m3。氢氟酸清洗废水经生石灰和絮凝剂处理后通过市政污水管网排入西部污水处理厂；食堂废水(经隔油池处理)、生活污水经化粪池处理后通过市政污水管网排入隔油池、化粪池托现有市政排水管网声治理基础减振、距离衰减、厂房隔声等降噪措施新建治理防渗防漏危险废物暂存间一处，位于厂区南侧，50m2；防渗防漏一般工业固废间一处(1#生产车间东南角，建筑面积50m2)新建3、生产规模及产品方案项目产品方案如下表所示。表2项目产品方案一览表名称年产量(t/a)备注ETCH石英产品产品执行JC/T181-2011《半导体用透明使用玻璃器件》太阳能石英产品50半导体超高纯石英产品半导体一般石英产品248建设项目主要设备见表3。4项目主要设备一览表序号设备名称数量(台/套)备注1立式加工中心54/2CNC车床/3立式磨床6/4退火炉5酸洗机/6激光切割机2/7扩管机5/8旋盘机5/9三坐标测量机3平面磨床2/抛光机2/净化干燥箱4纯水系统2/消防水泵4一备一用排污泵4/5、主要能源及原辅材料消耗本项目主要原辅材料见表4，理化性质见表5，主要能源消耗一览表见表,6。表4主要原辅材料一览表t/t/t/t/t/t/瓶t/t/t/t/t/t/瓶/t/t/个/t/t/t/序号名称规格及形态单位数量储存地点1石英原材料Ф3-Φ450a328086厂房2氢氟酸a49.2化学品库，存3t3硝酸a3.84碳化硅a30.2t5石蜡a2，存40kg6松香a0.8，存20kg7氢气99.99%Nm3/a4800000外购，氢气集装管束车8氧气99.95%Nm3/a2086940外购，液氧储罐9二氧化碳、氮钢瓶装，40L/瓶a存5瓶SDG酸雾吸收剂a3不在厂内储存无水乙醇500ml/瓶a化学品库，随用包装纸箱a6240厂房无尘塑料袋Kg/a780厂房塑料气垫膜Kg/a厂房海绵填充物Kg/a厂房乳化液液体，桶装a20厂房存一桶切削液液体，桶装a6化学品库絮凝剂kg/a3化学品库机油液体，桶装a0.6化学品库5表5项目主要生产原料理化性质一览表名称理化性质包装形式1石英玻璃石英玻璃是由各种纯净的天然石英(如水晶、石英砂等)熔化制成。线膨胀系数极小，是普通玻璃的1/10-1/20,有很好的抗热震性。它的耐热性很高，经常使用温度石英玻璃主要用于实验室设备和特殊高纯产品的提炼设备。由于它具有高的光谱透射，不会因辐射线损伤(其他玻璃受辐射线照射后会发暗)，因此也是用于宇宙飞船、风洞窗和分光光度计光学系统的理想玻璃。木箱2石蜡石蜡又称晶形蜡，通常是白色、无味的蜡状固体，在47°C-64°C熔化，密度约0.9g/cm3，溶于汽油、二硫化碳、二甲苯、乙醚、苯、氯仿、四氯化碳、石脑油等一类非极性溶剂，不溶于水和甲醇等极性溶剂。纯石蜡是很好的绝缘体，其电阻率为1013-1017欧姆·米。其比热容为2.14–2.9J·g·K，熔化热为200–220J·g。袋装3氢氟酸氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，清澈，无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味。熔点-83.3℃，沸点，闪点112.2℃，密度1.15g/cm³。易溶于水、乙醇，微溶于乙醚。因为氢原子和氟原子间结合的能力相对较强，使得氢氟酸在水中不能完全电离，所以理论上低浓度的氢氟酸是一种弱酸。桶装4碳化硅金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。目前中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为3.20~3.25，显微硬度为2840~3320kg/mm2。袋装主要能源消耗一览表序号名称消耗量单位来源1电300万市政供电管网2水15484t/t/市政供水管网3液化气2.4tt/a外购，主要成分为丙烷50kg/瓶，瓶装存放于气瓶间，最大储存量6、劳动定员及工作制度本项目劳动定员450人，实行单班制生产，每天工作8小时，年生产270天。程⑴供水：本项目用水由市政供水管网提供。项目用水主要为生活用水、食堂用水、清洗用水、洗蜡用水、冷却用水、绿化用水6生活用水：本项目300人不在厂内住宿，用水标准为30L·人/天，日用水量为9t/a，2430t/a；150人在厂内住宿，设有淋浴，用水标准为100L·人/天，日用食堂用水：本项目共有职工450人，年生产270天，每日提供400人三餐，清洗用水：本项目清洗用水使用纯水，纯水设备使用自来水量为430t/a，采用反渗透原理，可制纯水410t/a，清洗用水用量为410t/a。洗蜡用水：来自自来水，用水量为60t/a，循环使用。冷却用水：主要用于石英玻璃产品热加工、切片、切割、抛光工序上，直接用自来水，用水量为270t/a，冷却水循环使用。Lm2·d计，绿化面积4900m2，绿化用水按90d计算，则项目绿化用水量1764t/a。⑵排水：本项目的废水主要为生活污水、食堂废水、清洗废水、纯水制备废水、洗蜡用水和冷却用水。生活废水：产污系数为80%，则生活废水产生量为5184t/a。食堂废水：产污系数为80%，则食堂废水产生量为5184t/a。纯水制备废水：20t/a。清洗废水：清洗废水排污系数为90%，则清洗废水产生量为369t/a。洗蜡废水：产污系数为80%，则洗蜡废水产生量为48t/a。冷却废水：产污系数为90%，则冷却废水产生量为243t/a。供排水平衡见表7。表7项目供排水平衡名称用水标准计算单位(t/d)年用水排污系数量(t/d)年排水生活用水(非住宿)300人924300.807.2(住宿)150人40500.803240食堂用水400人2464800.805184纯水制备清洗用水///430//389洗蜡用水///600.8/48冷却用水///2700.9/2437绿化用水//////合计——/15484—/11048本项目食堂废水经隔油池处理后与生活污水进入化粪池处理，经化粪池处理后，与纯水制备废水、清洗废水一同经过市政污水管网，排入西部污水处理厂。本项目水平衡见图1所示。64805184隔油池430 410清洗用水369洗蜡用水西部污水处理厂24327064805184隔油池430 410清洗用水369洗蜡用水西部污水处理厂24327051845184 64805184518410368化粪池化粪池食食堂用水纯纯水制备17914损耗17641764绿化用水68060 48602t/d冷却用冷却用水5t/d图1项目水平衡图(单位：t/a)⑶供暖：由市政供暖管网统一提供。⑷供电：本项目用电依托市政供电管网，年耗电量为300万kW•h。8、选址合理性分析本项目位于辽宁省沈阳市经济技术开发区开发二十二号路193号，项目北侧为变压站和开发二十二号路，过路为沈阳远大压缩机有限公司；东侧为闲置空地；南侧为辽宁瑞丰混凝土有限公司和绿化带，绿化带南侧为细河；西侧为中国建筑集团有限公司。项目所在地不涉及自然保护区、饮用水源保护区等；根据本项目土地使用证，项目所在地用途为工业用地，符合用地要求。综上，本项目选8址合理。中德(沈阳)高端装备制造产业园总体规划(2018-2035)简介：中德(沈阳)高端装备制造产业园位于沈阳市西部。2015年12月，国务院印发《国务院关于中德(沈阳)高端装备制造产业园建设方案的批复》(国函〔2015〕218号)。2018年，为了适应发展需求，沈阳市人民政府将西南侧7平方公里用地纳入管辖范围。中德(沈阳)高端装备制造产业园管委会组织编制了《中德(沈阳)高端装备制造产业园总体规划(2018-2035年)》，规划面积55平方公里，包括上一轮规划的48平方公里和拓展区7平方公里。规划近期至2020年，中期至2025年，远期至2035年；规划主导产业包括智能制造、高端装备、汽车制造、工业服务和战略新兴产业。四环以西形成全产业链条，依托宝马厂区形成汽车制造、高端装备、智能制造、战略新兴及工业服务五大产业集聚区；四环以东依托工业大学建立国际合作科创基地，并引导原中小企业转型升级发展。同时配套规划相关基础设施。中德(沈阳)高端装备制造产业园总体规划(2018-2035)环境影响评价简介：中德(沈阳)高端装备制造产业园已于2020年3月6日取得中德(沈阳)高端装备制造产业园总体规划(2018-2035)环境影响报告书批复，批复文号为环审[2020]31号。与中德(沈阳)高端装备制造产业园总体规划及规划环评符合性分析：本项目位于中德(沈阳)高端装备制造产业园，本项目属于高端装备的配套产品，不属于报告书规定的生态环境准入清单禁止类别项目，符合中德(沈阳)高端装备制造产业园总体规划要求。项目所在地在已批复的中德(沈阳)高端装备制造产业园总体规划(2018-2035)中为工业用地(见附图8)，本项目为工业用地，符合用地规划要求。9、产业政策相符性分析根据《产业结构调整指导目录》(2019年本)，本项目不属于鼓励类及限制类，属允许类项目，建设符合国家产业政策。不属于沈阳市《建设项目环境准入限制政策目录(2020年版)》中禁止类项目，建设符合政策。10、“三线一单”符合性分析“三线一单”符合性分析见下表。9表8“三线一单”符合性分析符合性分析符合性生态保护红线本项目位于辽宁省沈阳市经济技术开发区开发二十二号路193号，不占自然保护区、饮用水源保护区等生态保护目标，符合生态保护红线要求。符合资源利用上线本项目营运过程中消耗一定量的水、电等资源，项目资源消耗量相对区域资源利用总量较少，符合资源利用上线要求。符合环境质量底线本项目废气经废气处理措施处理后，对周边环境影响较小；生活废水经化粪池处理，排入西部污水处理厂，生产废水排入西部污水处理厂，对周围环境影响较小；运营期噪声对周围声环境影响不大；符合环境质量底线要求。符合负面清单根据国家发改委、商务部制定的《市场准入负面清单》，国家工信部发布的《淘汰落后产能》公《“高污染、高环境风险”产品名录》等内容，本项目均不在其列。本项目符合《沈阳市建设项目环境准入限制政策目录(2020版)》(沈阳市生态环境局)相关要求。符合11、环境管理政策符合性分析⑴大气污染防治行动计划相符性分析2013年9月，国务院发布《大气污染防治行动计划》(国发[2013]37号)，建设项目对照行动计划的相符性分析见表9，建设项目全部满足相应要求，因此建设项目的建设满足《大气污染防治行动计划》要求。表9建设项目与《大气污染防治行动计划》相符性分析序号《大气污染防治行动计划》要求建设项目情况相符性1加强工业企业大气污染综合治理。全面整治燃煤小锅炉。加快推进集中供热、“煤改气”、“煤改电”工程建设，到2017年，除必要保留的以外，地级及以上城市建成区基本淘汰每小时10蒸吨及以下的燃煤锅炉，禁止新建每小时20蒸吨以下的燃煤锅炉；其他地区原则上不再新建每小时10蒸吨以下的燃煤锅炉。在供热供气管网不能覆盖的地区，改用电、新能源或洁净煤，推广应用高效节能环保型锅炉。供暖由市政供暖管网统一提供，生产线不新建锅炉相符2修订高耗能、高污染和资源性行业准入条件，明确资源能源节约和污染物排放等指标。有条件的地区要制定符合当地功能定位、严于国家要求的产业准入目录。严格控制“两高”行业新增产能，新、改、本项目要实行产能等量或减量置换。根据相关文件，项目符合产业政策及沈阳市管理要求。符合3大力发展循环经济。鼓励产业集聚发展，实施园区循环化改造，推进能源梯级利用、水资源建设项目的生产废水均达标排放。产生的符合循环利用、废物交换利用、土地节约集约利用，促进企业循环式生产、园区循环式发展、产业循环式组合，构建循环型工业体系。危险固废均由有资质单位处理。4强化企业施治。企业是大气污染治理的责任主体，要按照环保规范要求，加强内部管理，增加资金投入，采用先进的生产工艺和治理技术，确保达标排放，甚至达到“零排放”；要自觉履行环境保护的社会责任，接受社会监督。建设项目采用先进的生产工艺和治理技术，各项污染物全部达标排放。符合⑵水污染防治行动计划相符性分析2015年4月，国务院发布《水污染防治行动计划》(国发[2015]17号)，建设项目对照行动计划的相符性分析见表10，建设项目全部满足相应要求，因此建设项目的建设满足《水污染防治行动计划》要求。表10建设项目与《水污染防治行动计划》相符性分析序号《水污染防治行动计划》要求建设项目情况相符性1狠抓工业污染防治。取缔“十小”企业。全面排查装备水平低、环保设施差的小型工业企业。2016年底前，按照水污染防治法律法规要求，全部取缔不符合国家产业政策的小型造纸、制革、印染、染料、炼焦、炼硫、炼砷、炼油、电镀、农药等严重污染水环境的生产项目。建设项目不属于“十小”企业，建设项目生产废水全部处理达标后外排。符合2集中治理工业集聚区水污染。强化经济技术开发区、高新技术产业开发区、出口加工区等工业集聚区污染治理。集聚区内工业废水必须经预处理达到集中处理要求，方可进入污水集中处理设施。新建、升级工业集聚区应同步规划、建设污水、垃圾集中处理等污染治理设施。建设项目生产废水全部处理达标后外排。符合3年起，各地要依据部分工业行业淘汰落后生产工艺装备和产品指导目录、产业结构调整指导目录及相关行业污染物排放标准，结合水质改善要求及产业发展情况，制定并实施分年度的落后产能淘汰方案，报工业和信息化部、环境保护部备案。未完成淘汰任务的地区，暂停审批和核准其相关行业新建项目。建设项目符合产业政策要求。符合⑶土壤污染防治行动计划相符性分析2016年5月，国务院发布《土壤污染防治行动计划》(国发[2016]31号)，建设项目对照行动计划的相符性分析见表11，建设项目全部满足相应要求，因此建设项目的建设满足《土壤污染防治行动计划》要求。表11建设项目与《土壤污染防治行动计划》相符性分析序号《土壤污染防治行动计划》要求建设项目情况相符性1铅、铬等重金属和多环芳烃、石油烃等有机建设项目对土壤中镉、汞、砷、铅、铬等重金属和多环符合污染物芳烃、石油烃等有机污染物进行了实际监测，监测结果显示项目用地范围及周边土壤质量均能达到国家标准要求2各地要将符合条件的优先保护类耕地划为永久基本农田，实行严格保护，确保其面积不减少、土壤环境质量不下降，除法律规定的重点建设项目选址确实无法避让外，其他任何建设不得占用。建设项目用地为工业用地符合3防控企业污染。严格控制在优先保护类耕地集中区域新建有色金属冶炼、石油加工、化工、焦化、电镀、制革等行业企业，现有相关行业企业要采用新技术、新工艺，加快提标升级改造步伐。建设项目不属于上述行业企业符合4将建设用地土壤环境管理要求纳入城市规划和供地管理，土地开发利用必须符合土壤环境质量要求。建设项目用地为工业用地，土壤环境质量满足国家要求符合5鼓励工业企业集聚发展，提高土地节约集约利用水平，减少土壤污染。严格执行相关行医疗和养老机构等周边新建有色金属冶炼、焦化等行业企业；结合推进新型城镇化、产业结构调整和化解过剩产能等，有序搬迁或依法关闭对土壤造成严重污染的现有企业。建设项目用地为工业用地，项目行业符合国家产业政策要求。符合6标加强涉重金属行业污染防控。严格执行重金属污染物排放标准并落实相关总量控制指标。项目不排放重金属污染物符合与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题：本项目购买闲置空地进行厂房建设及生产，项目地未进行过生产活动，无原有污染及环境问题。建设项目所在地区自然环境社会环境简况本项目位于辽宁省沈阳市经济技术开发区开发二十二号路193号，项目北侧为变压站和开发二十二号路，过路为沈阳远大压缩机有限公司；东侧为闲置空地；南侧为辽宁瑞丰混凝土有限公司和绿化带，绿化带南侧为细河；西侧为中国建筑集团有限公司。项目地理位置见附图1。象条件沈阳地区气候类型属北温带亚洲季风气候区北缘，受季风影响的温湿和半温湿大陆性气候。其主要特点是季风气候特征明显，四季分明，降水集中，日照充足。春季多西南大风，蒸发量大，易春旱；夏季高温多雨，盛吹南风和东南风，雨热同季的气候特点对农作物的生长发育极为有利；秋季风小，多晴朗天气；冬季寒冷干燥，雨雪稀少，盛吹北风和西北风。沈阳城区多年平均气温7.8℃。一~二月气温比较低，最低气温-30.5℃，一月份平均气温-12℃~-14.0℃。六~八月气温比较高，最高气温35.7℃，七月份平均气温22.5℃~25.0℃。风向及风速：冬季多西北风和北风，春秋两季风大，但风向不定，夏季多西南风和南风。最大风速12~15m/s左右，多集中在四、五月份。N1510501510509.2% 15N1050非采暖期 15N1050151050N151050全年C=9.0%图2项目所在地区风向频率(%)玫瑰图(累年值)湿度：多年月平均绝对湿度为9.1毫巴。六~八月湿度大，月平均21.37毫巴。一、二、十二月份湿度小，月平均1.92毫巴。地面冻结深度：十一月初开始结冻，次年四月初解冻，一般冻结深度为1~降雨量：沈阳市区多年平均降水量687.8mm。降水多集中在六、七、八、九等四个月，平均降水量505.0mm，为全年降水量的73.4%。一、二、十二月降水mm小一年是1989年，降雨量仅为404.1mm。蒸发量：多年平均水面蒸发量为784.8mm。四~十月份蒸发量为665.8mm，是全年蒸发量的84.8%，其中四~七月份蒸发量最大，为445.3mm。一、二、十、地形地貌根据《建筑抗震设计规范》(GB50011-2010)附录A和《中国地震动参数区划图》(GB18306-2001)规定，沈阳市的抗震设防烈度为7度，设计基本地g，反映谱特征周期为0.35s，设计地震分组为第一组。线路沿线及附近无活动断裂通过，区域稳定性好。文地质项目所在地区地表水体为细河。细河作为沈阳一条重要的城市内河，全长78.2公里，源于铁西区卫工河南端，沿浑河北侧流向西南，流经铁西区、于洪区，在辽中县黄腊坨子村汇入浑河。地下水的形成条件由东部的入渗迳流循环，向西逐渐转化为多项补给迳流排泄区。区域内的地下水开发程度很高，开采己引起地下水补给条件的很大变化，总的影响方向是扩大了补给项，夺取了消耗项，增加了地下水的开采储量。详勘区上游含水层颗粒粗，平均渗透系数可达68m/d，水力梯度0.69‰，地下水运流通畅，交替积极；下游含水层颗粒变细，平均渗透系数15m/d，水力梯度0.53‰，地下水迳流较上游变得滞缓。状况建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题(环境空气、地面水、地下水、声环境、生态环境等)1.环境空气质量现状(1)项目所在区域达标判定根据《沈阳市环境质量报告书》(2019年度)，沈阳市区环境空气中基本污染物统计结果见下表：表12区域空气质量现状评价表污染物年评价指标现状浓度/(μg/m3)标准值/(μg/m3)达标情况PM10年平均浓度7770不达标第95百分位数日平均104.7不达标PM2.5年平均浓度4335122.9不达标第95百分位数日平均75不达标SO2年平均浓度216035达标第98百分位数日平均5234.7达标NO2年平均浓度364090达标第98百分位数日平均7695达标CO-95Per第95百分位数日平均1.9mg/m³4mg/m³47.5达标O3-8H-90Per8h平均质量浓度96.9达标从上表可知，2019年沈阳市SO2、NO2、CO、O3年平均质量浓度均符合《环境空气质量标准》(GB3095-2012)及其2018年修改单中的二级标准限值要求，PM10、PM2.5年平均质量浓度超过《环境空气质量标准》(GB3095-2012)及其2018年修改单中的二级标准限值要求。PM10受秋、冬季取暖期气象条件、燃煤量、区域扬尘、外来输入等多方面因素影响，PM10年均值超标，且以春、冬季及取暖期尤为严重；PM2.5浓度受秋、冬季及取暖期气象条件、燃煤量、秸秆焚烧、外来输入等多方面因素影响，PM2.5年均值超标，且以春、冬季及取暖期尤为严重。判定项目所在区域为环境空气质量不达标区。根据《辽宁省打赢蓝天保卫战三年行动方案》(2018-2020年)，总体战略目标为大气环境质量得到总体改善，大幅减少主要大气污染物排放总量，减少温室气体排放，明显降低PM2.5浓度，明显减少重污染天数，明显改善大气环境以上。二氧化硫、氮氧化物和挥发性有机物(VOCs)排放量分别比2015年下降(2)其他污染物环境质量现状本次评价委托辽宁中天理化分析检测有限公司2020年10月03日-09日对本项目所在地TSP、氟化物进行监测。2021年01月26日-02月01日对本项目所在地非甲烷总烃进行监测。监测点位：1#沈阳中德国际公馆、2#小挨金村监测因子：TSP、氟化物、非甲烷总烃监测频次：TSP为1次/天，共7天，每次采样24小时；氟化物每日监测4间；非甲烷总烃4次/天。采样时观测气温、气压、风向、风速等有关气象资料。监测结果如下。表13TSP现状监测结果单位：mg/m3检测项目采样日期检测结果沈阳中德国际公馆小挨金村TSP30.0470.0620.0680.08640.06656789表14氟化物现状监测结果(小时均值)单位：µg/m3检测点位采样日期 检测结果(小时值)02:00-3:0008:00-9:0014:00-15:0020:00-21:00沈阳中德国际公馆30.5L0.5L0.5L0.5L0.5L0.5L0.5L0.5L0.5L0.5L40.5L0.5L0.5L50.5L0.5L0.5L60.5L0.5L0.5L70.5L0.5L0.5L80.5L0.5L0.5L90.5L0.5L0.5L小挨金村30.5L0.5L0.5L0.5L0.5L0.5L0.5L40.5L0.5L0.5L50.5L0.5L0.5L60.5L0.5L0.5L70.5L0.5L0.5L0.5L80.5L0.5L0.5L0.5L90.5L0.5L0.5L0.5L备注：检测结果小于检出限报最低检出限值加L。非甲烷总烃现状监测结果单位：mg/m3检测点位采样日期检测结果一次二次三次沈阳中德国际公馆2021-01-260.260.310.250.232021-01-270.212020-01-280.300.270.300.352020-01-290.260.280.220.242020-01-302020-01-310.220.202020-02-010.220.320.20小挨金村2021-01-212021-01-272020-01-280.330.300.290.272020-01-290.250.260.230.262020-01-302020-01-310.250.320.202020-02-010.200.20(3)评价方法评价方法采用单因子标准指数法对监测结果进行评价，计算公式如下：Ii=Ci/C0i式中：Ii——i种污染物的单因子指数，无量纲，Ii>1为超标，Ii≤1为未超标；Ci——i种污染物的的实测浓度，mg/m3；C0i——i种污染物的环境质量标准，mg/m3。根据评价结果，给出监测因子的浓度范围，超标率、超标率、最大超标倍数。根据单位因子指数对评价区环境空气质量现状进行评述。(4)评价结果表16监测数据统计结果项目监测点位浓度范围标准值(mg/m3)检出率(%)超标率(%)最大超标倍数TSP沈阳中德国际公馆60.30-小挨金村50-氟化物沈阳中德国际公馆未检出0.0200-小挨金村未检出00-非甲烷总烃沈阳中德国际公馆20-小挨金村014-0330-根据上表监测结果表明，所有监测点TSP的监测值均可满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)中的二级标准及修改单要求；氟化物浓度均满足《环境空气质量标准》(GB3095-2012)附录A中相关的要求；非甲烷总烃浓度均满足《大气污染物综合排放标准详解》。2.声环境质量现状(1)监测点位及监测时间本次评价委托辽宁中天理化分析检测有限公司2020年10月03日-04日对本项目厂界的环境噪声进行监测。在项目四周场界外1m处布设4个噪声监测点位，监测2天，昼间、夜间各一次，噪声监测点位布点见附图。(2)监测项目：LeqdB(A)。(3)监测及评价结果建设项目周围环境噪声监测结果见表16。表17声环境质量现状单位：dB(A)序号检测点位检测结果LeqdB(A)34昼间夜间昼间夜间1厂界东494348432厂界南474247433厂界西504349424厂界北58475748建设项目所在地属于3类声功能区，执行3类标准，即昼间65dB(A)，夜间55dB(A)。由表16可见，项目所在地四周昼夜环境噪声现状均满足《声环境质量标准》(GB3096-2008)中的3类标准要求。3.土壤环境质量现状3.1厂界内土壤环境质量现状(1)监测点的布设根据项目场址所在地区的土壤类型特征及《环境影响评价技术导则土壤环境(试行)》(HJ964-2018)，本项目在工业场地内共布设3个表层样(0~0.2m取样)监测点(1#~3#)。辽宁中天理化有限公司于2020年10月03日对厂区内的土壤现状进行监测。(2)监测因子监测因子如下：本项目土壤监测因子监测点编号土地利用类型监测因子工业用地2项土壤监测包括：pH、氟化物2#工业用地2项土壤监测包括：pH、氟化物#工业用地48项土壤监测包括：pH、砷、镉、铬(六价)、铜、铅、汞、镍、四氯化碳、氯仿、氯甲烷、1,1-二氯乙烷、1,2-二氯乙烷、1,1-二氯乙烯、顺-1,2-二氯乙烯、反-1,2-二氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯丙烷、1,1,2-三氯乙烷、三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯苯、1,2-二氯苯、1,4-二氯苯、乙苯、苯乙烯、甲苯、间二甲苯+对二甲苯、邻二甲苯、硝基苯、苯胺、2-氯酚、苯并[a]蒽、苯并[a]芘、苯并[b]荧蒽、苯并[k]荧蒽、䓛、二苯并[a,h]蒽、茚并[1,2,3-cd]芘、萘、石油烃、氟化物(3)监测结果土壤监测结果详见下表：表19检测结果(1)检测项目检测结果单位3工业场地内1(1#)工业场地内2(2#)1pH值8.296.86无量纲2氟化物415565mg/kg表20检测结果(2)序号检测项目检测结果单位3工业场地内3(3#)1pH值7.73无量纲2砷mg/kg3镉0.50mg/kg4六价铬0.5Lmg/kg5铜32mg/kg6铅26.4mg/kg7汞0.53mg/kg8镍50mg/kg9四氯化碳μg/kg氯仿μg/kg氯甲烷μg/kgμg/kgμg/kgμg/kgμg/kgμg/kg二氯甲烷μg/kgμg/kgμg/kg20μg/kg21四氯乙烯μg/kg22μg/kg23μg/kg24三氯乙烯μg/kg25μg/kg26氯乙烯μg/kg27苯μg/kg28氯苯μg/kg291,2-二氯苯μg/kg301,4-二氯苯μg/kg31μg/kg32苯乙烯μg/kg33μg/kg34间二甲苯+对二甲苯μg/kg35邻二甲苯μg/kg36硝基苯0.09Lmg/kg372-氯苯酚0.06Lmg/kg38苯并[a]蒽mg/kg39苯并[a]芘mg/kg40苯并[b]荧蒽0.2Lmg/kg41苯并[k]荧蒽mg/kg42䓛mg/kg43二苯并[a,h]蒽mg/kg44茚并(1,2,3-cd)芘mg/kg45萘0.09Lmg/kg46苯胺0.05Lmg/kg47石油烃总量mg/kg48氟化物368mg/kg备注：检测结果小于检出限报最低检出限值加L。根据监测结果可知，项目区厂界内土壤环境质量满足《土壤环境质量建设20用地土壤污染风险管控标准》(GB/T15618-2018)表1第二类用地筛选值要求，区域土壤质量良好。4.地表水环境质量现状本项目临近河流为细河。细河水质现状收集2019年《沈阳市环境质量报告书》中细河土台子桥断面、细河彰驿桥断面测数据，监测及评价结果见表21。表21地表水环境质量监测及评价结果mg/L监测项目采样点CODBOD高锰酸盐指数NH3-NTP石油类挥发酚阴离子表面活性剂细河土台子桥断面3978.86.900.470.030.0036超标倍数0.072.45细河彰驿桥断面3413.89.1940.590.240.0110超标倍数0.385.470.48《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中V类402.0由表21可以看出，细河土台子桥和彰驿桥监测断面水质已经受到一定程度污染，其中BOD、NH3-N、总磷均超过《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)V类标准限制，土台子桥断面BOD、NH3-N、总磷超标倍数分别为0.07倍、2.45BODNHN磷超标倍数分别为0.38倍、5.47倍、0.48倍，主要是受上游各厂区排放的生产和生活污水所致，属有机污染类型；其余指标均符合《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)V类标准。21主要环境保护目标(列出名单及保护级别)：本次评价区域内没有自然保护区、文物古迹等人文景点，不涉及生态红线保护区及水源地，项目主要环境保护目标见表26。环境保护目标图见附图。表22项目环境保护目标一览表名称UTM坐标保护对象保护相对厂址方位相对厂界距离/m规模/人XY马贝村515419.624616491.39居住区人群W704306西雅嘉园515436.78.15居住区人群NW7342320沈阳中德国际公馆515722.034616996.30居住区人群NW5945682西雅美苑515657.564617087.75居住区人群NW7342088正宸府515082.844617024.27居住区人群NW2552东胜利村517477.234618351.08居住区人群NE下地村517821.344617069.69居住区人群E57东方银座莱茵城518787.74.10居住区人群E2256232壕上村518569.924616164.45居住区人群210236小挨金村517123.894616075.47居住区人群S826426大挨金村517457.584615425.20居住区人群S河北村515615.81.16居住区人群W39大祝村4614346.42居住区人群W212963项目所在区200m范围内类区///细河S60/项目所在区域及周边农田等50m内土壤环境土壤///22用标准环境质量标准1、环境空气质量标准本项目大气环境污染物基本项目浓度执行《环境空气质量标准》(GB3095-2012)中二级标准及修改单，特征污染物氟化物执行《环境空气质量标准》(GB3095-2012)附录A及修改单要求。具体标准值见表23。表23环境空气质量标准单位：mg/Nm3环境类别污染物取值时间浓度单位标准名称SO2年平均60μg/m3《环境空气质量标二级标准及其修改单24小时平均1小时平均500NO2年平均4024小时平均1小时平均200PM10年平均7024小时平均PM2.5年平均3524小时平均75CO24小时平均4mg/m31小时平均O3μg/m31小时平均200TSP年平均20024小时平均300氮氧化物(NOX)年平均50μg/m324小时平均1小时平均250氟化物1小时平均20μg/m3《环境空气质量标准》(GB3095-2012)非甲烷总烃1小时平均2mg/m3《大气污染物综合排放标准详解》2、声环境质量标准声环境执行国家《声环境质量标准》(GB3096－2008)中3类标准，3、土壤环境质量厂区内土壤环境质量执行《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准》(GB/T36600-2018)表1筛选值第二类用地要求，详见表24。 表24建设用地土壤污染风险筛选值和管制值mg/kg 序号污染物项目CAS编号第筛一地第地231砷7440-38-22060655.718000800389002.80.93795665965461656.8538400.43427056020285706407626022562镉7440-43-9203铬(六价)18540-29-93.04铜7440-50-820005铅7439-92-14006汞7439-97-687镍7440-02-08四氯化碳56-23-50.99氯仿67-66-30.3氯甲烷74-87-375-34-331,2-二氯乙烷107-06-20.5275-35-4顺-1,2-二氯乙烯156-59-266反-1,2-二氯乙烯156-60-5二氯甲烷75-09-2941,2-二氯丙烷78-87-51630-20-62.679-34-520四氯乙烯2171-55-67012279-00-50.623三氯乙烯79-01-60.7241,2,3-三氯丙烷0.0525氯乙烯75-01-426苯71-43-2127氯苯108-90-768281,2-二氯苯560291,4-二氯苯106-46-75.630100-41-47.231苯乙烯100-42-532108-88-333间二甲苯+对二甲苯108-38-3,106-42-334邻二甲苯95-47-622235硝基苯98-95-33436苯胺62-53-392372-氯酚95-57-825038苯并[a]蒽56-55-35.539苯并[a]芘50-32-80.5540苯并[b]荧蒽205-99-25.541苯并[k]荧蒽207-08-95542䓛218-01-94902443二苯并[a,h]蒽53-70-30.5544茚并[1,2,3-cd]芘193-39-55.545萘91-20-3257046石油烃-82645004、地表水环境质量区域地表水细河环境质量执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)表1中Ⅴ类标准。地表水环境质量标准mg序号污染物名称标准值1化学需氧量(COD)2五日生化需氧量(BOD)3高锰酸盐指数4氨氮≤2.05总磷.46石油类≤1.07挥发酚8阴离子表面活性剂≤0.325污染物排放标准1、废气排放标准(DB21/2642-2016)中规定的扬尘排放浓度限值，具体限值见下表。表26施工及堆料场地扬尘排放标准监测项目浓度限值(连续5min平均浓度)颗粒物(TSP)城镇建成区0.8本项目营运期项目生产过程中：粉尘执行《大气污染物综合排放标准》 (GB16297-1996)表2颗粒物二级标准限值；酸洗过程中产生的氟化氢废气、氮氧化物，化蜡工序产生的氮氧化物、二氧化硫、非甲烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中二级标准限值。表27大气污染物综合排放标准污染物名称最高允许排放排气最高允许排放无组织排放监控浓gm采用标准石英粉尘60《大气污染物综合排放标准》 GB-1996)表2中的二级标准颗粒物3.5氟化物9.00.10.02氮氧化物240077012二氧化硫5502.60.40非甲烷总烃4.0根据《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)，企业厂区内VOCs(以非甲烷总烃计)无组织排放监控点浓度应符合附表A.1规定的限值，详见下表。《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)污染物特别排放限值(mg/m3)限值含义无组织排放监控位置非甲烷总烃6监控点处1h平均浓度值在厂房外设置监控点20监控点处任意一次浓度值食堂产生的饮食油烟执行《饮食业油烟排放标准》(试行)(GB18483-2001)中型饮食单位油烟排放标准。》(GB18483-2001)饮食业单位规模基准灶头数油烟最高允许排放浓度(mg/m3)2.0净化设施最低去除率(%)75对应排气罩灶面总投影面积(m2)≥3.3，＜6.6262、污水排放标准本项目运行期间废水COD、SS、氨氮执行《辽宁省污水综合排放标准》 (DB21/1627-2008)表2中排入污水处理厂的水污染物最高允许排放浓度要求，动植物油、氟化物执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中排入污水处理厂的水污染物最高允许排放浓度要求，具体见下表。表30污水排放标准污染物COD氨氮动植物油氟化物本项目排放浓度(mg/L)300300303、噪声排放标准施工期噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》(GB125232011)标准，即昼间70dB(A)，夜间55dB(A)。运营期厂界噪声执行国家《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准，即昼间65dB(A)，夜间55dB(A)。4、固体废物排放标准本项目生活垃圾排放及管理执行《沈阳市城市垃圾管理规定》(沈阳市人民政府第56号令，2006年4月)。一般工业固体废物贮存及处置执行《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2001)及国家污染物控制标准修改单(环境保护部公告，2013年第36号)。危险废物贮存执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)及国家污染物控制标准修改单(环境保护部公告，2013年第36号)。27根据《辽宁省环境保护厅关于贯彻执行环保部建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法的通知》(辽环发[2015]17号)，结合本项目特点，建议本次项目的总量控制指标按以下执行：氮氧化物排放量为：0.019t/a；二氧化硫排放量为：0.00054t/a；非甲烷总烃排放量为0.0036t/a。本项目污水排放量为11048t/a，由市政排水管网排污西部污水处理厂。自身污水总排口总量指标按COD排放浓度240mg/L，NH3-N排放浓度20mg/L计算，总量指标为：COD：2.7t/a；NH3-N：0.22t/a。西部污水处理厂处理后COD排放浓度为50mg/L，NH3-N排放浓度为5mg/L，总量指标为：COD：0.55t/a；NH3-N：0.055t/a。具体以环保审批部门的批复为准。28分析工艺流程简述(图示)：1.工艺流程(1)施工期工艺流程施工期主要为建设厂房、安装生产设施等。施工期工艺流程与产污节点如下。噪声、扬尘、污水、固废噪声、废弃包装噪声、扬尘、污水安装生产设备建筑物主体施工安装生产设备建筑物主体施工基基础施工图2项目施工期工艺流程及排污节点图(2)运营期工艺流程本项目营运期工艺流程及排污节点如下图所示。半导体ETCH石英玻璃产品工艺流程见图3。S10S10W3S10W3G8S10S4、S5注：图中N：噪声，G：废气，S：固废，W：废水图3半导体ETCH石英玻璃产品工艺流程及产排污环节图工艺说明：1.外购石英玻璃原材料通过汽车运输方式进入厂区，统一放置于生产厂房原料库，根据其规格不同分类放置，以便生产选料使用。2.将采用下料切割机对石英玻璃原材料进行切割，严格按照设计要求进行切割，切割成所需要的尺寸和形状，完成下料，切割时使用切削液。此过程产生的污染物为：噪声、少量粉尘、废边角料和废切削液。3.进入密闭酸洗间进行过程酸洗，使用氢氟酸进行酸洗，将石英玻璃产品在29闭酸洗间进行过程酸洗，酸洗间设有排气筒收集酸雾，酸洗机顶部留有排气筒，在底部留有排液管道，酸洗槽尺寸为1.4m×0.9m×1.6m，酸洗槽中装有浓度为5%左右的氢氟酸液体，酸洗在30-40℃下进行，采用电加热，持续时间为5分钟。在酸洗过程中氢氟酸会有部分蒸发，形成废氟化氢，通过酸洗机顶部排气筒和酸洗间排气筒收集送至SDG酸雾吸收罐中，利用其中的碱性物质对产生的酸雾进行反应，减少氟化氢排放量，处理后通过15m高排气筒达标排放。5%左右的氢氟酸液体可反复使用，每3个月更换1次，更换的氢氟酸废液做危废处理。此过程产生氟化氢气体、废氢氟酸和SDG废料。酸洗后的石英产品直接送入水洗槽中进行清洗，由项目加工生产的去离子纯水进行清洗，纯水通过管道送至酸洗间中，然后通过喷枪喷冲洗掉产品上附着的酸，设置设计水洗槽1.4m×0.9m×1.6，清洗废水排入废酸处理间进行处理，对氢氟酸废液进行加药(生石灰、絮凝剂)处理，使其沉淀。此过程产生清洗废水。4.按照产品设计要求，将加工后的半成品石英玻璃材料送至机加区进行机械加工，首先进入CNC车床进行磨削加工，将产品表面进行磨削。然后进入加工中心加工，这里要将石英玻璃材料固定于车床机器托盘上，以液化气为燃料将石蜡在水中融化，熔化后漂浮在水表面，用金属板粘上蜡再粘上石英材料，常温冷却后将金属托盘放置于机加工机械中进行加工。石蜡具有防水、可回收利用及无毒无害等优点，适用于本项目石英玻璃材料的固定。待机械加工完成后，对金属托盘微微加热取下石英玻璃材料，剩余的带有石蜡的金属托盘放入热水中进行脱蜡处理。脱蜡后的金属托盘取出后继续利用，脱掉的废蜡浮于废水之上，回收利用。洗蜡废水循环利用，定期在洗蜡池内加入絮凝剂，沉淀物(废蜡)做危废处理，洗蜡废水排入市政污水官网。磨削、机加工序使用乳化液进行加工。此过程污染物主要为：少量粉尘、废乳化液、乳化液废渣、废蜡、洗蜡废水、设备噪声、废机油和少量化蜡废气。5.将机械加工后的半成品石英玻璃材料，按照设计要求送至激光切割间进行切割，使其形状、尺寸符合产品要求。此过程污染物主要为：切割粉尘、噪声。6.激光切割后，将石英玻璃产品进行表面研磨处理，使其表面变得光滑，研磨时使用乳化液。此过程主要污染物为：噪声、少量粉尘、废乳化液和乳化液废渣。7.研磨后的部分石英玻璃产品要对其进行喷砂处理，使其表面达到产品所需30N要求，所用砂为碳化硅，喷砂工艺是采用压缩空气为动力形成高速喷射束，将砂材高速喷射到需处理工件表面。喷砂过程由喷砂机完成。此过程污染物为：喷砂粉尘、废砂和噪声。N8.酸洗与步骤3.酸洗流程、设备、废酸废气处理方式相同。此过程产生氟化氢气体、废氢氟酸和SDG废料。清洗与步骤3.清洗流程、设备相同，此过程产生清洗废水。9.将清洗完的石英玻璃产品送至产品检测车进行产品检验，检验其是否达到设计要求，并检验其是否有缺陷，挑选出残次品。将检验后的石英玻璃材料成品进行表面清理，应用无水乙醇进行擦拭，此过程无水乙醇使用量较小，少量蒸发产生无水乙醇废气，厂房内自然通风排放。10.检验后的石英玻璃材料成品再进入密闭酸洗间进行成品酸洗，酸洗与步骤3.酸洗流程、设备、废酸废气处理方式相同。此过程产生氟化氢气体、废氢氟酸和SDG废料。清洗与步骤3.清洗流程、设备相同，此过程产生清洗废水。11.最后进行产品包装，产品按照厂家需要进行包装，人工包装，包装过程中产生废包装材料。太阳能石英玻璃产品工艺流程见图4。W3NS10S10S10S13、W1、G10NG5W3W3NNG注：图中N：噪声，G：废气，S：固废，W：废水图4太阳能石英玻璃产品工艺流程及产排污环节图工艺说明：1.要使石英玻璃管材原料符合所需产品设计要求，对其进行热成型加工，此时用到扩管机对石英玻璃管材进行扩管加工，将石英玻璃管材固定于加工机上，31通过对管材喷射氢火焰，使其融化，石英玻璃管材原料成分全部二氧化硅，所以熔化没废气产生，加工机此时将石英玻璃管材旋转，通过离心力的作用使石英玻璃管材的直径扩大，在管材下方有一水槽，加热融化后的管材接触水槽中的纯水，使其冷却成型，达到产品所需石英玻璃管材尺寸要求。此过程产生冷却废水及设备噪声。2.处理后的石英玻璃管材要进行退火，退火过程中是在退火炉中进行。退火炉的能源为电力。退火过程是将材料缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜的温度冷却。目的是降低硬度，改善切削加工性；消除参与应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。此过程中产生设备噪声。退火后产品采用自然冷却方式降温。3.将热处理后的石英玻璃管材进行磨削处理，此过程产生少量粉尘、废乳化液、乳化液废渣、设备噪声。4.将石英玻璃锭按照产品设计规格进行切片，严格按照设计要求进行切割，切割成所需要的规格，并进行研磨，以便生产需要，在此过程中产生噪声、少量粉尘、废边角料和废切削液。5.按照要求处理后的石英玻璃管材和石英玻璃切片材料需进行酸洗，酸洗、清洗工序与ETCH石英玻璃产品酸洗、清洗工序相同。此过程产生噪声、氟化氢气体、废氢氟酸、SDG废料和清洗废水。6.将清洗好的组件进行焊接加工，焊接在独立的焊接间，焊接火焰用氢火焰，把石英玻璃管(二氧化硅)熔化两头黏在一起，仅产生少量水蒸气和噪声，不产生烟尘。7.焊接后的半成品经过退火工艺后，将其进行火焰抛光，此工序使用旋盘机进行火焰抛光，火焰为氢氧火焰，温度在2000℃以上，此过程还产生设备噪声、水蒸气。8.抛光后的石英玻璃产品将再次通过退火工艺，消除其参与应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向。9.退火后对产品进行酸洗。酸洗、清洗工序与ETCH石英玻璃产品酸洗、清洗工序相同。此过程产生噪声、氟化氢气体、废氢氟酸、SDG废料和清洗废水。10.将清洗完的石英玻璃产品送至产品检测车进行产品检验，检验其是否达到设计要求，并检验其是非有缺陷，挑选出残次品。将检验后的石英玻璃材料成32品进行表面清理，应用无水乙醇进行擦拭，此过程无水乙醇使用量较小，少量蒸发产生无水乙醇废气，厂房内自然通风排放。检验完成的合格产品进行包装，待外售。此过程产生废包装材料。半导体高纯、一般石英玻璃产品工艺流程见图5。N、G3、G9、G7、W2、S3、S5S10W3NS3、S5S10W3N、W1NG11W4S10S10S10S10W3W3W3W3G8NN注：图中N：噪声，G：废气，S：固废，W：废水图5半导体高纯、一般石英玻璃产品工艺流程与排污节点图工艺说明：半导体高纯、一般石英玻璃产品工艺流程相同，原材料纯度不同。1.选用设计所需规格的石英玻璃管材及石英玻璃棒原材料，进行机械磨削加工，工艺流程和ETCH石英玻璃产品机加、磨削工艺相同，此过程污染物主要为：少量粉尘、废乳化液、乳化液废渣、废蜡、洗蜡废水、设备噪声、废机油和少量化蜡废气。2.之后石英玻璃管材及石英玻璃棒原材料进行酸洗。酸洗、清洗工序与ETCH石英玻璃产品酸洗、清洗工序相同。此过程产生噪声、氟化氢气体、废氢氟酸、SDG废料和清洗废水。3.石英玻璃管材及石英玻璃棒原材料需按要求进行热加工处理，将其加工成为设计所需规格尺寸，此过程会产生冷却废水与设备噪声。4.热加工后的石英玻璃材料需进行退火工艺处理，此过程会设备噪声。5.之后再进行酸洗。酸洗、清洗工序与ETCH石英玻璃产品酸洗、清洗工序相同，酸使用5%硝酸。此过程产生噪声、氮氧化物、废硝酸、SDG废料和清洗废水。336.将清洗好的组件进行焊接加工，焊接在独立的焊接间，焊接火焰用氢火焰，把石英玻璃管(二氧化硅)熔化两头黏在一起，仅产生少量水蒸气和噪声，不产生烟尘。7.组焊后需要对石英玻璃材料半成品进行退火，为了消除其参与应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向。8.退火后产品进行研磨处理，使其表面变得光滑，此过程主要污染物为：噪声、少量粉尘、废乳化液和乳化液废渣。9.研磨后产品进行酸洗。酸洗、清洗工序与ETCH石英玻璃产品酸洗、清洗工序相同。此过程产生噪声、氟化氢气体、废氢氟酸、SDG废料和清洗废水。10.清洗后的半成品需进行火焰抛光，此工序使用旋盘机进行火焰抛光，火焰为氢氧火焰，温度在2000℃以上，此过程还产生设备噪声、水蒸气。11.产品检验前需再经过一次酸洗清洗，酸洗、清洗工序与ETCH石英玻璃产品酸洗、清洗工序相同。此过程产生噪声、氟化氢气体、废氢氟酸、SDG废料和清洗废水。12.将酸洗清洗完的石英玻璃产品送至产品检测车间进行产品检验，检验其是否达到设计要求，并检验其是非有缺陷，挑选出残次品。将检验后的石英玻璃材料成品进行表面清理，应用无水乙醇进行擦拭，此过程无水乙醇使用量较小，少量蒸发产生无水乙醇废气，厂房内自然通风排放。13.检验后的石英玻璃材料成品再进行酸洗。酸洗、清洗工序与ETCH石英玻璃产品酸洗、清洗工序相同。此过程产生噪声、氟化氢气体、废氢氟酸、SDG废料和清洗废水。12.最后进行产品包装，产品按照厂家需要进行包装，人工包装，包装过程中产生废包装材料。2.主要污染工序项目施工期、运行期主要污染工序及污染因子见下表。表31主要污染工序及污染因子一览表评价时段类别编号污染源主要污染因子施工期废气-施工过程施工扬尘、机动车尾气施工机械噪声废水-生活废水、建筑施工废水声-施工机械、运输车辆34-施工过程弃土、建筑垃圾、生活垃圾营运期废气GG1切割石英粉尘G2磨削石英粉尘G3机加工石英粉尘G4喷砂石英粉尘G5抛光水蒸气G6研磨石英粉尘G7酸洗氟化氢废气G8清洗擦拭乙醇废气G9化蜡非甲烷总烃、氮氧化物和二氧化硫G10焊接水蒸气G11酸洗氮氧化物G12食堂食堂油烟废水WW1冷却废水W2氢氟酸(5%)W3清洗废水W4硝酸(5%)W5员工生活W6食堂废水植物油S切割废料机加工废机油废蜡废乳化液乳化液废渣包装废包装材料喷砂废砂员工生生活垃圾包装废包装桶S10酸雾处理SDG废料S纯水制备废反渗透膜S12食堂废油S13切割废切削液35声N-切割、磨削、机加工等设备噪声环境风险废机油、氢氟酸废液、废切削液、氢气、液化气3.物料平衡本项目物料平衡见下表。本项目物料平衡产品石英玻璃制品石英原材料328.086石英玻璃制品3280.3250.043边角料激光切割粉尘合计328.086合计328.086本项目氟平衡如下表所示。表33本项目氟平衡表氟收入氟支出项目用量(t/a)含氟率氟含量(t)项目氟含量(t)氢氟酸中的氟49.25%2.46有组织、无组织排放的氟0.062冲洗水中的氟0.01SDG废料中的氟废氢氟酸中的氟合计2.462.4636项目主要污染物产生及排放情况排放源(编号)污染物名称处理前产生浓度及产生量(单位)排放浓度及排放量(单位)粉尘mgm0.65t/a1.5mg/m³，0.0065t/a粉尘mgm0.65t/a1.5mg/m³，0.0065t/a粉尘71.25mg/m³，0.31t/a0.7125mg/m³，0.0031t/a气筒氮氧化物19.2mg/m³，0.25948t/a0.96mg/m³，0.013t/a氟化氢28.8mg/m³，0.38922t/amgm，0.019t/a气筒氟化氢48mg/m³，0.67864t/a2.52mg/m³，0.034t/a气筒氟化氢1.2mg/m³，0.0065t/a气筒颗粒物9.3mg/m³，0.2475kg/amgm0.2475kg/a氮氧化物76.5mg/m³，2.3625kg/a76.5mg/m³，2.3625kg/a二氧化硫6.6mg/m³，0.2025kg/amgm.2025kg/a非甲烷总烃aa气筒颗粒物9.3mg/m³，0.2475kg/amgm0.2475kg/a氮氧化物76.5mg/m³，2.3625kg/a76.5mg/m³，2.3625kg/a二氧化硫6.6mg/m³，0.2025kg/amgm.2025kg/a非甲烷总烃aa气筒颗粒物氮氧化物二氧化硫非甲烷总烃1#厂房粉尘0.0361t/a0.0361t/a氮氧化物1.045kg/a1.045kg/a氟化氢0.00208t/a0.00208t/a二氧化硫0.045kg/a0.045kg/a非甲烷总烃0.3kg/a0.3kg/a2#厂房粉尘0.01t/a0.01t/a氟化氢0.00026t/a0.00026t/a氮氧化物二氧化硫0.015kg/a0.015kg/a非甲烷总烃37生活污水食堂废水CODcr240mg/L，2.48t/a240mg/L，2.48t/aLtamgLt/aNH3-N20mg/L，0.2t/a20mg/L，0.2t/a动植物油生产废水CODcr239mg/L，0.62t/a239mg/L，0.62t/aNH3-N2mg/L，0.0052t/a2mg/L，0.0052t/a氢氟酸30.8mg/L，0.011t/a1.54mg/L，0.0006t/a职工生活生活垃圾60.75t/a由环卫部门统一清运