LCD培训教材一22130课件

LCD培訓教材(一)圖案制作LCD基本構造(其斷面如下圖)

塗佈光阻劑PhotoresistCoating顯影Developing蝕刻Etching剝膜Stripe配向膜塗佈PolyimideCoating灌液LCInjection定向Rubbing印框ScreenPrinting印點Cross-overPrinting預烤Pre-Curing塗佈SpacerSpray組合GlassAssembly曝光Exposure清洗Clean清洗Clean貼片Polarizer

AssemblyLCD製程流程圖塗佈光阻劑PhotoresistCoating顯影Developing蝕刻Etching剝膜Stripe配向膜塗佈PolyimideCoating灌液LCInjection定向Rubbing印框ScreenPrinting印點Cross-overPrinting預烤Pre-Curing撒佈SpacerSpray組合GlassAssembly曝光Exposure清洗Clean貼片Polarizer

Assembly清洗Clean塗佈光阻劑PhotoresistCoating顯影Developing蝕刻Etching剝膜Stripe配向膜塗佈PolyimideCoating灌液LCInjection定向Rubbing印框ScreenPrinting印點Cross-overPrinting預烤Pre-Curing撒佈SpacerSpray組合GlassAssembly曝光Exposure曝光Exposure清洗Clean塗佈光阻劑PhotoresistCoating蝕刻Etching剝膜Stripe配向膜塗佈PolyimideCoating灌液LCInjection定向Rubbing印框ScreenPrinting印點Cross-overPrinting預烤Pre-Curing撒佈SpacerSpray組合GlassAssembly曝光Exposure顯影Developing顯影Developing貼片Polarizer

Assembly清洗Clean塗佈光阻劑PhotoresistCoating顯影Developing剝膜Stripe配向膜塗佈PolyimideCoating灌液LCInjection定向Rubbing印框ScreenPrinting印點Cross-overPrinting預烤Pre-Curing撒佈SpacerSpray組合GlassAssembly曝光Exposure蝕刻Etching蝕刻Etching貼片Polarizer

Assembly

導電玻璃材料

就是在普通玻璃(不導電)的一個膠面層鍍上透明導電膜的玻璃.目前常用的導電玻璃是氧化銦,氧化錫玻璃,通常簡稱ITO玻璃,在生產過程中,每片玻璃都必經過万用電表檢測,導電面為ITO正面,不導電面無ITO面為背面.一、ITO玻璃的結构,如圖1°SIO玻璃ITO圖1二、LCD制造用的ITO導電玻璃規格

玻璃厚度:0.5mm0.7mm1.1mm玻璃面積:14"*16"(或355.6mm*406.4mm)\300*350SiO2阻擋層:200~500A°(1A°=10–10米)ITO層厚:250~2000A°SiO2絕緣層厚:500~1000A°ITO導電玻璃的主要技術透光率8%方塊電阻RR10Ω、15Ω、30Ω、80Ω相對R越小越好若R10Ω/膜厚1000~2000A°R100---300Ω/膜厚200---300AITO玻璃的技術要求平整度好,一般要求平整度<0.5um/20mm机械強度与化學抗蝕性能,ITO層對玻璃(SiO2)表面的粘附力要強,不易脫落,抗划傷強.ITO膜能抗強鹼,但易被酸腐蝕.接上粘附力光刻膠与ITO面之間沾附的牢固程度也直接影響光刻后的精度,光刻膠的沾附力与光膠本身性質有關.而且与玻璃面有密切關系.平整.清洁.干燥.無油質污染的表面有利于光刻膠的粘附.此外.光刻膠的配比,前烘條件,顯影液配方因素有關.穩定性–光刻膠在常溫和暗房內(黃色光).光刻膠不發生暗反應.針孔–視其光刻膠膜上針孔形成密度盡可能低,它將直接影響光膠質量.粘度和含固率–光刻膠越濃,粘度就越大,涂膜就越厚,反之.就越薄,因此.我們常采用改變光膠濃度調節粘度,控制膜厚度.例中:光刻細小圖表時,為了提高分辯率,膠層相對薄些故采用濃度較稀的光刻膠.

溫度高.固含率低.粘度變小,膜薄,反之則厚.

光刻膠的分類負性膠–在襯底表面將得到与光刻掩蓋版遮光圖形完全相反的圖形(不适用LCD制造業).正性膠–這种膠在曝光前對某些溶劑是不可溶的,而曝光后就變成可溶性,能与掩模遮光圖形相同的圖案.主要不良影響：工位缺陷不良原因后制程產生不良PR涂布PR臟點1.玻璃表面臟物2.涂膠輪本身臟3.環境太差（粒子濃度偏高）4.PR被污染針孔、開路PR空洞1.玻璃表面有水汽和油污2.涂膠輪上有臟物和凸點針孔、開路亮線1.涂膠輪浸潤不夠2.玻璃清洗不干凈3.水汽未干針孔、開路PR不均(厚薄不均)1.涂膠輪與勻均膠輪間的間隙不一致2.玻璃表面局部有水汽、油污）3.膠的粘度大小直接與PR膜的厚薄有關開路與短路，對下一工序造成顯影、蝕刻工位的不足、過度膠泡1.PR中本身有汽泡2.攪拌中產生汽泡3.涂膠輪上有亮線短路、針孔主要不良影響：工位缺陷不良原因后制程產生不良顯影工位顯影不足A．噴淋支數少B．蝕刻液溫度低於工藝要求C．濃度低於工藝要求D．傳送速度太快短路、字體變形顯影過度A、噴淋太支數太多B、蝕度溫度、濃度高出工藝要求C、傳送太慢開路、針孔多餘物A、模板本身多餘物B、模板上有臟物C、環境太差（粒子濃度偏高）字體變形、多點針孔A．模板上本身有針孔、臟物B．涂膠線臟點、空洞、連線針孔缺口A．模板上本身有缺口、臟物B．涂膠臟點空洞、連線字體變形、缺口短路A．模板刮花、連線、臟物B．曝光機內環境太臟C．顯影、曝光不足D．顯影水洗衝洗不干凈刮花A、模板刮花；B、機臺運行不正常、刮花開路斷線A、模板本身臟物；B、機臺刮花、顯影、曝光過度開路玻璃寸法