ESD相关知识课件

靜電防護教育訓練ESDQA葉經理24

各類常用靜電防護材料

1.靜電環–由伸縮拉環，內含1MegaΩ±10%電阻之導線及接頭所構成。配帶靜電環時必須注意到： (a)靜電環必須與手緊密接觸，不可鬆脫或套於衣袖上 (b)與接地之間必須保持1MΩ±10%之電阻 (c)接頭必須固定妥當，當接頭未接地妥當時，不得碰觸材料 2. 抗靜電材料(袋、管、管塞、盒等)–在材料上塗佈抗靜電液， 使材料不會產生靜電荷，或僅產生微量的靜電荷(通常在100V以下)。此類材料表面電阻要求在<1012Ω/square以下，靜電消散時間<2sec。使用此材料應： (a)此材料僅能防止本身產生靜電，而卻無法防止靜電場破壞 (b)表面塗層必須考慮其有效期 (c)一般工業界會將此類產品製成粉紅色

ESD訓練教材253.靜電遮蔽材料(袋、管、管塞、盒等)–此種材料一般含有二或三層，上下(或外)層是抗張力強的抗靜電化學合成物質(R<1012Ω/square，靜電消散時間<2sec)，中間(或內)層是一層薄薄的金屬箔(105<R<

109Ω/square)。使用時需注意： (a)避免使用尖銳物品刮壞金屬層 (b)封閉的導電袋或容器才有完全之保護 4. 靜電消除器–利用儀器所產生的大量離子，將絕緣體表面的靜電予以中和。使用靜電消除器必須注意： (a)靜電消除器必須在工作範圍4~5呎內方為有效區域 (b)靜電消除器必須定期清理所積聚之灰塵，至少3個月內清理 一次 (c)靜電消除器必須定期檢查其離子是否平衡 (d)靜電消除器會產生臭氧(O3)對人體無害(有益)，但臭氧濃度不可超過0.1DPPM，否則其異味會使人難以忍受

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各種靜電標示警告A.〝對ESD敏感〞標示： C.對ESD敏感“+外弧去斜之標示:

適用於告知電子零組件對ESD 用於工具或材料上已具有控制ESD 極為敏感，易遭ESD破壞。 之功效。

B.〝對ESD敏感〞+警語之標示：D.〝對ESD敏感〞標示亦可用：

適用於防靜電包裝袋上。ESD訓練教材29

對ESD之要求

◆設備要求

1.設備機殼：AC-INPUT一律使用三插頭有接地端子電源線， 設備外殼一律接地。(AI、RI、SMD、加工成型機、測試儀 器、錫爐等) 2.外加工治具：一律使用金屬製作，並接地處理。(含散熱片 鎖附治具) 3.維修站：工作台表面，需鋪上靜電墊，其表面阻值為105~ 109Ω/SQUARE，人員、儀器皆需確實接地 4.鉻鐵：外殼需接地處理 5.零件盒：半導體之零件被裝置或取出時，作業人員需配帶靜 電環，零件放於導電容器或導電之零件盒中。半導體零件嚴 禁放置於塑膠容器(非靜電盒)或保麗龍容器中ESD訓練教材30

◆搬運要求

1.靜電盒：石墨型(黑色，永久型)規格為105~109Ω/SQUARE， 可使用期限一年以上 2.金屬盒：手插件段(HI)放置小零件之料盒，一般為不銹鋼導 體，必須接地使用 3.籃子：防靜電盒如使用一般塑膠籃，則需加上防靜電之隔離 使用 4.輸送帶：生產線若以輸送帶方式作業時，輸送帶及其各裝置 需確實接地 5.台車：A/I室及生產線的搬運台車，一般必須使用導體材質， 並在台車底部加接地鍊條，鍊條必須與地面接觸

◆儲存要求

1.濕度：儲存空間之相對濕度需控制於50%~60%的範圍之內 2.保存架：必須使用導體材質，及具備接地設施 3.取放材料：儲存人員取放材料時必須配帶靜電環並接地

ESD訓練教材32 3.若使用靜電防止劑，需明確記錄下次的塗佈使用時間。 4.每日確認作業員腕帶的接地狀況及是否有斷線。 5. 保存用導電零件盒的外圍，需貼上任何作業員看後均可明瞭之標籤，以標示其內存有不耐靜電之零件。 6.靜電盒上需貼上能負荷靜電量及檢驗日期之標籤。 7.確實記錄點檢所得資料。【註】靜電環點檢方法

1.作業員於座位上坐好後，帶上靜電環（右手操作者將靜電環戴於左手，左手操作者將靜電環戴於右手）並將靜電環接地線插頭插於接地孔中。 2.線上領班攜帶靜電環檢測器至各作業員作業位置，將檢測器接地線插頭插於接地孔中。 3.作業員自行壓下檢測開關(靜電環戴於左手者，用右手壓檢測開關；靜電環戴於右手者，用左手壓檢測開關)，直到訊號顯示完成。 4-1.檢測時“GOOD”綠色顯示燈亮表示該靜電環符合規格，可正常使用 4-2.檢測時“HIGH”紅色顯示燈亮表示該靜電環超出規格，禁止使用 4-3.檢測時“LOW”紅色顯示燈亮表示該靜電環超出規格，禁止使用ESD訓練教材34

◆稽核

1.日點檢–由各ESD區域自行點檢、記錄，IPQC人員亦隨時 對相關工作場合進行ESD之稽核 2.月稽核–由各廠Coordinator及各部門主管組成ESD稽核小組