




版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
半导体集成电路专业:电子、微电时间:秋季学期2/6/20231集成电路的基本概念半导体集成电路的分类
半导体集成电路的几个重要概念上节课内容要点2/6/20232内容概述集成电路双极型集成电路MOS集成电路按器件类型分按集成度分SSI(100以下个等效门)MSI(<103个等效门)LSI(<104个等效门)VLSI(>104个以上等效门)TTL、ECLI2L等PMOSNMOSCMOS集成度、工作频率、电源电压、特征尺寸、硅片直径按信号类型分模拟集成电路数字集成电路BiCMOS集成电路数模混合集成电路2/6/20233第一章集成电路制造工艺2/6/20235双极集成电路的基本制造工艺双极集成电路中的元件结构双极集成电路的基本工艺MOS集成电路的基本制造工艺MOS集成电路中的元件结构MOS集成电路的基本工艺BiCMOS工艺内容提要2/6/20236本节课内容双极集成电路的基本工艺双极集成电路中元件结构2/6/202371.二极管(PN结)双极集成电路的基本元素np2/6/202392.双极型晶体管双极集成电路的基本元素pnpB端E端C端ECBnpnB端E端C端CBENPNBECPNPBEC2/6/202310CBENPNBEC?BECnpN+BEC2/6/202311BECpnBECpnnn双极集成电路中元件的隔离介质隔离PN隔离BECpn+nBECpnn+n+n+n+n+P-SiP+P+P+S2/6/202313§1.1.2双极集成电路元件的形成过程、结构和寄生效应BECpn+n-epin+P-SiP+P+S四层三结结构的双极晶体管发射区(N+型)基区(P型)集电区(N型外延层)衬底(P型)双极集成电路元件断面图n+-BL2/6/202314双极集成电路等效电路CBEpn+n-epin+n+-BLP-SiP+P+SC(n)B(p)E(n+)npnpnpS(p)等效电路隐埋层作用:1.减小寄生pnp管的影响2.减小集电极串联电阻衬底接最低电位2/6/202315典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程2:第一次光刻----N+隐埋层扩散孔光刻CBEpn+n-epin+P-SiP+P+Sn+-BL
P-Si衬底N+隐埋层2/6/202317具体步骤如下:1.生长二氧化硅(湿法氧化):Si(固体)+2H2OSiO2(固体)+2H2
Si-衬底
SiO22/6/2023182.隐埋层光刻:涂胶腌膜对准曝光光源显影2/6/202319P-SiTepiCBEpn+n-epin+P-SiP+P+Sn+-BLTepi典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程3:外延层主要设计参数外延层的电阻率ρ;外延层的厚度Tepi;AA’Tepi>xjc+xmc+TBL-up+tepi-ox后道工序生成氧化层消耗的外延厚度基区扩散结深TBL-uptepi-oxxmcxjc集电结耗尽区宽度隐埋层上推距离TTL电路:3~7μm模拟电路:7~17μm2/6/202321典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程4:第二次光刻----P隔离扩散孔光刻P-SiTepiCBEpn+n-epin+P-SiP+P+Sn+-BLTepi2/6/202322典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程5:第三次光刻----P型基区扩散孔光刻CBEpn+n-epin+P-SiP+P+Sn+-BL2/6/202323典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程7:第五次光刻----引线孔光刻CBEpn+n-epin+P-SiP+P+Sn+-BL2/6/202325典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程8:铝淀积2/6/202326典型PN结隔离双极集成电路中元件的形成过程9:第六次光刻----反刻铝2/6/202327BECpn+n-epin+P+P+SP-Sin+-BL为了减小集电极串联电阻,饱和压降小,电阻率应取小.为了减小结电容,击穿电压高,外延层下推小,电阻率应取大;折中TTL电路:0.2Ω.cm模拟电路:0.5~5Ω.cm2/6/202329CBECSP+隔离扩散P基区扩散N+扩散接触孔铝线隐埋层AA’BB’CC’作业:
1.画出NPN晶体管的版图,并标注各区域的掺杂类型(直接在图上标),写出实现该NPN
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 汽车美容师新媒体宣传试题及答案
- 难度逐级提升统计学试题及答案
- 药理学复试题目及答案
- 药物剂型选择与疗效的关联研究试题及答案
- 中西古代文学史比较试题及答案
- 深耕古代文学史考核题型试题及答案
- 汽车美容师使用手动工具的评估试题及答案
- 2024年汽车维修工考试趋势分析试题及答案
- 专业视角看2024年计算机基础考试试题及答案
- 部队训练防中暑教育课件
- 浙江省温州市2024年九年级数学八校联考学生素养检测中考模拟试卷(含答案)
- 《电力系统及其应用》课件
- 雅安建筑垃圾循环利用项目可行性研究报告
- 2019保障性住房设计标准共有产权保障住房和征收安置房分册
- 2025年仓储物流合作管理协议
- 2025年全国硕士研究生考试考研英语二试卷真题(含答案)
- 木结构施工协议书范本
- 支气管激发试验临床应用中国专家共识(2024版)
- 2025年北京电子科技职业学院高职单招职业适应性测试近5年常考版参考题库含答案解析
- 《咖啡厅环境布局设计》课件
- 安装工程建设工程计量与计价实务-2022年(浙江)二级造价工程师《安装实务》真题
评论
0/150
提交评论