硅片插片机使用说明课件_第1页
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文档简介

清洗培训

——插片机2012年清洗工序小组主要内容：插片机的主要构成插片机操作插片机注意事项机台插片机结构篮具插片机主要构成开机请点击“开机复位”2、装片插片机篮具每台机配2个，篮具中有两层垫片。在使用篮具前认真检查篮具四面的挡板是否完好，尤其检查挡板与底板连接的螺丝处是否有裂痕。1、打开硅片盒，粗检硅片边缘是否有崩点、崩边等不合格品；2、测量硅片尺寸；3、以100片为单位，将硅片放入篮具中，每篮具放片以400片为限

。1、一手拿着篮具挡板。一手拖住篮具底板，整个篮具向身体的方向倾斜，避免由于篮具突然损坏造成摔片。2、准备加料：将篮具底板一边先放在插片机台面上，向里推，平放3、双手同时提起篮具上料挡板，放入上料位，使得篮具下小孔与上料位定位销重合，左右晃动，检查篮具是否放稳。4、装载小花篮双手握住小花篮两边，先装前，后装后花篮边缘务必要贴紧定位挡板待两个花篮均已装满时，即绿灯亮，黄灯亮，蜂鸣器响。操作者可将花篮拿下来放在小车上，检查是否有双片、破片、隐裂片，是否有硅片插斜等异常现象，若无，即可准备上花篮夹。5、关机插片结束后，进行关机操作。点击“加料”，使得上料位处于下位，即可按PLC下方的“停止”按钮，进行关机。自动插片时的紧急情况处理在自动启动状态下插片时常有花篮堵片、拖片、破片等不良状况，此时操作者需按“急停”按钮，常出现如下状况：

点击触摸屏上“回放”即可。回放操作可将吸盘上的硅片自动放入上料篮具中，以便继续装片。2、掉片报警

出现此报警经常由于硅片厚薄或是应力而导致硅片分离较差，吸盘无法吸住硅片处理方法：

1、判断来料硅片是厚薄还是应力，若是厚薄，可点击“加料”，将篮具取出，旋转180°，放入点击“续装”即可。若是应力，拿出手动插片。2、若硅片既不是厚薄也不是应力，即通知机修或技术员。3、上料位有阻挡物报警

若出现此报警，是由于吹气分片太高，阻挡感应器接收到信号所致。处理方法：点击“加料”，将篮具取出，旋转180°翻放入继续装片。

若无改善及时通知机修或技术员。注意事项：1、各班交接时，要仔细检查插片机篮具、插片机玻璃条是否完好。2、自动状态下，插片时，若发现变形的花篮要及时做上“×”的标记。3、在插片前，要检查小花篮是否放好4、在插片时，避免硅

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