电磁驱动微运动课件

电磁驱动微运动程动平B09340207叶园徽B09340224裘晨曦B09340216 洪兴超B09340209什么是电磁驱动？电磁驱动式微动台是靠电磁力直接驱动的，通过控制线圈中电流的大小来控制电磁力的大小，从而带动工作台产生相应的精密微位移。由于电磁微动台是电磁驱动单元和并联机构相融合的产物，通过控制电磁驱动元件，可实现微动台的精密运动。由于磁力的非接触性，可以达到很高的精度。当在通电螺线管内部插入铁芯后，铁芯被通电螺线管的磁场磁化。磁化后的铁芯也变成了一个磁体，这样由于两个磁场互相叠加，从而使螺线管的磁性大大增强。为了使电磁铁的磁性更强，通常将铁芯制成蹄形。但要注意蹄形铁芯上线圈的绕向相反，一边顺时针，另一边必须逆时针。如果绕向相同，两线圈对铁芯的磁化作用将相互抵消，使铁芯不显磁性。另外，电磁铁的铁芯用软铁制做，而不能用钢制做。否则钢一旦被磁化后，将长期保持磁性而不能退磁，则其磁性的强弱就不能用电流的大小来控制，而失去电磁铁应有的优点。目前电磁驱动工作台按其工作维数可以分为如下：一维电磁微驱动装置：当中目前主要是利用基于洛仑兹力的音圈电机作为微动驱动器。音圈电机的行程为毫米级，闭环控制精度可以达到纳米级，非常适于小行程超精密运动驱动。二维电磁微驱动装置：主要是靠电磁驱动单元的组合驱动，平面支撑主要靠气浮或磁浮实现。类似于平面电机，但与平面电机有着本质的不同之处是，不存在明显的齿槽效应，该类型机构主要应用于芯片光刻机、光纤对接装置和精密光学仪器中。三维电磁微驱动装置：与二维机构的工作原理类似，其多自由度的运动是靠多个驱动单元共同作用完成，该机构在半导体加工、显微镜扫描、微装配和快速成型等领域有着重要的应用。

磨床圆形强力电磁吸盘工作台新型电磁驱动器电感传感器的信号采集电路和基于AD698的电感传感器信号调理电路电磁微运动的实现方法电磁铁的引力公式为

式中B为电磁场磁通密度µ为导磁率S为磁极截面面积电磁铁引力：线圈电流与磁通密度关系为

N为线圈的匝数ι为磁路长度μo磁性材料导磁率µ空气导磁率D为空气隙长度I为电流强度由于

则改变电流后空气隙长度发生变化，衔铁发生移动从而实现了微位移运动磁致伸缩式微位移机构它的工作原理如图11所示。微动台用片簧支撑，在微动台的端部固定强磁体，它与磁致伸缩棒之间有一定的间隙，通过改变线圈中的电流强度，改变对工作台的吸引力，从而达到微位移的目的。其精度可达亚微米。该机构具有结构简单紧凑、重复精度高、无间隙、刚性好、传动惯量小、工作稳定性好等优点;但在磁场作用下伴有发热，故微动精度不高。它适用于精确位移调整、切削刀具的磨损补偿、温度变形补偿及自动调节系统等运动范围由公式工作台被磁铁吸引而移动的距离正比于（NI）的平方，当电流逐渐增大时气隙d就越来越小，磁通量增大吸引力也显著增大。当达到某一临界值时，工作台就会突然与电磁铁发生碰撞，此临界值可由课本式（5-14）导出：d—初始空气隙长度。当时，发生碰撞，则由上式得出即当工作台移动达到初始间隙的1/3时，被吸向磁极。为此在设计时，应考虑到工作台运动到初始间隙的1/3时，在磁通路中磁通量达到饱和，即可以避免相撞。在磁饱和条件下，公式不再适用图5-29所示，为一利用磁泄漏装置，当电流-磁力增大，磁极吸引工作台，使其间隙变小，则磁极磁阻减小，结果磁通量增大，使磁饱和磁性盘里的磁通量饱和，其磁阻和通过磁化极的磁泄露增大。结果，无论电流增大多少，只有通过磁性的磁泄漏增加，而吸引工作台的磁通量不会增加多少，从而使力学特性得到调节，避免发生碰撞。运动精度由于电磁驱动台的驱动是以磁场为介质的，因此磁场的分析和设计是电磁微动台整体结构设计的前提。尽管目前学者已经对磁场分析、电磁力计算等重要问题进行了相关研究，但是还未形成一套完整的电磁微动台磁场分析和设计的理论。特别是对边端效应、局部饱和、推力波动等影响定位性能的重要因素，以及如何实现长行程、大推力和高响应等问题都值得深入研究。微动台的结构是电磁驱动单元和位置检测单元安装的主体，是微动台稳定工作的基础。现有的电磁微动台在设计上虽然也以质量轻、结构紧凑、工艺性好和便于控制等为设计准则，但在如何保证质心驱动、散热和减少磁力耦合等方面考虑不够，因此鉴于上述方面设计更加合理和新颖的结构是提高工作台性能的重要途径之一。电磁式微动台除了本身结构之外，其定位精度和响应速度，主要是靠控制系统来完成的。现今的电磁力的控制系统大多基于电流控制模式，在这种控制模式中忽略了线圈电感对电流变化的抑制作用，若线圈中电流的变化过于剧烈时，系统中实际电流与参考电流之间将出现较大误差，影响定位精度。因此，为获得高性能的电磁力控制系统，必须从电磁力的电压方程出发建立更能准确体现微动台电磁特性的数学模型，以设计电磁微动台的控制系统。除此之外，可充分借鉴其他的控制原理和方法，如矢量控制理论、推力脉动抑制方法等当电流变化速度为(A为常数），精度为K时，则将带入上式，得电流变化速度I/A和气隙d变化量之间的关系如图5-30。在1um~10mm之间，精度K为0.0um~10um。为提高精度，应采取较高的电流变化精度。5电磁波的影响和热场的干燥过程的草药在微波场和热空气6电磁污染和我