电容式传感器 课件

电容式传感器一、电容传感器简介二、电容传感器的分类及工作原理三、电容的选择四、放大电路一、电容传感器简介电容传感器是一种将被测非电量的变化转换成电容式变化的传感器。电容式传感器具有灵敏度高、稳定性好、结构简单、使用寿命长以及可以进行非接触测量等特点，非常适合在高潮湿、高尘埃及超高低温等恶劣环境下长期使用，广泛应用于压力、差压、液压、振动、加速度、成分含量等方面的测量。

二、电容式传感器的分类及工作原理分类：按工作方式分类1.变极距型电容传感器2.变面积型电容传感器3.变介电常数型电容传感器dSε

固定极板A活动极板B初始电容:若极距缩小△d非线性关系若△d/d<<1时，则上式可简化为:最大位移应小于间距的1/10差动式改善其非线性两极板的有效作用面积及极板间的介质保持不变，则电容量C随极距d按非线性关系变化，分析动极板2未动时传感器初始电容当动极板2移动x值后，结论极距变化型电容传感器可实现动态非接触测量，动态响应特性好，灵敏度和精度极高（可达nm级），适应于较小位移（1nm～1m）的精度测量。但传感器存在原理上的非线性误差，线路杂散电容（如电缆电容、分布电容等）的影响显著，为改善这些问题而需配合使用的电子电路比较复杂极距变化型电容传感器的灵敏度与极距的平方成正比，极距越小灵敏度越高。但极距过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质。原理上的非线性，要修正。

2变面积式电容传感器面积变化式电容传感器在工作时的极距、介质等保持不变，被测量的变化使其有效作用面积发生改变。变面积式电容传感器的两个极板中，一个是固定不动的，称为定极板，另一个是可移动的，称为动极板。面积变化型电容传感器原理当动极板相对于定极板沿着长度方向平移时，其电容变化量化为△C与△x间呈线性关系固定极板A活动极板B平板形位移电容传感器设两个相同极板的长为b，宽为a，极板间距离为d，当动极板移动x后，电容Cx也随之改变。电容的相对变化量和灵敏度为圆柱形线位移传感器角位移形式的电容传感器当动极板有一角位移时，两极板的相对面积A也发生改变，导致两极板间的电容量发生变化当时当时 推导过程电容与角位移成线性关系。其灵敏度为变面积式电容传感器的输出是线性的，灵敏度K是一常数。3变介电常数型电容式传感器当L=0时，传感器的初始电容当被测电介质进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为：电容变化量与电介质移动量L呈线性关系三、电容的选择常见的电容材料：云母电容：用金属箔或者在云母片上喷涂银层做电极板，极板和云母一层一层叠合后，再压铸在胶木粉或封固在环氧树脂中制成。它的特点是介质损耗小，绝缘电阻大、温度系数小，适宜用于高频电路。陶瓷电容：用陶瓷做介质，在陶瓷基体两面喷涂银层，然后烧成银质薄膜做极板制成。它的特点是体积小，耐热性好、损耗小、绝缘电阻高，但容量小，适宜用于高频电路。铁电陶瓷电容：容量较大，但是损耗和温度系数较大，适宜用于低频电路。薄膜电容：结构和纸介电容相同，介质是涤纶或者聚苯乙烯。涤纶薄膜电容，介电常数较高，体积小，容量大，稳定性较好，适宜做旁路电容。聚苯乙烯薄膜电容，介质损耗小，绝缘电阻高，但是温度系数大，可用于高频电路。2023/2/622四·电容式传感器的转换电路电容传感器将被测量的变化转换成电容的变化后，还需由后接的转换电路将电容的变化进一步转换成电压、电流或频率的变化。2023/2/623转换电路的组成部分1．交流电桥2．调频电路3．运算放大式电路4．脉冲宽度调制电路5．二极管双T型交流电桥2023/2/625分析变压器的两个二次绕组L1、L2与差动电容传感器的两个电容C1、C2作为电桥的4个桥臂，由高频稳幅的交流电源为电桥供电。电桥的输出为一调幅值，经放大、相敏检波、滤波后，获得与被测量变化相对应的输出，最后为仪表显示记录。2023/2/626调频电路把传感器接入调频振荡器的LC谐振网络中，被测量的变化引起传感器电容的变化，继而导致振荡器谐振频率的变化。频率的变化经过鉴频器转换成电压的变化，经过放大器放大后输出。2023/2/627调频电路的特点测量电路的灵敏度很高，可测0.01m的位移变化量，抗干扰能力强（加入混频器后更强），缺点是电缆电容、温度变化的影响很大，输出电压U0与被测量之间的非线性一般要靠电路加以校正，因此电路比较复杂。Cx是传感器电容C是固定电容u0是输出电压信号

运算放大器式电路原理图uCACx～u0由运算放大器工作原理可知式中“负号”表示输出电压的相位与电源电压反相。上式说明与d成线性关系2023/2/630脉冲宽度调制电路脉冲宽度调制电路（PWM）是利用传感器的电容充放电使电路输出脉冲的占空比随电容式传感器的电容量变化而变化，然后通过低通滤波器得到对应于被测量变化的直流信号。2023/2/6312023/2/632特点能获得线性输出；双稳态输出信号一般为100kHz～1MHz的矩形波，所以直流输出只需经滤波器简单引出，不需要解调器，即能获得直流输出。电路采用稳定度较高的直流电源，这比其他测量线路中要求高稳定度的稳频、稳幅的交流电源易于做到。如果将双稳态触发器Q端的电压信号送到计算机的定时、计数引脚，则可以用软件来测出占空比q，从而计算出ΔC的数值。这种直接采用数字处理的方法不受电源电压波动的影响2023/2/633二极管双T型交流电桥二极管双T型交流电桥电路原理图。e是高频电源，它提供幅值为Ui的对称方波，VD1、VD2为特性完全相同的2个二极管，R1=R2=R，C1、C2为传感器的两个差动电容。2023/2/634电容式传感器的应用电容式传感器不但应用于位移、振动、角度、加速度及荷重等机械量的精密测量，还广泛应用于压力、差压力、液位、料位、湿度、成分含量等参数的测量。2023/2/6351．电容式接近开关

2．电容式油量表3．电容式差压传感器4．电容测厚仪2023/2/636电容式接近开关1—检测极板2—充填树脂3—测量转换电路4—塑料外壳

5—灵敏度调节电位器6—工作指示灯7—信号电缆2023/2/637工作过程（1）检测极板设置在接近开关的最前端，测量转换电路安装在接近开关壳体内，用介质损耗很小的环氧树脂填充、灌封。当没有物体靠近检测极时，检测板与大地间的电容量C非常小，它与电感L构成高品质因数（Q）的LC振荡电路，Q=1（ωCR）。当被检测物体为地电位的导电体（如与大地有很大分布电容的人体、液体等）时，检测极板对地电容C增大，LC振荡电路的Q值将下降，导致振荡器停振。2023/2/638工作过程（2）当不接地、绝缘被测物体接近检测极板时，由于检测极板上施加有高频电压，在它附近产生交变电场，被检测物体就会受到静电感应，而产生极化现象，正负电荷分离，使检测极板的对地等效电容量增大，使LC振荡电路的Q值降低。对能量损耗较大的介质（如各种含水有机物），它在高频交变极化过程中是需要消耗一定能量的，该能量是由LC振荡电路提供的，必然使Q值进一步降低，振荡减弱，振荡幅度减小。当被测物体靠近到一定距离时，振荡器的Q值低到无法维持振荡而停振。根据输出电压U0的大小，可大致判定被测物接近的程度。2023/2/639电容式接近开关2023/2/640电容式油量表1—油料2—电容器3—伺服电机4—减速器5—指示表盘2023/2/641工作原理当油箱中注入油时，液位上升至h处，电容的变化量ΔCX与h成正比，电容为CX=CX0+ΔCX。此时，电桥失去平衡，电桥的输出电压U0经放大后驱动伺服电动机，由减速箱减速后带动指针顺时针偏转，同时带动RP滑动，使RP的阻值增大，当RP阻值达到一定值时，电桥又达到新的平衡状态，U0=0，伺服电动机停转，指针停留在转角θX1处。可从油量刻度盘上直接读出油位的高度h。当油箱中的油位降低时，伺服电动机反转，指针逆时针偏转，同时带动RP滑动，使其阻值减少。当RP阻值达到一定值时，电桥又达到新的平衡状态，U0=0，于是伺服电动机再次停转，指针停留在转角θX2处。如此，可判定油箱的油量。2023/2/642电容式差压传感器1—弹性膜片2—凹玻璃圆片3—金属涂层

4—输出端子5—空腔6—过滤器7—壳体2023/2/643工作原理当被测压力通过过滤器6进入空腔5时，金属弹性膜片1在两侧压力差作用下，将凸向压力低的一侧。膜片和两个镀金玻璃圆片2之间的电容量发生变化，由此可测得压力差。这种传感器分辨率很高，常用于气、液的压力或压差及液位和流量的测量。2023/2/644电容式差压变送器外形2023/2/645电容测厚仪1