JJG 28-2019平晶

中华人民共和国国家计量检定规程

JJG28—2019

平晶

OpticalFlats

2019-09-27发布2020-03-27实施

国家市场监督管理总局发布

JJG28—2019

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平晶检定规程ॣJJG28—2019ॣ

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VerificationRegulationofOpticalFlatsॣৣ

归口单位全国几何量工程参量计量技术委员会

:

主要起草单位湖南省计量检测研究院

:

中国计量科学研究院

参加起草单位苏州慧利仪器有限责任公司

:

中国兵器工业第研究所

205

本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释

JJG28—2019

本规程主要起草人

:

陈勇湖南省计量检测研究院

()

张恒中国计量科学研究院

()

曾琰湖南省计量检测研究院

()

刘丽娟湖南省计量检测研究院

()

参加起草人

:

韩森苏州慧利仪器有限责任公司

()

柏文琦湖南省计量检测研究院

()

王生云中国兵器工业第研究所

(205)

JJG28—2019

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

计量性能要求

4…………(3)

平行度

4.1………………(3)

工作面平面度

4.2………………………(3)

非工作面的平面度

4.3…………………(4)

稳定性

4.4………………(4)

通用技术要求

5…………(5)

外观及表面质量

5.1……………………(5)

外形尺寸

5.2……………(5)

长平晶十字刻线位置

5.3………………(6)

两端面夹角

5.4………………………(6)

工作面与圆柱母线的垂直度

5.5………(7)

计量器具控制

6…………(7)

检定项目和主要检定设备

6.1…………(7)

检定条件

6.2……………(7)

检定方法

6.3……………(9)

检定结果处理

6.4………………………(12)

检定周期

6.5……………(12)

附录平晶表面疵病的尺寸及数量

A…………………(13)

附录相移式激光等厚干涉测量法

B…………………(15)

附录等厚干涉测量法

C………………(18)

附录等倾干涉测量法

D………………(20)

附录四面互检法检定长平晶数据处理示例

E………(22)

附录长平晶自重变形量

F……………(25)

附录检定证书和检定结果通知书内页格式

G………(27)

Ⅰ

JJG28—2019

引言

通用计量术语及定义国家计量检定规程编写

JJF1001—2011《》、JJF1002—2010《

规则测量不确定度评定与表示共同构成本规程修订工作的基

》、JJF1059.1—2012《》

础性系列技术法规

。

本规程与平晶相比除编辑性修改外主要技术变化如下

JJG28—2000《》,,:

更正了平晶的印刷错误

———JJG28—2000《》:

中式u5u更正为u5u见现版

JJG28—20006.3.8.2b)(6):2=1,:b=a[

1212

式

(5)];

附录中表的表头第列EiLiLnKn更正为Ei

JJG28—2000CC.18:=(/),:=

LiLnKn见现版表

(/)Δ(E.1);

æd2öædö2

附录中式Fç÷F更正为Fç÷F

JJG28—2000D(D.2):Δ=èø×96,:Δ=èø×96

9696

见现版式

[(C.2)]。

长平晶两次周期检定平面度之差从放宽为见

———310mm0.020μm0.030μm(

4.4)。

依据量块取消了等量块改用等量块见

———JJG146—2011《》,6,5(6.3.2)。

取消了平行平晶平行度在激光平面等厚干涉仪上检定的方法

———。

增加相移式等厚测量装置的结构概述测量方法见附录等相关内容

———、(B)。

增加标准平晶F范围内的平面度计算方法见附录

———96(C)

本规程的历次版本发布情况

:

———JJG28—2000;

———JJG28—1991;

———JJG28—1980。

Ⅱ

JJG28—2019

平晶检定规程

1范围

本规程适用于平晶包括平面平晶平行平晶和长平晶的首次检定后续检定和

(、)、

使用中检查

。

2引用文件

本规程引用下列文件

:

无色光学玻璃

GB/T903—2019

平面平晶

JB/T7401—1994

平行平晶

JB/T7402—1994

光学和光子学光学元件和光学系统的干涉仪测量第

ISO14999-4:2015(E)4

部分在中所明确规定的公差说明和评价

:ISO10110(Opticsandphotonics—Interfero-

metricmeasurementofopticalelementsa