GB/T 41072-2021表面化学分析电子能谱紫外光电子能谱分析指南

ICS7104040

CCSG.04.

中华人民共和国国家标准

GB/T41072—2021

表面化学分析电子能谱

紫外光电子能谱分析指南

Surfacechemicalanalysis—Electronspectroscopies—Guidelinesfor

ultravioletphotoelectronspectroscopyanalysis

2021-12-31发布2022-04-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T41072—2021

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

符号和缩略语

4……………1

概述

5………………………2

能级关系

5.1……………2

仪器结构

5.2……………2

测试过程

5.3……………3

样品准备

6…………………5

概述

6.1…………………5

材料类型

6.2……………5

样品形态

6.3……………6

样品安装

6.4……………6

样品处理

6.5……………7

仪器校准

7…………………7

概述

7.1…………………7

仪器检查

7.2……………7

仪器能量标校准

7.3……………………8

仪器设定

7.4……………8

样品荷电评估

8……………9

采集的谱

8.1C1sXPS…………………9

荷电评估

8.2……………9

全扫描与窄扫描

9…………………………9

概述

9.1…………………9

数据采集

9.2……………9

数据分析

9.3……………10

测试报告

10………………12

附录资料性参考物质面扫描离子束刻蚀示例

A()Au………………14

附录资料性不同激发光源下的光子能量

B()UV……………………15

参考文献

……………………16

Ⅰ

GB/T41072—2021

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件起草单位中国科学院化学研究所中山大学

:、。

本文件主要起草人赵志娟刘芬邹业谢方艳陈建章小余

:、、、、、。

Ⅲ

GB/T41072—2021

引言

光电子能谱技术是研究固体材料表面的最重要和有效分析方法之一配备于射线光电子能谱

。X

仪器上的紫外光电子能谱可用于获得固体材料价电子的能量分布信息是研究材料表面逸出功和价带

,

结构态密度的有效方法其能量分辨可以达到约在固体物理表面科学与材料科学等领域

(),100meV,、

有重要应用随着半导体器件光催化材料等研究越来越广泛其制备与性能调控要求对材料的价电子

。、,

能带结构进行准确测量

。

Ⅳ

GB/T41072—2021

表面化学分析电子能谱

紫外光电子能谱分析指南

1范围

本文件提供了仪器操作者对固体材料表面进行紫外光电子能谱分析的指导包括样品处理谱仪校

,、

准和设定谱图采集以及最终报告

、。

本文件适用于配备有真空紫外光源的射线光电子能谱仪的操作者分析典型样品

X。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本

,;,()

文件

。

表面化学分析词汇

GB/T22461—2008

表面化学分析射线光电子能谱仪能量标尺的校准

GB/T22571—2017X

检测和校准实验室能力的通用要求

GB/T27025—2019

3术语和定义

界定的术语和定义适用于本文件

GB/T22461—2008。

4符号和缩略语

下列符号和缩略语适用于本文件

。

角分辨光电子能谱

ARPES:(angleresolvedphotoemissionspectroscopy)

电子亲和势

EA:(electronaffinity)

E光电子结合能

b:(bindingenergyofphotoelectron)

E导带底

CBM: