标准解读

《GB/T 38341-2019 微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法》是一项国家标准，主要针对MEMS（微机电系统）器件在各种环境条件下的可靠性测试制定了具体的方法和要求。该标准旨在通过一系列标准化的试验流程来评估MEMS器件在不同使用场景下能否保持其性能稳定性和功能完整性。

根据此标准，可靠性综合环境试验包括但不限于温度循环、湿度储存、机械冲击、振动测试等多个方面。这些试验模拟了实际应用中可能遇到的各种极端或常规环境条件，以检验MEMS器件是否能够承受并在这样的条件下正常工作。例如，在温度循环试验中，MEMS器件需经历从低温到高温再到低温的变化过程，以此来检测其在温度快速变化时的表现；而在振动测试中，则是考察器件抵抗外界物理震动的能力。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2019-12-31 颁布
  • 2020-04-01 实施
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GB/T 38341-2019微机电系统(MEMS)技术MEMS器件的可靠性综合环境试验方法_第1页
GB/T 38341-2019微机电系统(MEMS)技术MEMS器件的可靠性综合环境试验方法_第2页
GB/T 38341-2019微机电系统(MEMS)技术MEMS器件的可靠性综合环境试验方法_第3页
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文档简介

ICS31200

L55.

中华人民共和国国家标准

GB/T38341—2019

微机电系统MEMS技术

()

MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

ThereliabilitytestmethodsofMEMSinintegratedenvironments

2019-12-31发布2020-04-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T38341—2019

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

试验方法

4…………………1

预处理

4.1………………1

温度湿度试验

4.2、………………………2

机械试验

4.3……………9

耦合试验

4.4……………12

失效结果处理

5……………15

参考文献

……………………16

Ⅰ

GB/T38341—2019

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国微机电技术标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC336)。

本标准起草单位东南大学华为技术有限公司佛山市川东磁电股份有限公司中机生产力促进中

:、、、

心浙江博亚精密机械有限公司沈阳国仪检测技术有限公司无锡华润上华科技有限公司北京大学

、、、、、

中北大学中国科学院电子学研究所北京必创科技股份有限公司

、、。

本标准主要起草人王磊黄创君于振毅陆学贵朱悦夏长奉黄庆安龙克文石云波李海斌

:、、、、、、、、、、

肖昆辉郑凤杰张威程逸轩马书嫏陈得民

、、、、、。

Ⅲ

GB/T38341—2019

微机电系统MEMS技术

()

MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

1范围

本标准规定了器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理

MEMS。

本标准适用于需要进行可靠性试验的器件

MEMS。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

微机电系统技术术语

GB/T26111(MEMS)

3术语和定义

界定的术语和定义适用于本文件

GB/T26111。

4试验方法

41预处理

.

411概述

..

试验前应对器件进行预处理若器件使用时不需要焊接或者使用者认定焊接不会对器件产生影

。

响则无需进行预处理

,。

412目的

..

本试验模拟器件在实际使用时因为焊接所经历的各种环境的影响由于焊接工艺过程中温度与湿

。

度影响有可能造成器件产生热失配应力水汽蒸发造成的大应变以及有机物污染等失效因此有焊

、,。,

接需要的器件应进行此试验

。

413设备

..

试验设备包括一台能在规定温度下恒温的温控试验箱一台可在规定温度和湿度下工作的浸湿设

、

备以及一台能够达到规定温度的回流焊设备

,。

414程序

..

4141试验箱的维护和初始处理

...

试验计时开始前温度试验箱应保留足够的升温时间以保证所有待测样品温度尽量均匀浸湿设

,

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