标准解读
《GB/T 32999-2016 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》是一项国家标准,主要针对表面化学分析领域中利用机械轮廓仪通过栅网复型技术来测定材料表面在离子束溅射过程中的去除速率。该标准适用于各种固体材料,尤其是那些需要进行精确表面深度剖析的样品。
标准详细规定了实验所需的仪器设备、测试条件以及操作步骤。其中,机械轮廓仪是一种能够高精度地测量物体表面形貌变化的工具,在此过程中扮演关键角色;而栅网复型法则是一种特殊的样本制备方法,它允许研究人员更准确地追踪并量化由于溅射作用导致的表面形态改变情况。
按照该标准执行时,首先需准备一个具有已知结构特征(如特定图案或纹理)的标准参考样品,并在其上覆盖一层薄金属膜形成栅网。接着使用离子束对该样品进行处理,同时利用机械轮廓仪定期记录下因溅射引起的变化。通过对这些数据进行分析,可以计算出单位时间内材料被移除的具体量值,即所谓的“溅射速率”。
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....
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- 现行
- 正在执行有效
- 2016-10-13 颁布
- 2017-09-01 实施





文档简介
ICS7104040
G04..
中华人民共和国国家标准
GB/T32999—2016/ISO/TR223352007
:
表面化学分析深度剖析用机械轮
廓仪栅网复型法测量溅射速率
Surfacechemicalanalsis—Dethrofilin—Measurementofsutterinrate
yppgpg:
mesh-replicamethodusingamechanicalstylusprofilometer
(ISO/TR22335:2007,IDT)
2016-10-13发布2017-09-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T32999—2016/ISO/TR223352007
:
目次
前言
…………………………Ⅲ
引言
…………………………Ⅳ
范围
1………………………1
术语和定义
2………………1
符号和缩略语
3……………1
原理
4………………………2
方法
5………………………2
获取栅网复型图形
5.1…………………2
用轮廓仪测量溅射坑深度
5.2…………7
计算溅射速率
5.3………………………9
实验室间联合比对结果总结
6……………9
附录资料性附录试样表面和离子枪的几何结构配置
A()……………10
附录资料性附录栅网复型图形与网孔尺寸的关系
B()………………13
参考文献
……………………16
Ⅰ
GB/T32999—2016/ISO/TR223352007
:
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准使用翻译法等同采用表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网
ISO/TR22335:2007《
复型法测量溅射速率
》。
本标准由全国微束标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC38)。
本标准负责起草单位北京师范大学分析测试中心清华大学分析中心
:、。
本标准主要起草人吴正龙姚文清
:、。
Ⅲ
GB/T32999—2016/ISO/TR223352007
:
引言
本标准给出了利用俄歇电子能谱和射线光电子能谱测定深度剖析离子溅射速率的
(AES)X(XPS)
方法试样的离子溅射面积范围为22首先在试样上放置一个合适大小并和试样表
,0.4mm~3.0mm。
面接触的栅网通过离子溅射在试样表面上复制一个栅网图形然后通过机械轮廓仪测量出溅射深度
,。,
假设离子溅射速率恒定则溅射速率等于溅射深度除以溅射时间本标准提供了一种将深度剖析中离
,。
子溅射时间转换为溅射深度的方法
。
Ⅳ
GB/T32999—2016/ISO/TR223352007
:
表面化学分析深度剖析用机械轮
廓仪栅网复型法测量溅射速率
1范围
本标准规定了利用俄歇电子能谱和射线光电子能谱测定深度剖析离子溅射速率的
(AES)X(XPS)
方法试样的离子溅射面积范围为22本标准只适用于横向均匀的体相材料或单层
,0.4mm~3.0mm。
材料其离子溅射速率由溅射深度与溅射时间确定溅射深度通过机械探针轮廓仪测得
,,。
本标准提供了一种将深度剖析中的离子溅射时间转换为溅射深度的方法并假设溅射速率恒定
,。
本方法不是为扫描探针显微系统设计的因此不能用扫描探针显微系统评价该方法本方法不适用于
,。
溅射面积小于2的情况也不适用于溅射诱导的表面粗糙度与被测区域的溅射深度相比较明显
0.4mm,
的情况
。
2术语和定义
下列术语和定义适用于本文件
。
21
.
溅射时间sputteringtime
离子轰击试样表面的时间
。
22
.
溅射深度sputtereddepth
被分析试样原始表面与经深度剖析剥离一定量物质后的表面之间的垂直距离[1]
。
23
.
溅射速率sputteringrate
溅射深度与溅射时间的比值
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