标准解读

《GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法》是一项国家标准，旨在规定蓝宝石衬底片的弯曲度测量的具体步骤与要求。该标准适用于直径在2英寸至8英寸范围内的圆形蓝宝石衬底片以及边长不超过8英寸的方形或矩形蓝宝石衬底片的弯曲度检测。

根据此标准，首先需要准备符合规格要求的待测样品，并确保其表面清洁无污染。测试过程中使用的是三点支撑法来测定衬底片的最大偏离值，即通过放置于特定距离上的两个平行支撑点之间并让第三个接触点轻轻触碰样品中间部位的方式来进行。为了保证结果准确性，整个操作应在温度稳定且洁净度较高的环境中进行。

对于数据处理部分，《GB/T 31353-2014》详细说明了如何计算弯曲度数值的方法：先记录下每个位置上测量得到的最大偏移量，然后取这些数值中的最大值作为最终的弯曲度结果。此外，还提供了关于重复性和再现性指标的要求，以确保不同实验室间能够获得一致可靠的测试结果。

按照本标准执行时还需注意以下几点：

  • 所有用于测量的工具和设备都必须经过校准，并保持良好的工作状态。
  • 测试前应仔细检查样品是否存在裂纹或其他可能影响测试结果的缺陷。
  • 每次更换新的样品或者调整支撑点间距后，都需要重新校正仪器设置。


如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。

....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-12-31 颁布
  • 2015-09-01 实施
©正版授权
GB/T 31353-2014蓝宝石衬底片弯曲度测试方法_第1页
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文档简介

ICS7704099

H21..

中华人民共和国国家标准

GB/T31353—2014

蓝宝石衬底片弯曲度测试方法

Testmethodsforbowofsapphiresubstrates

2014-12-31发布2015-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T31353—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会和全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准起草单位江苏协鑫软控设备科技发展有限公司中国科学院上海光学精密机械研究所

:、、

北京合能阳光新能源技术有限公司

。

本标准主要起草人薛抗美魏明德黄修康杭寅林清香肖宗杰

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T31353—2014

蓝宝石衬底片弯曲度测试方法

1范围

本标准规定了蓝宝石切割片研磨片抛光片以下简称蓝宝石衬底片弯曲度的测试方法

、、()。

本标准适用于直径厚度为不小于的蓝宝石衬底片弯曲度的测试

50.8mm~304.8mm,200μm。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T2828.11:(AQL)

硅片弯曲度测试方法

GB/T6619

半导体材料术语

GB/T14264

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

31

.

弯曲度bow

自由无夹持晶片中位面的中心点与中位面基准平面间的偏离

。

32

.

中位面基准平面mediansurfacereferenceplane

由指定的小于晶片标称直径的直径圆周上的个等距离点决定的平面

3。

4方法提要

41接触式测试

.

将蓝宝石衬底片放置在基准环的个支点上支点形成一个基准平面利用低压力位移指示器测

3,3,

试蓝宝石衬底片中心点偏离基准平面的距离翻转衬底片重复测试两次测试值之差的一半表示衬底

,,。

片的弯曲度

。

42非接触式测试

.

将蓝宝石衬底片放置在基准环的个支点上个支点形成一个基准平面利用非接触式位移传感

3,3,

器测试蓝宝石衬底片中心点偏离基准平面的距离翻转衬底片重复测试两次测试值之差的一半表示

,,。

衬底片的弯曲度

。

43白光干涉式测试

.

激光照射蓝宝石衬底片表面光经过反射相互叠加干涉干涉图经光学成像系统记录开始高低形

,,,

貌测试物镜在轴方向上不断微小的移动在每个移动位置上光学成像系统进行拍照收集

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