标准解读

《GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片》是一项国家标准，主要针对用于电子器件、光学元件等领域的蓝宝石单晶衬底抛光片的质量要求进行了规定。该标准涵盖了产品的分类与标记、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的内容。

在产品分类上，根据其用途不同，蓝宝石单晶衬底抛光片被分为不同类型，并且每种类型都有相应的规格尺寸要求。此外，对于材料的晶体取向也有明确的规定，以确保满足特定应用领域的需求。

技术要求方面，《GB/T 30858-2014》对蓝宝石单晶衬底抛光片提出了严格的物理性能指标，包括但不限于外观质量、几何尺寸偏差、表面粗糙度、晶体完整性及纯度等。其中特别强调了表面平整度的重要性，因为这对于后续加工或直接使用都非常关键。

为了验证这些技术参数是否达标，标准还详细列出了相应的检测方法。这不仅包括了常规的视觉检查，也涉及到利用专业仪器进行更精确测量的技术手段。比如通过原子力显微镜来测定表面粗糙度值；采用X射线衍射仪测试晶体结构等。

关于检验规则，《GB/T 30858-2014》明确了抽样方案、合格判定条件等内容，确保出厂前每个批次的产品都能达到规定的质量水平。同时，还给出了不合格品处理的具体指导原则。

最后，在包装、标志、运输和贮存部分，则是对如何妥善保护这些精密材料提出了建议，比如应使用防静电材料包装、避免强烈光照直射等措施，以防止在物流过程中造成损坏。


如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。

....

查看全部

  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-07-24 颁布
  • 2015-04-01 实施
©正版授权
GB/T 30858-2014蓝宝石单晶衬底抛光片_第1页
GB/T 30858-2014蓝宝石单晶衬底抛光片_第2页
GB/T 30858-2014蓝宝石单晶衬底抛光片_第3页
免费预览已结束，剩余21页可下载查看

下载本文档

GB/T 30858-2014蓝宝石单晶衬底抛光片-免费下载试读页

文档简介

ICS29045

H83.

中华人民共和国国家标准

GB/T30858—2014

蓝宝石单晶衬底抛光片

Polishedmono-crystallinesapphiresubstrateproduct

2014-07-24发布2015-04-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T30858—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会及材料分技术委员会

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并归口

203/SC2)。

本标准主要起草单位协鑫光电科技控股有限公司中国科学院上海光机所浙江昀丰新能源科技

:、、

有限公司浙江上城科技有限公司江苏吉星新材料有限公司

、、。

本标准主要起草人魏明德黄朝晖刘逸枫杭寅徐永亮袁忠纯蔡金荣

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T30858—2014

蓝宝石单晶衬底抛光片

1范围

本标准规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的要求试验方法检验规则标志包装运输储存质量证

、、、、、、、

明书与订货单或合同内容

()。

本标准适用于单面抛光蓝宝石衬底片以下简称蓝宝石衬底片

()。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

产品几何技术规范表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T1031(GPS)

半导体单晶晶向测定方法

GB/T1555

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T2828.11:(AQL)

硅片弯曲度测试方法

GB/T6619

硅片翘曲度非接触式测试方法

GB/T6620

硅抛光片表面质量目测检验方法

GB/T6624

硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法

GB/T13387

硅片直径测量方法

GB/T14140

半导体材料术语

GB/T14264

硅抛光片表面颗粒测试方法

GB/T19921

蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

GB/T30857

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

31

.

蓝宝石sapphire

可以用来外延生长的有确定晶向的人工生长单晶氧化铝材料

、。

32

.

衬底substrate

用于生长硅氮化镓或其他材料的抛光蓝宝石晶片

、。

33

.

局部厚度变化localthicknessvariation

当蓝宝石晶片的背面为理想平面时在晶片表面的局部区域内相对于特定参考平面的最大偏差

,,,

通常报告晶片上所有局部定域的最大值

。

34

.

蓝宝石晶棒sapphireingot

依特定轴向生长的

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
  • 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
  • 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。

最新文档

评论

0/150

提交评论