标准解读

《GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》是一项国家标准，旨在规定蓝宝石衬底片的厚度及其变化的测量方法。该标准适用于直径不大于300mm、厚度范围在10μm至2mm之间的蓝宝石衬底片。

根据此标准，对于蓝宝石衬底片的厚度测量主要采用接触式和非接触式两种方式。接触式测量通常使用千分尺等工具直接对样品进行测量；而非接触式则包括但不限于激光干涉法、白光干涉法等光学技术手段，这些方法能够提供更高的精度，并且不会因为物理接触而可能损伤样品表面。选择哪种方法取决于具体的应用场景以及所需的测量精度。

针对厚度变化（也称为平面度或翘曲）的评估，《GB/T 30857-2014》推荐了基于光学原理的技术，如利用激光扫描来获得整个衬底面上的高度分布图，进而分析其平坦程度或形变情况。此外，还提出了关于如何正确设置实验条件、处理数据等方面的具体指导原则，确保不同实验室之间结果的一致性和可比性。

该文件详细描述了测试前准备工作的步骤，比如清洗样品表面以去除杂质，确保测量区域干净无损；同时明确了记录与报告要求，包括但不限于原始数据记录格式、计算公式应用示例等内容，帮助使用者更好地理解和执行相关操作流程。通过遵循本标准所列的各项指南，可以有效提高蓝宝石衬底材料质量控制水平，促进半导体及相关行业的发展。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-07-24 颁布
  • 2015-04-01 实施
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GB/T 30857-2014蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法_第1页
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文档简介

ICS77040

H21.

中华人民共和国国家标准

GB/T30857—2014

蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

Standardtestmethodforthicknessandthicknessvariationonsapphiresubstrates

2014-07-24发布2015-04-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T30857—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会及材料分技术委员会

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并归口

203/SC2)。

本标准主要起草单位协鑫光电科技控股有限公司中国科学院上海光机所浙江昀丰新能源科技

:、、

有限公司

。

本标准主要起草人魏明德黄朝晖刘逸枫杭寅徐永亮

:、、、、。

Ⅰ

GB/T30857—2014

蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

1范围

本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片研磨片抛光片简称衬底

、、(

片厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法

)。

本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

半导体材料术语

GB/T14264

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

31

.

5点厚度变化5pointsthicknessvariation

TV5

衬底片上特定个点的厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值称为衬底片的点厚度变化

55。

4方法概述

41分立点式测量

.

在衬底片中心点和距边圆周上的个对称位置点见图测量衬底片厚度中心点厚度作为

2mm4(1)。

衬底片的标称厚度个厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值即为衬底片的点厚度变化

。55。

说明

:

距圆边

1、4、5———2mm;

中心点

2———;

距平边

3———2mm。

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