GB/T 28632-2012表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定

ICS7104040

G04..

中华人民共和国国家标准

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

表面化学分析俄歇电子能谱和

X射线光电子能谱横向分辨率测定

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-ray

photoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution

(ISO18516:2006,IDT)

2012-07-31发布2013-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

目次

前言…………………………

Ⅰ

范围………………………

11

规范性引用文件…………………………

21

术语定义符号和缩略语………………

3、、1

一般信息…………………

42

直边法测量横向分辨率…………………

53

栅格法测量横向分辨率…………………

68

金岛法测量横向分辨率…………………

710

附录资料性附录带聚焦射线束斑的仪器横向分辨率测定……………

A()XXPS14

附录资料性附录二次电子线扫描谱横向分辨率测定……………

B()16

附录资料性附录俄歇电子线扫描谱横向分辨率测定……………

C()17

参考文献……………………

19

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准采用翻译法等同采用表面化学分析俄歇电子能谱和射线光电子能

ISO18516:2006《X

谱横向分辨率测定

》。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

本标准起草单位上海市计量测试技术研究院纳米技术及应用国家工程研究中心

:、。

本标准主要起草人徐建陆敏吴立敏朱丽娜辛立辉何丹农张冰

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T28632—2012/ISO185162006

:

表面化学分析俄歇电子能谱和

X射线光电子能谱横向分辨率测定

1范围

本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和射线光电子能谱仪横向分辨率的方法直边

X。

法适用于横向分辨率预期值大于的仪器栅格法适合于横向分辨率预期值大于小于

1μm。20nm,

的仪器金岛法则适用于横向分辨率预期值小于的仪器

1μm。50nm。

附录附录和附录给出了测量横向分辨率的带图的实例

A、BC。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

表面化学分析词汇

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

3术语定义符号和缩略语

、、

31术语和定义

.

界定的以及下列术语和定义均适用本文件

GB/T22461—2008。

311

..

横向分辨率resolutionlateral

,

在样品表面平面内或在与成像光轴成直角的平面内能可信地区分确定成分改变时所测试的距离

,。

注1应说明平面的选取

:。

注2实际中横向分辨率可以认识为样品上非常小的发射点发出的强度分布的半高宽或沿着样

:,:(i)(FWHM)(ii)

品上与要分辨性质有关的信号且含有意义明确的台阶函数部分进行线扫描时强度在和两点之间

,12%88%

的距离对高斯型强度分布而言这两个值是相等的对其他分布而言选择其他参数也许更合适对台阶

,,。,。

函数在线扫描谱中常应用强度在和两点之间的距离或和两点之间的距离对高斯分布

,20%80%16%84%。

函数后一对给出宽度

,2σ。

定义

GB/T22461—2008,5.255

注3对本标准而言首选样品的平面测量

:,。

32符号和缩略语

.

俄歇电子能谱

AES———;

d入射在样品表面上电子束轴对称束径