标准解读

《GB/T 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则》是一项国家标准，旨在为微机电系统的性能评估提供指导。该标准适用于MEMS器件的设计、制造和测试过程中的质量控制与性能评价。根据这项标准，微机械量的评定需要遵循一系列原则和技术要求，以确保测量结果的准确性、一致性和可比性。

首先，标准定义了微机械量的基本概念及其分类，包括但不限于力、位移、速度、加速度等物理量。接着，详细描述了进行微机械量评定时应考虑的因素，比如环境条件（温度、湿度）、设备精度以及测试方法的选择等。此外，还特别强调了在不同应用场景下选择合适参数的重要性，并提供了如何根据具体需求设定合理评价指标的方法论。

对于数据处理部分，《GB/T 26112-2010》给出了统计分析的基本框架，建议使用平均值、标准差等统计量来表征测量数据的集中趋势与离散程度；同时，也提到了异常值检测及剔除的相关规则。通过这种方式，可以有效提高实验数据的可靠性和有效性。

最后，该标准还涵盖了文档记录的要求，指出所有与测试相关的原始数据、计算过程以及最终结论都应当被妥善保存并易于追溯，这对于保证科学研究的透明度和再现性至关重要。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2011-01-10 颁布
  • 2011-10-01 实施
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文档简介

ICS31200

L55.

中华人民共和国国家标准

GB/T26112—2010

微机电系统MEMS技术

()

微机械量评定总则

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

Generalrulesfortheassessmentofmicro-mechanicalparameters

2011-01-10发布2011-10-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T26112—2010

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国微机电技术标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC336)。

本标准起草单位天津大学中机生产力促进中心西安交通大学大连理工大学太原理工大学中

:、、、、、

原工学院

。

本标准主要起草人胡晓东丁红宇刘伟张苹景蔚宣蒋庄德刘冲张文栋赵则祥

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26112—2010

微机电系统MEMS技术

()

微机械量评定总则

1范围

本标准规定了微机械量的评定基本原则评定要素评定程序评定方法以及评定规则

、、、。

本标准适用于企业研究机构检测机构从事微机电技术及产品的研究设计生产检测及使用

、、、、、。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅所注日期的版本适用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

微机电系统技术术语

GB/T26111(MEMS)

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T26111。

31

.

微机械量micro-mechanicalparameters

泛指一切与微机械性质和状态相关的物理量包括几何量流量温度声学力学和运动等物理量

,、、、、;

由于几何量流量温度声学等物理量进行了专门的分类因此微机械量是指位移速度加速度振动

、、、,、、、

等运动特性参量以及与运动特性相关的力学参量

,。

32

.

微位移Microscaledisplacement

描述质点在微米级尺度下位置变化的物理量其大小等于起点至终点的直线距离方向由起点指向

,,

终点

。

注1微结构在受到一定激励的条件下会产生位置的变化典型的位置变化有两种形式平移和转动分别对应线位

:,,,

移和角位移

。

注2如果将微结构基底作为一个参考平面与这个参考平面面平行的位移为面内位移否则称为离面位移

:,,。

33

.

振动vibration

物体的往复运动按照往复运动的方向可分为线振动和角振动评定微结构的振动特性主要包

。。

括振动幅度谐振频率振动模态品质因子

:、、、。

34

.

残余应力residualstress

在微加工处理完成后在没有外力的作用下在微机械结构内部保持平衡而存留的应力称为残余

,,,

应力是内应力外应力和热应力的综合作用

,、。

35

.

应力梯度stressgradient

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