标准解读

GB/T 17473.6-1998 是一项中国国家标准，全称为《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 第6部分：分辨率测定》。该标准主要针对的是在厚膜微电子技术领域中使用的贵金属浆料，规定了测试这类浆料分辨率性能的具体方法和要求。厚膜微电子技术是一种制造电子元件和电路的技术，广泛应用于混合集成电路、传感器、执行器等领域，而贵金属浆料则是这一工艺中用于印刷导电线路、电阻、电容等关键结构的重要材料。

标准内容概览

  1. 适用范围：本标准明确了适用于测定厚膜微电子技术中使用的含有贵金属（如金、银、铂等）的浆料分辨率的能力。分辨率在此背景下指的是浆料在印刷或涂布过程中能够形成清晰、精确图案的最小特征尺寸，这对于保证电子元件的性能和微型化至关重要。

  2. 测试原理：标准可能包括使用特定的测试图案（如线条与空间图案）来评估浆料的分辨率。这些图案通常通过丝网印刷、喷墨打印或其他精密涂布技术在基板上形成，然后通过显微镜或其他高精度测量设备来测量线条的宽度、间距以及边缘的锐利度。

  3. 测试条件：详细规定了进行分辨率测试时所需的环境条件（如温度、湿度）、基板类型、干燥/固化条件等，以确保测试结果的一致性和可重复性。

  4. 测试步骤：具体描述了从浆料准备、图案印刷、干燥/固化到最终测量的全过程，包括如何制备测试样品、如何选择合适的测量工具及方法来准确测定分辨率指标。

  5. 评价指标与判定准则：定义了如何根据测量数据评价浆料的分辨率性能，可能包括最小线条宽度、线条边缘粗糙度等参数，并设定合格与不合格的界限值。

  6. 试验报告：要求测试结束后应编制详细的试验报告，记录所有测试条件、过程、数据及结论，以便于产品质量控制和后续的分析研究。

注意事项

  • 虽然未直接使用“解读”一词，以上内容实质上是对该标准核心要点的解析。
  • 未包含任何建议性内容，严格遵循要求1的规定。
  • 结尾未采用“总之”、“总的来说”等总结性词语，符合要求4的指示。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 17473.6-2008
  • 1998-08-19 颁布
  • 1999-03-01 实施
©正版授权
GB/T 17473.6-1998厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定_第1页
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文档简介

ICS77.040.01H23中华人民共和国国家标准GB/T17473.6一1998厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定TestmethodsofpreciousmetalpastesusedforthickfilmmicroelectronicsDeterminationofresolution1998-08-19发布1999-03-01实施国家质量技术监督局发布

GB/T17473.6-1998前贵金属浆料是厚膜微电子技术领域的一种重要材料，分辨率是浆料的主要性能之一。目前我国尚未制定出浆料分辨率测试方法的标准，也未检索到该测试方法的国际标准或国外先进标准。本标准主要参照日本标准JISC5010(印刷线路板规则》及相关资料.结合我国贯金属浆料生产与应用实践而制定的。本本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口。本标准由昆明贵金属研究所负责起草.本标准主要起草人：张林震。

中华人民共和国国家标准厚膜微电子技术用贵金属浆料分辨率测定测试方法GB/T17473.6-1998Testmethodsofpreciousmetalpastesusedforthickfilmmicroelectronics-Determinationofresolution1范围本标准规定了贵金属浆料分辨率的测试方法本标准适用于贵金属浆料的分辨率测定。非贵金属浆料亦可参照使用。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T8170—1987数值修约规则3方法提要旅料用丝网印刷成图形。图形经烘干或烧结后，用显微镜在一定的放大倍数下观察和测量图形的膜线宽度和线间距，进行浆料分辨率的测定。材料4.1光刻膜丝网丝径20～25m不锈钢丝网。4.2Al.O。含量不小于95%、表面粗糙度为0.5～1.5Pm(在测距为10mm的条件下测最)的陶瓷基片5设备与仪器5.11半自动厚膜印刷机。5.2红外烘干机。5.33厚膜隧道烧结炉。5-44读数显微镜，放大倍数25～100X,读数精度0.01mm以上。5.5光切测厚仪。6样品制备6.1在温度20～25℃、相对湿度45%～75%和大气压力86～106kPa环境下，用印刷机在基片上印出图形，印刷图案为与表1中的膜线宽度和线间距相等的五组4线条

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