标准解读

GB/T 16942-1997是一项中华人民共和国国家标准，全称为《电子工业用气体 氢》。该标准规定了电子工业中使用的氢气的质量要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求，旨在确保氢气作为电子工业原材料时的纯度与安全性，满足半导体制造、平板显示及其他高科技电子设备生产过程中的严格需求。

标准内容概览：

  1. 范围：明确了本标准适用于电子工业生产过程中使用的氢气，规定了其技术条件及试验、检验、包装、标识、运输和储存的具体要求。

  2. 规范性引用文件：列出了实施本标准时需要参考的其他相关国家标准或规范文件。

  3. 术语和定义：对标准中涉及的专业术语给出明确的定义，帮助读者理解标准具体内容。

  4. 要求：

    • 纯度：详细规定了氢气的纯度要求，包括对杂质（如氧气、氮气、水、碳氢化合物等）的最大允许含量，以ppm（百万分之一）为单位进行限定。
    • 物理化学性质：如露点、密度、压力等指标也需符合一定的标准。
    • 其它特性：可能还包括对毒性和可燃性的控制要求，确保使用安全。

  5. 试验方法：介绍了如何通过科学方法检测氢气的纯度、杂质含量及其它关键性能指标，确保测试结果的准确性和重复性。

  6. 检验规则：规定了产品出厂前的检验程序、抽样方法、合格判定准则等，确保每批次产品的质量可控。

  7. 包装、标志、运输和储存：

    • 包装：要求氢气的容器应能有效防止外界污染，且能承受相应的压力，保证运输安全。
    • 标志：明确标记产品信息，包括但不限于生产商名称、批号、纯度等级、生产日期等。
    • 运输：提供运输过程中的安全措施和注意事项，确保氢气的安全运输。
    • 储存：说明了氢气储存条件，如温度、压力、避光避热等要求，以防变质或危险事故的发生。

实施意义：

该标准的制定与执行对于提升电子工业用氢气的质量控制水平、保障生产安全、促进电子产业的技术进步和产品质量具有重要意义。它为电子工业领域内氢气的供应商和用户提供了一套统一的标准体系，有助于提升整个产业链的标准化水平和国际竞争力。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 16942-2009
  • 1997-08-13 颁布
  • 1998-05-01 实施
©正版授权
GB/T 16942-1997电子工业用气体氢_第1页
GB/T 16942-1997电子工业用气体氢_第2页
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文档简介

中华人民共和国国家标准GB/T16942-1997电子工业用气体Gasesforlectronicindustry--Hydrogen1997-08-13发布1998-05-01实施国家技术监督局发布

GB/T16942-1997前本标准是根据SEMIC3.19-93钢瓶装氢标准》95年版)制定的，在技术要求上与之等同，试验方法与之等效。在将SEMIC3.19一93转化为本国标准时，结合我国实际情况，删去了SEMIC3.19一93中仅作为参考的说明和物理常数及注释等内容，试验方法中增加了抽样、采样和氢气纯度三条，除氮含量的测定采用SEMIC3.19一93的方法外，其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差异，使标准技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位：化学工业部西南化工研究院。本标准主要起草人：陈雅丽、戴培述。

中华人民共和国国家标准电子工业用气体CB/T16942-1997Gasesforelectronicindustry-Hydrogen范围本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气叙，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。分子式：H：相对分子质量：2.016(按1991年国际相对原子质量)2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T3634—1995氢气GB/T5832.1—86气体中微量水分的测定电解法GB/T5832.2—86气体中微量水分的测定露点法GB/T6285—86气体中微量氧的测定电化学法GB/T6681—86气体化工产品采样通则GB/T8984.1—1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法GB/T8984.3-1997气体中总烃的测定火焰离子化法3要求电子工业用氢技术指标应符合表1的要求。表1技术指标V/V氢纯度,10-99.9995复含最：10-氧含量,10~0-氧化碳含量,10-0.5二氧化碳含量,10一0.5总烃(以甲烧计)含量,10-0

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