标准解读

GB/T 14601-1993 是一项中华人民共和国国家标准，全称为《电子工业用气体 高纯氨》。该标准规定了电子工业领域所使用的高纯度氨气的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求，旨在确保高纯氨气的质量满足电子工业的特定需求。

标准内容概览：

  1. 范围：明确了本标准适用于电子工业生产中作为工艺气体使用的高纯氨。规定了其适用的纯度等级和技术指标，适用于产品的生产、检验及验收过程。

  2. 规范性引用文件：列出了实施本标准时所直接引用或参考的其他标准和文件清单，这些文件对于完全理解并执行标准内容是必要的。

  3. 术语和定义：对标准中涉及的专业术语进行了解释，确保读者对关键概念有统一的理解。

  4. 要求：

    • 纯度要求：详细规定了高纯氨气中主要杂质（如水、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳等）的最大允许含量，以ppm（百万分之一）为单位。
    • 物理化学性质：包括外观、密度、沸点、熔点等指标，确保产品符合电子工业应用的基本物理特性要求。
    • 包装容器：对用于盛装高纯氨的容器材质、清洁度、密封性等提出了具体要求，以防止外界污染。

  5. 试验方法：描述了如何通过化学分析、气相色谱等方法测定高纯氨中的各种杂质含量，以及检验其物理性质的方法，确保检验结果的准确性和可重复性。

  6. 检验规则：规定了产品出厂前的检验项目、抽样方法、判定规则等，包括例行检验和型式检验的具体要求。

  7. 标志、标签、包装、运输和储存：

    • 标志与标签：要求在包装上清晰标注产品名称、规格、批号、生产日期、有效期、生产厂家等信息。
    • 包装：强调了包装材料应能有效保护产品不受污染和损坏，并符合安全要求。
    • 运输：提供了运输过程中应遵守的安全措施和注意事项，以防止泄露和保证安全。
    • 储存：说明了适宜的储存条件，如温度、湿度、避光等，以保持产品质量稳定。

实施意义：

该标准的制定和实施，为电子工业用高纯氨气的生产和质量控制提供了统一的标准依据，有助于提升电子元件和半导体器件的制造质量，保障电子产品的性能和可靠性，同时促进了相关行业的规范化发展。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 14601-2009
  • 1993-08-26 颁布
  • 1994-07-01 实施
©正版授权
GB/T 14601-1993电子工业用气体高纯氨_第1页
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GB/T 14601-1993电子工业用气体高纯氨-免费下载试读页

文档简介

UDC661G86中华人民共和国国家标准CB/T14601-93电子工业用气体高纯氨Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia1993-08-26发布1994-07-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准CB/T14601-93电子工业用气体高纯氨Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia主题内容与适用范围本标准规定了电子工业用气体高纯氮的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、广存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氮。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。分子式：NH：相对分子质量：17.031(按1989年国际相对原子质量)S引用标准GB1900危险货物包装标志GB5099钢质无缝气瓶GB5831气体中徽量氧的测定比色法气体中微量氧的测定GB6285电化学法GB7144气瓶颜色标志GB7445氢气GB8980高纯氮GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法GB10625高纯氮中微量氮的测定电子迁移气相色谱法GB14606气体中总烃的测定火焰离子化检浏法3技术要求电子工业用气体高纯氨的质量应符合下表的技术要求。氨的纯度,10-99.999氧含量，10-4氮含量，10-一氧化碳含量，10-经(C～C,)含量,10-水含量，10-总杂质含量10-住：纯度及含量均以体积分数表

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