标准解读

《GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片》这一标准规定了蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存要求。具体来说，它涵盖了以下几个关键方面：

  1. 定义与分类：标准首先明确了蓝宝石单晶抛光衬底片的基本概念，以及按照尺寸、厚度、晶向等不同参数进行的分类。

  2. 技术要求：

    • 材料：规定了用于制造衬底片的蓝宝石单晶应满足的纯度和晶体质量要求。
    • 尺寸和形状：详细说明了衬底片的尺寸公差、平面度、平行度及厚度公差等指标。
    • 表面质量：包括表面粗糙度、平整度、洁净度等，要求无明显划痕、污染点或其它缺陷。
    • 物理性能：可能包括密度、热膨胀系数等物理特性指标，确保衬底片在后续应用中的稳定性。

  3. 试验方法：为验证上述技术要求，标准详细介绍了各项测试的执行方法，如如何测量尺寸、使用何种设备检测表面粗糙度等。

  4. 检验规则：明确了产品检验的程序、抽样方法及合格判定准则，确保每批产品的质量一致性。

  5. 标志、包装、运输和储存：规定了产品上应标注的信息（如生产日期、批号、规格等），以及包装材料、方式、运输条件和储存环境的要求，以防止在流通和存储过程中对产品质量造成损害。


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  • 废止
  • 已被废除、停止使用，并不再更新
  • 1992-12-28 颁布
  • 1993-08-01 实施
©正版授权
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文档简介

UDC621.382.032.9L90中华人民共和国国家标准GB/T13843-92蓝宝石单晶抛光衬底片Polishedmonocrystallinesapphiresubstrates1992-12-28发布1993-08-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准CB/T13843-92蓝宝石单晶抛光衬底片Polishedmonocrystallinesapphiresubstrates主题内客与适用范围本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单品抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则：本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单品抛光衬底片。引用标准GB/T1556硅单晶晶向X衍射测量方法GB6618硅片厚度和总厚度变化的测试方法GB6619硅片弯曲度的接触式测试方法GB6621硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法GB66244硅单晶抛光片表面质量目测检验方法GB10311表面粗糙度参数及其数值GB2828逐批检查计数抽样程序及抽样表(适用于连续批的检查》硅片上的缺陷、浩污观察标准和规程术语，硅品体完整性见附录A。3技术要求3.11化学组成为高纯的α-Al.O,,总杂质含量应小于1×10-。322结品完整性在所有直径范围内都是单品结构，位错应等于或小于10°个/cm².3.33制备衬底所使用的蓝宝石单品的生长方法采用直拉法(CZ)。3.44表面取向在所有直径范围内均为(1102)±2"。3.5参考面3.5.1主参考面取向C轴在(1102)面上的投影顺时针旋转45"±2"见图1)。3.5.2次参考面取向C轴在(1102)面上的投影逆时针旋转45°±2（

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