UF3000 Set Up Device 简易操作及相关资料

1開機畫面如下：此畫面為poweron時第一段開機程序.可在此畫面做一些configurationdata的設定.是適用於工程人員使用的.一般來說操做人員只須按下＜START＞將Prober做Initialize的動做既可.Prober會先做Loaderinitialize再做本體的Initialize.FflOBIf.3noGCSTART302HX5Mw¥wOS3®：i：®xW：i^x>Kwu¥'!S：'：d3x>55：i：dyX>55：i：du■■■■■■■■■■■■■■■■■FflOBIf.3noGCSTART302HX5Mw¥wOS3®：i：®xW：i^x>Kwu¥'!S：'：d3x>55：i：dyX>55：i：du■■■■■■■■■■■■■■■■■：：；：：：：：：：：，；；：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：0EMCE岛亦ETRUTIUTY:旳I?佰观E!SErTlNS£丽苛丽「甌命辭忆乖ii葩丽1主要測試畫面如下1-1當ProberInitialize完成後或Prober測完貨後機台待測的主畫面.

Lot批號設建擁 1-44.個吕-——11WJX.iiurEJLV.C£mHC1kflti鬣ITW[HW1laa^Ssri(PF卯制血门上#*ix™^**jhi5jrvp5XRpM*ienpK■如叩WfjjTD~EmfLot批號設建擁 1-44.個吕-——11WJX.iiurEJLV.C£mHC1kflti鬣ITW[HW1laa^Ssri(PF卯制血门上#*ix™^**jhi5jrvp5XRpM*ienpK■如叩WfjjTD~EmfLoaderSW的按報非常重喲CardChange更換ProbeCard鍵加■幻皿「加S曲＜"吕肉K“iprDevice更換或參數設建鑼■JpdlJH-i■■!EE*STiILwU蛀Fi^c-^tS-Hclk'ii操作狀況妁顯示一爲驚二・hLiIrh刖rnrrtni-iMijilijMadaiEgwrdQrcdfrraiBi^5HEMHFjad■■Imfl:iniDtau-iDeviceDataj兄 叮题?■叭E^skirdmidd^a.GtowmepRifi■Lsnptrflr*»PAd|XJB*Cri.^q-inerl.pocIFflmrf■rd"ffw1-2LoadDevice從HD或FD.按〈DeviceParameterChange〉後的畫面如下1-3按下〈DeviceListReference〉鍵2-1-4出現所有Device的畫面.可由此畫面選擇HD或FD的Device做Download的動作.選擇所要的Device再做〈DeviceDataRead＞既可叫出所要的Device.完成後按〈SettingEnd＞並離開到主畫面.D匚EDP』C£datamleteD匚EDP』C£datamleteD轴ceP啤号耳fv耳ii口Fin^l占gdAHTPFIB5MPpi7SKSTD时山沖迪Q遜就NatNotNatNot7ES12:刚戦402^8/15Ha..Ha..MotNotKEEOLE期跑30W5J16Ha..Ha.NotH...7SKSTD1242/08/1&0W8J16Ha.Ha.MotH..LlF30&X-AOCRETECH珈引1002107J20Ha..Ha..MotH...YY-TE-ST0^05/1A0W5/16-Ha.Ha.NotNot1230^05/14Ha.Hp NotNot1234502/06/1A02j08j06NotHotNotNot1234昭阳1AQ2^5Z16Ha..hotNotNotFUHAFUWA涵椒9QW5716Hs.Ha.話NotA卿/洽02/0E/16Ha.Ha..NotH...IG0?/05；16NotHaMotNfitFUNAFUNA-ONEWO2W7AJ1诚时16NotHa.MotNotFUhlAFULJADEVowng02j05Jl7Ha.Ha..NotH...75OZ/05j16Ha..Ha...NotH...HG购）伽02J05/16Ha..HotNotH..OZ-E1-TE3T^08^)5口㈣俪HaHg NotH..fLARGESrORAQEJDRMJ.T5T3TFMMODE

CHAHGEDEVO

DATA

COPY1如何將FUPO或CST放在loadport上.1-1在主畫面按〈LoaderSW>1-2再於出現的畫面中按〈NewCST>.此時Loader的Cover會自動往下.並將FUPO或CST放到Loader上並用雙手按下Loader上方的開關將Cover關上.1-3按<END>SW在螢幕上.此時已完成放CST的動作.3-2做WaferSense3-2-1再按〈LoaderSW>後再按〈NewCST>此時CST會往前移動並做WaferSense的動作•按〈END>回主畫面.

3-2-2可再主畫面按＜SlotInformation＞得知WaferSense的結果.畫面如下:2-3回主畫面按〈START＞就開始生產.1Prober的動作流程：1-1先做NeedleAlignment（只有在換lot的第一片）.在這同時也正在做Waferloading的動作.Needlealignment如圖：1-2當使用manual做Needlealignment時.程序都跟之前的UF200,UF300—樣.會先聽到Proberalarm告知.此刻先將alarm訊息清除直接用觸控筆點選清除既可.1-3點選正確的needle位置再按＜Datain＞.既完成ManualNeedlealignment.

使用技巧:可用搖桿做位置的移動，有<JOG><SCAN>和〈INDEX>跟之前的一樣，唯一不同是要用觸控筆去點選操作.搖桿箭頭是離中心越遠的位置速度越快•越近中心點的越慢.亦可用觸控筆點選螢幕.點到那移到那.LOAD田SWhSA'HT嘶 UHIJr-•:u•丁厂 ■Ce：¥ic«chance□personJJTQPSetCRCI5S皿RKAnmjc and⑷山-：MrA1险SWI! 11Waferalignment1-1當Needlealignment完成.Wafer就做WaferID讀取的動作.若自動讀不出亦出現可用手動輸入的畫面.1-2完成WaferID後就將Wafer傳送至Chuck做Waferalignment.6測試畫面（測貨前停止做針跡的檢查）1如圖是測試前或測試中停下來的畫面:Map放大縮小Zup/do^nFAMNiji»SEII^TERI)I-2€iflhf=WT口典圖Imaged切換鏈Hwh话TQRT1歸glb护fl耳sOESMtlHUMUh?.'JIKTMFNTII"更5IS*WCl■狙JR玉Map放大縮小Zup/do^nFAMNiji»SEII^TERI)I-2€iflhf=WT口典圖Imaged切換鏈Hwh话TQRT1歸glb护fl耳sOESMtlHUMUh?.'JIKTMFNTII"更5IS*WCl■狙JR玉t=R0BIH&沖斤祇「EFi8ET1INQ5Map的狀態」可直接點任意頓就可移到所選的,NKWER不測退出waferL1SIER3K辽口间•IT.53HAJJIA-LTriLIli匚LL^IhGU町IJ-Fi.l：EP-EMF1M5MDlWF『WFUhWO■-F<圈FFFiKEEELE|AU阳厲$1卜COlilEUT51T5IENfTOE或使用f桿座fSCAkEIZE.抵⑺「前「D^JCE諂hwfi#■JHLCWlI!針壓鏈更22測貨中的狀況圖:題厘&加荷田亠』L班ER12711&\o"CurrentDocument"应W1MNG 0\o"CurrentDocument"RAEgDEsi j 怖tESTDE# | 西i題厘&加荷田亠』L班ER12711&\o"CurrentDocument"应W1MNG 0\o"CurrentDocument"RAEgDEsi j 怖tESTDE# | 西iProberProber狀況(Probing...>3調整針痕大小及位置鍵（一）Li>=icr||*11rr針壓愛更巳「dri：Ve-Change）[^<^"■■■1~~r>jAI1影像切換鍵@m^geD.Change)marce晦卜丛3調整針痕大小及位置鍵（一）Li>=icr||*11rr針壓愛更巳「dri：Ve-Change）[^<^"■■■1~~r>jAI1影像切換鍵@m^geD.Change)marce晦卜丛tw3SOUi'zJjJ二MlJFJAIH曲卜etlJttrinidlfcnn阳In.U：r£5S_'1■■