项目二光栅传感器2课件

项目二光栅传感器22022/12/30项目二光栅传感器2项目二光栅传感器22022/12/29项目二光栅传感器212、分类按原理和用途：物理光栅和计量光栅物理光栅：刻线细密,利用光的衍射现象,主要用于光谱分析和光波长等量的测量。计量光栅：主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、振动等几何量的测量。项目二光栅传感器22、分类项目二光栅传感器222、分类按光的走向：透射式（玻璃）和反射式（金属）透射式光栅：刻划基面采用玻璃材料反射式光栅：刻划基面采用金属材料按栅线形式：黑白光栅（幅值光栅）和闪耀光栅（相位光栅）黑白光栅：利用照相复制工艺加工而成,其栅线与缝隙为黑白相间结构；相位光栅：横断面呈锯齿状,常用刻划工艺加工而成。项目二光栅传感器22、分类项目二光栅传感器232、分类按应用类型：长光栅和圆光栅长光栅：刻划在玻璃尺上的光栅，也称为光栅尺，刻线相互平行；用于测量长度或线位移项目二光栅传感器22、分类长光栅：刻划在玻璃尺上的光栅，也称为光栅尺，刻线相互4构成：主光栅---标尺光栅，定光栅；指示光栅---动光栅长度---测量范围；刻线密度---测量精度(10、25、50、100、125线/mm)项目二光栅传感器2构成：主光栅---标尺光栅，定光栅；指示光栅---动5圆光栅：在圆盘玻璃上刻线，用来测量角度或角位移.项目二光栅传感器2圆光栅：在圆盘玻璃上刻线，用来测量角度或角位移.项目二光栅6栅距栅线宽度缝隙宽度栅距角项目二光栅传感器2栅距栅线宽度缝隙宽度栅距角项目二光栅传感器27圆光栅分类：根据栅线刻划的方向，圆光栅分三种：

径向光栅:其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心；切向光栅:其全部栅线与一个和光栅盘同心的直径只有零点儿或几个毫米的小圆相切;环形光栅:一簇等间距同心圆组成.若按光线的走向，圆光栅只有透射光栅。项目二光栅传感器2圆光栅分类：项目二光栅传感器28项目二光栅传感器2项目二光栅传感器293.莫尔条纹1).莫尔条纹的形成及其特征 当指示光栅和主光栅的刻线相交一个微小的夹角θ时,光源照射光栅尺，由于挡光效应，两块光栅刻线的相交处形成暗带，而在刻线彼此错开处形成亮带。在与光栅线纹大致垂直的方向上,产生出亮暗相间的条纹,这些条纹称为“莫尔条纹”。项目二光栅传感器23.莫尔条纹1).莫尔条纹的形成及其特征项目二光栅传感器210莫尔条纹项目二光栅传感器2莫尔条纹项目二光栅传感器211

长光栅横向莫尔条纹项目二光栅传感器2长光栅横向莫尔条纹项目二光栅传感器212横向莫尔条纹：由于两光栅的栅线夹角θ很小，条纹近似与栅线的方向垂直，故称为横向莫尔条纹。纵向莫尔条纹：当栅线的夹角θ＝0，且两光栅栅距不等时产生的莫尔条纹。光闸莫尔条纹：当栅线的夹角θ＝0,且两光栅栅距相等时产生的莫尔条纹。项目二光栅传感器2横向莫尔条纹：由于两光栅的栅线夹角θ很小，条纹近似与栅线的13横向莫尔条纹光闸莫尔条纹纵向莫尔条纹项目二光栅传感器2横向莫尔条纹光闸莫尔条纹142)莫尔条纹的特征①、位移放大作用相邻两条莫尔条纹间距B与栅距w及两光栅夹角θ的关系为：B项目二光栅传感器22)莫尔条纹的特征①、位移放大作用相邻两条莫尔条纹间距B与15结论：θ越小,k越大，B越大。例如：θ=0.1°，W=0.02mm时θ=0.1°=0.1×2π/360=0.00175432rad则：B=11.4592mm。莫尔条纹间距放大了光栅间距，令k为放大系数，则：项目二光栅传感器2结论：莫尔条纹间距放大了光栅间距，令k为放大系数，则：项目二16②、运动对应关系

通过莫尔条纹的运动特性判别光栅的运动特性光栅移动一个栅距，莫尔条纹移动一个条纹间隔；光栅改变运动方向，莫尔条纹随之改变运动方向。当移动的刻线数i和角度θ一定时，莫尔条纹间距B与移动距离x成正比，即：

项目二光栅传感器2②、运动对应关系

通过莫尔条纹的运动特性判别光栅的运17

③误差的平均效应光电元件对光栅的栅距误差具有平均消差作用。莫尔条纹由光栅的大量刻线形成,几条刻线的栅距误差或断裂对莫尔条纹的位置和形状影响甚微。能在很大程度上消除短周期误差的影响。项目二光栅传感器2③误差的平均效应项目二光栅传感器218工作原理：

利用光栅的莫尔条纹现象实现几何量的测量：光栅的相对移动使透射光强度呈周期性变化，光电元件把这种光强信号变为周期性变化的电信号，由电信号的变化即可获得光栅的相对移动量。特点：

数字式传感器：能把被测的模拟量直接转换成数字量。与模拟传感器相比，数字式传感器抗干扰能力强,稳定性强;易于微机接口,便于信号处理和实现自动化测量。2.2光栅传感器的工作原理项目二光栅传感器2工作原理：2.2光栅传感器的工作原理项目二光栅传感器219一、光电转换原理

1－光源；2－聚光镜；3－光栅主尺；4－指示光栅；5－光敏元件；6－莫尔条纹；7－光强分布项目二光栅传感器2一、光电转换原理1－光源；2－聚光镜；3－光栅主尺；4－指20光闸莫尔条纹光电转换原理理想情况：三角形项目二光栅传感器2光闸莫尔条纹光电转换原理理想情况：三角形项目二光栅传感器21二、光闸莫尔条纹测量位移原理当光电元件5接收到明暗相间的正弦信号时,根据光电转换原理将光信号转换为电信号。当主光栅移动一个栅距w时,电信号则变化了一个周期。光电元件输出波形为：直流分量交流分量光栅相对位移量项目二光栅传感器2二、光闸莫尔条纹测量位移原理直流分量交流分量光栅相对位移量项22当波形重复到原来的相位和幅值时,相当于光栅移动了一个栅距w,如果光栅相对位移了N个栅距,此时位移x=NW。因此,只要能记录移动过的莫尔条纹数N,就可以知道光栅的位移量x值。这就是利用光闸莫尔条纹测量位移的原理。项目二光栅传感器2当波形重复到原来的相位和幅值时,相当于光栅移动了一个栅距w23三、辨向原理及辨向电路1）辨向的原因

当指示光栅无论向前或向后移动时，在一固定点安装的光电元件只能接收到莫尔条纹明暗交替的变化，后面的数字电路都将发生同样的计数脉冲，从而无法辨别光栅移动的方向，也不能正确测量出有往复移动时位移的大小。因而必须在测量电路中加入辨向电路。项目二光栅传感器2三、辨向原理及辨向电路1）辨向的原因项目二光栅传感器2242）辨向原理与辨向电路为辨别主光栅的移动方向,需要有两个具有相差的莫尔条纹信号同时输入来辨别移动方向,且两个莫尔条纹信号相差90°相位。实现的方法是在相隔B／4条纹间隔的位置上安装两只光敏元件,当莫尔条纹移动时两个狭缝的亮度变化规律完全一样,相位相差π／2。滞后还是超前完全取决于光栅的运动方向。这种区别运动方向的方法称为位置细分辨向原理。项目二光栅传感器22）辨向原理与辨向电路为辨别主光栅的移动方向,需要有两个具25图7.5辨向原理项目二光栅传感器2图7.5辨向原理项目二光栅传感器2261、2－光电元件；3－指示光栅；4－莫尔条纹；A－光栅移动方向；B－莫尔条纹移动方向；U1－元件AB对应的输出电压；U2－元件CD对应的输出电压；项目二光栅传感器21、2－光电元件；3－指示光栅；4－莫尔条纹；项目二27AB与CD两个狭缝在结构上相差π／2,所以它们在光电元件上取得的信号必是相差π／2。AB为主信号,CD为门控信号。当主光栅作正向运动时,CD产生的信号只允许AB产生的正脉冲通过,门电路在可逆计数器中作加法运算；当主光栅作反方向移动时,则CD产生的负值信号只让AB产生的负脉冲通过,门电路在可逆计数器中作减法运算。项目二光栅传感器2AB与CD两个狭缝在结构上相差π／2,所以它们在光电元件上取28辨向电路项目二光栅传感器2辨向电路项目二光栅传感器229U1和U2经过整形后得两个方波信号U1ˊ和U2ˊ。U1ˊ产生计数脉冲，U2ˊ的电平状态作为与门的控制信号,来控制在不同的移动方向时,U1ˊ所产生的脉冲输出路线。这样就可以根据运动方向正确的给出加计数脉冲或减计数脉冲,再将其输入可逆计数器,实时显示出相对于某个参考点的位移量。

项目二光栅传感器2U1和U2经过整形后得两个方波信号U1ˊ和U2ˊ。项目二30当光栅沿A向移动时,莫尔条纹向B向移动。U2超前U190°。U1ˊ经微分电路后产生的脉冲（如图中实线所示）正好发生在U2ˊ的“1”电平时,从而经Y1输出一个加计数脉冲;而U1ˊ经反相并微分后产生的脉冲（如图中虚线所示）则与U2ˊ的“0”电平相遇,与门Y2被阻塞,无脉冲输出。当光栅沿A反方向移动时,莫尔条纹向B反向移动。U1超前U290°。U1ˊ的微分脉冲发生在U2ˊ为“0”电平时,与门Y1无脉冲输出;而U1ˊ的反相微分脉冲则发生在U2ˊ的“1”电平时,与门Y2输出一个减计数脉冲。项目二光栅传感器2当光栅沿A向移动时,莫尔条纹向B向移动。U2超前U19031辨向电路各点波形项目二光栅传感器2辨向电路各点波形项目二光栅传感器232项目二光栅传感器2项目二光栅传感器2332.3莫尔条纹细分技术目的：提高分辨力（测量更小的位移量）。细分方法：1.增加光栅刻线密度；2.电子细分；3.机械和光学细分。项目二光栅传感器22.3莫尔条纹细分技术目的：提高分辨力（测量更小的位移量34电子细分：在一个栅距即一个莫尔条纹信号变化周期内,发出n个脉冲,每个脉冲代表原来栅距的1/n。由于细分后计数脉冲频率提高了n倍,因此也称之为n倍频法。通常采用的电子细分方法有：四倍频细分和电桥细分等。项目二光栅传感器2电子细分：在一个栅距即一个莫尔条纹信号变化周期内,发出n个351.四倍频细分方案：在一个莫尔条纹宽度上并列放置四个光电元件，得到四个相差依次为π/2的电压信号；或在相差B/4位置上安放两个光电元件，得到两个相差π/2电压信号，将这两个信号整形、反相后得到四个依次相差π/2的电压信号。在光栅作相对运动时，经过微分电路，在正向运动时，得到四个微分脉冲（加计数脉冲）；反向运动时，得到四个微分脉冲（减计数脉冲）。项目二光栅传感器21.四倍频细分在光栅作相对运动时，经过微分电路，在正向运36相距B/4放置四个光电元件

项目二光栅传感器2相距B/4放置四个光电元件项目二光栅传感器237四倍频细分电路原理框图项目二光栅传感器2四倍频细分电路原理框图项目二光栅传感器238细分前后比较项目二光栅传感器2细分前后比较项目二光栅传感器2392.4光栅传感器的光学系统组成：光源、透镜、光栅、光敏元件光源：白炽灯或其它发光元件；透镜：把光线变成平行光束照射在光尺上；光敏元件：输出电压信号；形式：透射直读式、反射直读式、反射积分式等项目二光栅传感器22.4光栅传感器的光学系统组成：光源、透镜、光栅、光敏元件401、透射直读式特点：光电元件采用四极硅光电池构成四细分直读式分光系统，输出的四路电信号相位依次相差π/2，相当于对莫尔条纹信号进行四细分。项目二光栅传感器21、透射直读式特点：光电元件采用四极硅光电池构成四细分直读式41特点：标尺光栅为反射式光栅，光源经透镜成平行光束并以一定角度射向指示光栅，莫尔条纹是由标尺光栅反射回来的光线与指示光栅相互作用而成。（b）反射直读式2、反射直读式项目二光栅传感器2特点：标尺光栅为反射式光栅，（b）反射直读式2、反射直读式项42特点：只用一个闪耀光栅作主光栅，没有指示光栅，利用光的衍射和干涉现象测量位移。3、反射积分式项目二光栅传感器2特点：只用一个闪耀光栅作主光栅，没有指示光栅，利用光的衍射和432.5光栅传感器的应用由于光栅传感器测量精度高、动态测量范围广、可进行无接触测量、易实现系统的自动化和数字化，因而在机械工业中得到了广泛的应用。光栅传感器通常作为测量元件应用于机床定位、长度和角度的计量仪器中，并用于测量速度、加速度、振动等。项目二光栅传感器22.5光栅传感器的应用由于光栅传感器测量精度高、动44例:

光栅式万能测长仪项目二光栅传感器2例:

光栅式万能测长仪项目二光栅传感器245演讲完毕，谢谢听讲!再见，seeyouagain3rew2022/12/30项目二光栅传感器2演讲完毕，谢谢听讲!再见，seeyouagain3rew46项目二光栅传感器22022/12/30项目二光栅传感器2项目二光栅传感器22022/12/29项目二光栅传感器2472、分类按原理和用途：物理光栅和计量光栅物理光栅：刻线细密,利用光的衍射现象,主要用于光谱分析和光波长等量的测量。计量光栅：主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、振动等几何量的测量。项目二光栅传感器22、分类项目二光栅传感器2482、分类按光的走向：透射式（玻璃）和反射式（金属）透射式光栅：刻划基面采用玻璃材料反射式光栅：刻划基面采用金属材料按栅线形式：黑白光栅（幅值光栅）和闪耀光栅（相位光栅）黑白光栅：利用照相复制工艺加工而成,其栅线与缝隙为黑白相间结构；相位光栅：横断面呈锯齿状,常用刻划工艺加工而成。项目二光栅传感器22、分类项目二光栅传感器2492、分类按应用类型：长光栅和圆光栅长光栅：刻划在玻璃尺上的光栅，也称为光栅尺，刻线相互平行；用于测量长度或线位移项目二光栅传感器22、分类长光栅：刻划在玻璃尺上的光栅，也称为光栅尺，刻线相互50构成：主光栅---标尺光栅，定光栅；指示光栅---动光栅长度---测量范围；刻线密度---测量精度(10、25、50、100、125线/mm)项目二光栅传感器2构成：主光栅---标尺光栅，定光栅；指示光栅---动51圆光栅：在圆盘玻璃上刻线，用来测量角度或角位移.项目二光栅传感器2圆光栅：在圆盘玻璃上刻线，用来测量角度或角位移.项目二光栅52栅距栅线宽度缝隙宽度栅距角项目二光栅传感器2栅距栅线宽度缝隙宽度栅距角项目二光栅传感器253圆光栅分类：根据栅线刻划的方向，圆光栅分三种：

径向光栅:其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心；切向光栅:其全部栅线与一个和光栅盘同心的直径只有零点儿或几个毫米的小圆相切;环形光栅:一簇等间距同心圆组成.若按光线的走向，圆光栅只有透射光栅。项目二光栅传感器2圆光栅分类：项目二光栅传感器254项目二光栅传感器2项目二光栅传感器2553.莫尔条纹1).莫尔条纹的形成及其特征 当指示光栅和主光栅的刻线相交一个微小的夹角θ时,光源照射光栅尺，由于挡光效应，两块光栅刻线的相交处形成暗带，而在刻线彼此错开处形成亮带。在与光栅线纹大致垂直的方向上,产生出亮暗相间的条纹,这些条纹称为“莫尔条纹”。项目二光栅传感器23.莫尔条纹1).莫尔条纹的形成及其特征项目二光栅传感器256莫尔条纹项目二光栅传感器2莫尔条纹项目二光栅传感器257

长光栅横向莫尔条纹项目二光栅传感器2长光栅横向莫尔条纹项目二光栅传感器258横向莫尔条纹：由于两光栅的栅线夹角θ很小，条纹近似与栅线的方向垂直，故称为横向莫尔条纹。纵向莫尔条纹：当栅线的夹角θ＝0，且两光栅栅距不等时产生的莫尔条纹。光闸莫尔条纹：当栅线的夹角θ＝0,且两光栅栅距相等时产生的莫尔条纹。项目二光栅传感器2横向莫尔条纹：由于两光栅的栅线夹角θ很小，条纹近似与栅线的59横向莫尔条纹光闸莫尔条纹纵向莫尔条纹项目二光栅传感器2横向莫尔条纹光闸莫尔条纹602)莫尔条纹的特征①、位移放大作用相邻两条莫尔条纹间距B与栅距w及两光栅夹角θ的关系为：B项目二光栅传感器22)莫尔条纹的特征①、位移放大作用相邻两条莫尔条纹间距B与61结论：θ越小,k越大，B越大。例如：θ=0.1°，W=0.02mm时θ=0.1°=0.1×2π/360=0.00175432rad则：B=11.4592mm。莫尔条纹间距放大了光栅间距，令k为放大系数，则：项目二光栅传感器2结论：莫尔条纹间距放大了光栅间距，令k为放大系数，则：项目二62②、运动对应关系

通过莫尔条纹的运动特性判别光栅的运动特性光栅移动一个栅距，莫尔条纹移动一个条纹间隔；光栅改变运动方向，莫尔条纹随之改变运动方向。当移动的刻线数i和角度θ一定时，莫尔条纹间距B与移动距离x成正比，即：

项目二光栅传感器2②、运动对应关系

通过莫尔条纹的运动特性判别光栅的运63

③误差的平均效应光电元件对光栅的栅距误差具有平均消差作用。莫尔条纹由光栅的大量刻线形成,几条刻线的栅距误差或断裂对莫尔条纹的位置和形状影响甚微。能在很大程度上消除短周期误差的影响。项目二光栅传感器2③误差的平均效应项目二光栅传感器264工作原理：

利用光栅的莫尔条纹现象实现几何量的测量：光栅的相对移动使透射光强度呈周期性变化，光电元件把这种光强信号变为周期性变化的电信号，由电信号的变化即可获得光栅的相对移动量。特点：

数字式传感器：能把被测的模拟量直接转换成数字量。与模拟传感器相比，数字式传感器抗干扰能力强,稳定性强;易于微机接口,便于信号处理和实现自动化测量。2.2光栅传感器的工作原理项目二光栅传感器2工作原理：2.2光栅传感器的工作原理项目二光栅传感器265一、光电转换原理

1－光源；2－聚光镜；3－光栅主尺；4－指示光栅；5－光敏元件；6－莫尔条纹；7－光强分布项目二光栅传感器2一、光电转换原理1－光源；2－聚光镜；3－光栅主尺；4－指66光闸莫尔条纹光电转换原理理想情况：三角形项目二光栅传感器2光闸莫尔条纹光电转换原理理想情况：三角形项目二光栅传感器67二、光闸莫尔条纹测量位移原理当光电元件5接收到明暗相间的正弦信号时,根据光电转换原理将光信号转换为电信号。当主光栅移动一个栅距w时,电信号则变化了一个周期。光电元件输出波形为：直流分量交流分量光栅相对位移量项目二光栅传感器2二、光闸莫尔条纹测量位移原理直流分量交流分量光栅相对位移量项68当波形重复到原来的相位和幅值时,相当于光栅移动了一个栅距w,如果光栅相对位移了N个栅距,此时位移x=NW。因此,只要能记录移动过的莫尔条纹数N,就可以知道光栅的位移量x值。这就是利用光闸莫尔条纹测量位移的原理。项目二光栅传感器2当波形重复到原来的相位和幅值时,相当于光栅移动了一个栅距w69三、辨向原理及辨向电路1）辨向的原因

当指示光栅无论向前或向后移动时，在一固定点安装的光电元件只能接收到莫尔条纹明暗交替的变化，后面的数字电路都将发生同样的计数脉冲，从而无法辨别光栅移动的方向，也不能正确测量出有往复移动时位移的大小。因而必须在测量电路中加入辨向电路。项目二光栅传感器2三、辨向原理及辨向电路1）辨向的原因项目二光栅传感器2702）辨向原理与辨向电路为辨别主光栅的移动方向,需要有两个具有相差的莫尔条纹信号同时输入来辨别移动方向,且两个莫尔条纹信号相差90°相位。实现的方法是在相隔B／4条纹间隔的位置上安装两只光敏元件,当莫尔条纹移动时两个狭缝的亮度变化规律完全一样,相位相差π／2。滞后还是超前完全取决于光栅的运动方向。这种区别运动方向的方法称为位置细分辨向原理。项目二光栅传感器22）辨向原理与辨向电路为辨别主光栅的移动方向,需要有两个具71图7.5辨向原理项目二光栅传感器2图7.5辨向原理项目二光栅传感器2721、2－光电元件；3－指示光栅；4－莫尔条纹；A－光栅移动方向；B－莫尔条纹移动方向；U1－元件AB对应的输出电压；U2－元件CD对应的输出电压；项目二光栅传感器21、2－光电元件；3－指示光栅；4－莫尔条纹；项目二73AB与CD两个狭缝在结构上相差π／2,所以它们在光电元件上取得的信号必是相差π／2。AB为主信号,CD为门控信号。当主光栅作正向运动时,CD产生的信号只允许AB产生的正脉冲通过,门电路在可逆计数器中作加法运算；当主光栅作反方向移动时,则CD产生的负值信号只让AB产生的负脉冲通过,门电路在可逆计数器中作减法运算。项目二光栅传感器2AB与CD两个狭缝在结构上相差π／2,所以它们在光电元件上取74辨向电路项目二光栅传感器2辨向电路项目二光栅传感器275U1和U2经过整形后得两个方波信号U1ˊ和U2ˊ。U1ˊ产生计数脉冲，U2ˊ的电平状态作为与门的控制信号,来控制在不同的移动方向时,U1ˊ所产生的脉冲输出路线。这样就可以根据运动方向正确的给出加计数脉冲或减计数脉冲,再将其输入可逆计数器,实时显示出相对于某个参考点的位移量。

项目二光栅传感器2U1和U2经过整形后得两个方波信号U1ˊ和U2ˊ。项目二76当光栅沿A向移动时,莫尔条纹向B向移动。U2超前U190°。U1ˊ经微分电路后产生的脉冲（如图中实线所示）正好发生在U2ˊ的“1”电平时,从而经Y1输出一个加计数脉冲;而U1ˊ经反相并微分后产生的脉冲（如图中虚线所示）则与U2ˊ的“0”电平相遇,与门Y2被阻塞,无脉冲输出。当光栅沿A反方向移动时,莫尔条纹向B反向移动。U1超前U290°。U1ˊ的微分脉冲发生在U2ˊ为“0”电平时,与门Y1无脉冲输出;而U1ˊ的反相微分脉冲则发生在U2ˊ的“1”电平时,与门Y2输出一个减计数脉冲。项目二光栅传感器2当光栅沿A向移动时,莫尔条纹向B向移动。U2超前U19077辨向电路各点波形项目二光栅传感器2辨向电路各点波形项目二光栅传感器278项目二光栅传感器2项目二光栅传感器2792.3莫尔条纹细分技术目的：提高分辨力（测量更小的位移量）。细分方法：1.增加光栅刻线密度；2.电子细分；3.机械和光学细分。项目二光栅传感器22.3莫尔条纹细分技术目的：提高分辨力（测量更小的位移量80电子细分：在一个栅距即一个莫尔条纹信号变化周期内,发出n个脉冲,每个脉冲代表原来栅距的1/n。由于细分后计数脉冲频率提高了n倍,因此也称之为n倍频法。通常采用的电子细分方法有：四倍频细分和电桥细分等。项目二光栅传感器2电子细分：在一个栅距即一个莫尔条纹信号变化周期内,发出n个811.四倍频细分方案：在一个莫尔条纹宽度上并列放置四个光电元件，得到四个相差依次为π/2的电压信号；或