内层QCC品质圈汇总课件

飞腾圈生产部郭群2012/09/15深圳中富电路有限公司生产部内层工序QCC圈成果展示飞腾圈生产部郭群1

QCC圈的组建圈名：飞腾圈成立日期：2012年5月15日圈长：郭群辅导员：万水冰圈员：杨明春、刘介红、匡华兰、李永磊、杨丽娟、石付成、王辉张勇、刘壮壮、陈大凤

2课题选择

2012年13周开始，我司内层报废率0.68%-0.86%超出目标，未达到厂内目标

0.60%，影响我司一次合格率，需进行改善.

周期WK12WK13WK14WK15目标0.60%0.60%0.60%0.60%实际0.70%0.68%0.86%0.80%课题选择2012年13周开始，我司内层报废率03

确定项目：改善内层报废率

确定项目：改善内层报废率

4飞腾圈活动计划表

5月6月7月

W17W18W19W20W21W22W23W24W25W26W27W28QCC组建立

活动项目的选定

活动计划

现状的把握--数据收集

数据分析

确定目标

要因分析

及时改善实施

及时措施实施验证

阶段性要因分析

阶段性改善实施验证

改善措施标准化

成果汇总

飞腾圈活动计划表5月6月7月5内层MRB统计：月份三月四月报废面积163.58193.51报废率0.6419%0.7126%3月份内层报废率0.64%，4月份报废率0.71%，均超出目标值0.60%，并呈现上升趋势。内层MRB统计：月份三月四月报废面积163.58193.56内层MRB不良项目统计：主要缺陷开路短路微短曝光不良擦花定位开路内层不配套铜厚不够定位短路其它报废面积246.3192.127.352.991.921.081.061.000.842.42占总报废百分比68.98%25.80%2.06%0.84%0.54%0.30%0.30%0.28%0.24%0.68%累积百分比68.98%94.77%96.83%97.67%98.21%98.51%98.81%99.09%99.32%100.00%从3、4月份内层报废的明细分析，主要报废项目为：开路、短路不良。内层MRB不良项目统计：主要缺陷开路短路微短曝光擦花定位内层7确定改善目标：目标：

1.降低内层工序开短路问题，从而降低内层工序的报废率；

2.实际报废率，由1215周的0.80%降低到目标值0.60%以内；最终实际报废率降低到0.50%以内。

改善前比率目标提升比例最终目标比例0.80%0.60%0.50%确定改善目标：目标：

1.降低内层工序开短路问题，从而降8目前流程图---影响制程开料Processflowchart前处理涂布CCD对位、曝光显影蚀刻褪膜异常重工AOIYes重工压合EndMRBNoNo目前流程图---影响制程开料Processflowch9原因分析---鱼骨图无尘室落尘量异常机台曝光机设备掉屑橫送器摩擦掉屑前处理吸水海绵保养频率方法物料环境粘尘纸及粘尘滚轮异常粘尘纸卷內存在异物无尘用品掉屑无尘室正压监控异常未定時進行檢測DES线问题喷嘴脱落空气循环口过滤方式粘尘机异常粘尘滚轮破损鼓风机保养频率无界定人員操作异常新进人员清洁方法不完善无具体的操作标准WIP摆放方式未按规定对底片进行清洁规定不完善壓克力框刮傷亚克力框异常亚克力框有白点坦克链摩擦掉屑无尘纸掉屑未制定清洁保养的计划表无尘室进出人员未按规定着装地面破损扬尘粘尘纸掉毛屑粘尘滚轮破损老化,掉屑手套使用时间湿膜问题无尘衣口罩清洗频率无尘衣灰尘处理方式为什么会报废率超标湿膜颜色为乳白色，检验非常困难自动收板机掉板传送此轮不转，导致卡板造成开路烘干段异常原因分析---鱼骨图无尘室落尘量异常机台曝光机设备掉屑橫送器10要因分析方案：序号要因解决方案1空气循环口过滤方式分阶段2曝光机内部锈蚀掉屑分阶段3坦克链摩擦掉屑分阶段4无尘衣灰尘处理方式分阶段5无尘衣及口罩清洗频率分阶段6手套使用时间分阶段7前处理吸水海绵保养频率分阶段8湿膜颜色为乳白色，检验非常困难快速改善9WIP摆放方式快速改善10鼓风机保养频率快速改善要因分析方案：序号要因解决方案1空气循环口过滤方式分阶段2曝11要因分析措施快速实施：湿膜更换改善：

更换后更换前更换后使用乳白色湿膜，肉眼无法分辩板面存在的垃圾和其他问题。使用蓝色湿膜，肉眼易分辨板面存在的垃圾和其他问题。要因分析措施快速实施：湿膜更换改善：更换后更换前更换后使用乳12要因分析措施快速实施：WIP摆放改善：通过规范摆放，防止湿膜擦花改善前改善后要因分析措施快速实施：WIP摆放改善：改善前改善后13鼓风机保养改善：改善前未对鼓风机做设备保养鼓风机马达外壳进出风过滤套管马达内轴套管内滤网套管内过滤海棉改善后增加保养1次/4个月保养前保养后鼓风机保养改善：改善前鼓风机马达外壳进出风过滤套管马达内轴套14及时措施实施效果验证：内层MRB报废趋势图及时措施实施后及时措施实施效果验证：内层MRB报废趋势图及时措施实施后15阶段分析：序号实验名称粘尘机收集到的脏点形态分析1背景目前渗镀不良主要受曝光脏点影响。2目的分析目前曝光脏点的种类及比列，对重点项目进行改善。3步骤a.针对外层各粘尘机继续拧脏点收集；步骤b.分析粘尘纸上脏点的种类及数量。4结果收集到脏点主要为灰尘、毛屑、干膜碎、铜粒等。粘尘机收集到的脏点形态分析：灰尘灰尘灰尘阶段分析：序号实验名称粘尘机收集到的脏点形态分析1背景目前渗16粘尘机收集到的脏点形态分析毛屑毛屑毛屑干膜碎干膜碎干膜碎粘尘机收集到的脏点形态分析毛屑毛屑毛屑干膜碎干膜碎干膜碎17粘尘机收集到的脏点形态分析：实验发现目前曝光脏点主要为灰尘类、毛屑、垃圾和铜粒，分別占45.0%,17.5%,17.5%和12.5%贡献度.灰尘:18个主要为黑色颗粒状,来源可能为:1.曝光人员身上灰尘带入;

2.曝光室內空气循环系统积压;3.机台掉屑；4.板面脏点带入。毛屑:7个主要为黑色颗粒状,来源可能为:1.无尘衣和口罩掉屑;垃圾:7个油渣

后续针对以上各可能性进行真因验证。粘尘机收集到的脏点形态分析：实验发现目前曝光脏点主要为灰尘类18阶段分析-1.空气循环口过滤方式曝光机曝光室风口结论:空气循环口灰尘较多易造成开路灰尘较多阶段分析-1.空气循环口过滤方式曝光机曝光室风口结19阶段分析-2.曝光机內部锈蚀掉屑锈蚀位置位于曝光台上方结论:曝光机內部锈蚀掉屑造

成曝光脏点导致开路用无尘纸擦拭发现掉落大量绣屑阶段分析-2.曝光机內部锈蚀掉屑锈蚀位置位于曝光台上方结20阶段分析-3.坦克链摩擦掉屑投板机链条作业时来回摩擦

用粘尘胶纸清洁发现掉落大量黑色异物

此类黑色异物均会造成曝光脏点和湿膜压伤结论:坦克链条摩擦掉屑造成曝光脏点导致开、短路。阶段分析-3.坦克链摩擦掉屑投板机链条作业时来回摩擦用粘21阶段分析-4.无尘衣灰尘处理方式用粘尘滚轮对无尘衣进行粘尘结论:无尘衣上带有灰尘易导致开路。阶段分析-4.无尘衣灰尘处理方式用粘尘滚轮对无尘衣进行粘尘22阶段分析-5.无尘衣及口罩清洗频率旧无尘衣磨损掉屑口罩掉屑掉落的毛屑块结论:目前部份人员无尘衣有破损现象,口罩容易起毛,均容易掉屑造成曝光脏点导致开路。阶段分析-5.无尘衣及口罩清洗频率旧无尘衣磨损掉屑口罩掉屑23阶段分析-6.手套使用时间

涂布前板面手指印造成板面氧化手指涉入成型区內造成板面氧化阶段分析-6.手套使用时间涂布前板面手指印造成板面氧化手24阶段分析-6.手套使用时间使用1小时后使用2小时后使用3小时后使用4小时后结论:目前前处理收板人員及放板人员的手套使用8小時后清洁度较差,容易污染板面,造成板面氧化导致开路.阶段分析-6.手套使用时间使用1小时后使用2小时后使用3小25

阶段分析

7.前处理-吸水海绵保养频率

前处理吸水海绵干枯造成板面水份未烘干残留药水（形成开路）。

靠近烘干段一根吸水海棉生产5-6小时后出现干枯现象,造成吸水能力不足药水残留孔边上药水残留

阶段分析

7.前处理-吸水海绵保养频率

前处理吸水海绵干枯26阶段分析-7.前处理-吸水海绵保养频率

刚保养后,水份充足,并有水滴出连续生产2小时候滚轮较湿润连续生产4小时后，滚轮开始干燥，触摸后手未被湿润连续生产6小时后，海绵干燥并硬化，，吸水能力严重不足结论:前处理吸水海绵连续生产每6小时后会开始出现干燥现象,吸水能力不足,造成板面药水残留导致开路.阶段分析-7.前处理-吸水海绵保养频率

刚保养后,水份充足27阶段分析—小结：序号要因解决方案1空气循环口过滤方式曝光机风口粘贴无尘纸过滤2曝光机内部锈蚀掉屑修复曝光机内部锈蚀3坦克链摩擦掉屑坦克链条底部加装粘尘纸4无尘衣灰尘处理a.将风淋时间由15秒延长到30秒；

b.风淋室墙壁粘贴粘尘纸；

c.风淋后作业员需要使用粘尘滚轮再次清洁身上灰尘5无尘衣及口罩清洗频率使用两种无尘衣分单双周更换并清洗，提高无尘衣清洁度6手套使用时间更换频率由4小时改为3小时7前处理海绵保养频率保养频率由6小时修正为4小时阶段分析—小结：序号要因解决方案1空气循环口过滤方式曝光机风28阶段性改善措施验证：用单层无尘纸作为滤网每周更换一次结论:通过无尘衣污染源清除与曝光机进风过滤后,曝光机內部落尘量较改善前有改善1.曝光机风口粘贴无尘纸过滤阶段性改善措施验证：用单层无尘纸作为滤网结论:通过无尘衣污染292.坦克链条底部加装粘尘纸阶段性改善措施验证：改善前改善后

投板机链条作业时来回摩擦掉屑造成曝光脏点坦克链条底部加装粘尘纸2.坦克链条底部加装粘尘纸阶段性改善措施验证：改善前改善后30阶段性改善措施验证：3.清除无尘衣污染源：將风淋时间从15秒调整为30秒风淋室墙壁粘贴粘尘纸风淋后作业员需用粘尘滚轮再次清除身上灰尘阶段性改善措施验证：3.清除无尘衣污染源：將风淋时间从15秒31阶段性改善措施验证：4.使用两种颜色管控无尘衣及口罩清洗频率：使用两种颜色无尘衣分单双周进行更换清洗,提高无尘衣的洁净度.白色无尘衣(单周)绿色无尘衣(双周)阶段性改善措施验证：4.使用两种颜色管控无尘衣及口罩清洗频率32阶段性改善措施验证:A.清楚无尘衣污染源B.使用两种颜色管控无尘衣及口罩清洗频率阶段性改善措施验证:A.清楚无尘衣污染源B.使用两种颜色管33阶段性改善措施验证:5.缩短手套的更换时间：改善前改善后收板人员及放板人员的手套使用8小时后清洁度较差收板人员及放板人员的手套使用6小时后更换阶段性改善措施验证:5.缩短手套的更换时间：改善前改善后收板34阶段性改善措施验证:6.缩短前处理吸水海绵保养频率：改善前改善后保养频率:6小时海绵干燥并硬化,吸水能力严重不足保养频率:4小时,滚轮开始干燥,触摸后手被沾湿阶段性改善措施验证:6.缩短前处理吸水海绵保养频率：改善前改35阶段性改善措施验证:A.缩短手套的更換頻率B.缩短前处理吸水海绵保养频率：阶段性改善措施验证:A.缩短手套的更換頻率B.缩短前处理吸水36阶段性改善措施汇总:要因解决方案空气循环口过滤方式曝光机风口粘贴用无尘纸过滤曝光机内部锈蚀掉屑修复曝光机内部锈蚀坦克链摩擦掉屑坦克链底部加装粘尘纸无尘衣灰尘处理方式1.将风淋时间从15秒调整为30秒2.风淋室墙壁粘贴粘尘纸3.风淋后作业员需用粘尘滚轮再次清楚身上灰尘无尘衣及口罩清洗频率使用两种颜色无尘衣分单双周更换清洗。提高无尘衣的洁净度手套使用时间更换频率由4小时改为3小时前处理吸水棉保养频率保养频率由6小时改为4小时WIP摆放方式制作WIP操作规范鼓风机保养频率每4个月保养一次阶段性改善措施汇总:要因解决方案空气循环口过滤方式曝光机风口37阶段性改善措施验证:內层MRB报废率趋势图及时措施改善后深入改善后阶段性改善措施验证:內层MRB报废率趋势图及时措施改善后深入38阶段性改善前后对比汇总:改善前要因表现改善后内部及参数空气循环口灰尘较多易造成TraceOpcen在曝光机风口粘贴无尘纸过滤，每周更换一次坦克链摩擦掉屑造成曝光盲点导致TraceOpcen在坦克链底部加装粘尘纸无尘衣上带有灰尘易导致TraceOpcen清除无尘衣污染源：1.将风淋时间从15秒调整为30秒。2.在风淋室墙壁粘贴粘尘纸。3.风淋后作业员需用粘尘滚轮再次清除身上灰尘部分人员无尘衣有破损现象，口罩容易起毛，均容易掉屑造成曝光盲点导致TraceOpcen使用两种颜色管控无尘衣及口罩清洗频率前处理收板人员及放板人员的手套使用四小时后清洁度较差，容易污染板面，造成板面氧化易导致TraceOpcen缩短手套的使用频率，由4小时改为3小时请处理吸水棉连续生产6小时后会开始出现干燥现象，吸水能力不足，造成板面药水残留导致TraceOpcen缩短前处理吸水棉保养频率，由6小时改为4小时WIP摆放不规范制作WIP操作规范，如附件鼓风机内部未做保养制定鼓风机内部保养频率，1次/4个月阶段性改善前后对比汇总:改善前要因表现改善后内部及参数空气循39内层深入改善后MRB项目统计：主要缺陷开路短路阻值不符微短内开定位短路曝光不良内短内层不配套其它报废面积45.0032.453.953.261.921.531.290.910.390.35占总报废百分比49.42%35.64%4.34%3.58%2.10%1.68%1.42%1.00%0.43%0.38%累积百分比49.42%85.06%89.40%92.98%95.09%96.77%98.18%99.18%99.61%100.00%从8月份内层MRB数据分析，开、短路不良由4月份的246㎡下降到45㎡，表明改善措施有效。内层深入改善后MRB项目统计：主要缺陷开路短路阻值微短内开定40阶段改善措施标准化：因子解决方案标准化空气循环口过滤方式曝光机风口粘贴用无尘纸过滤

曝光机内部锈蚀掉屑修复曝光机内部锈蚀

坦克链摩擦掉屑坦克链底部加装粘尘纸

无尘衣灰尘处理方式1.将风淋时间从15秒调整为30秒

2.风淋室墙壁粘贴粘尘纸3.风淋后作业员需用粘尘滚轮再次清楚身上灰尘无尘衣及口罩清洗频率使用两种颜色无尘衣分单双周更换清洗。提高无尘衣的洁净度

手套使用时间更换频率由12小时改为8小时

前处理吸水棉保养频率保养频率由6小时改为4小时

WIP摆放方式制作WIP操作规范

鼓风机保养频率每4个月保养一次

阶段改善措施标准化：因子解决方案标准化空气循环口过滤方式曝光41飞腾圈QCC活动感言

此次QCC活动期间大家自己动手收集、整理和分析各类数据。使产品的质量信息及过程中的问题点以图表的形式显现在我们的眼前，让我们一针见血的找到病因,将有限的力量集中在重要的问题点上，使问题点得到较好的解决。从直观透明手段充分量化显示出来，提升了每位成员的品质意识及解决问题的能力，并能熟练的运用QC七大手法收集数据、发现问题、分析问题、解决问题、标准化，我想在圈员的不懈努力下，会将品质持续改善到底。这次活动使得用科学方法解决生产中问题的作用更加凸显，同时提高了我们学习的兴趣。增强了我们解决复杂问题的能力。这种非常系统的解决问题的手法能通过发挥团队的力量来解决问题真的非常有效。在此我代表我们质跃圈的所有圈员感谢万水冰经理的悉心授教和孙艮南总监的全力辅导.飞腾圈QCC活动感言此次QCC活动期间大家自己42圈员无形成果汇总：无形成果：1、增加QC手法学习2、品质意识提高3、解决问题能力增强4、提高表达能力5、增强沟通协调能力6、有成就感圈员无形成果汇总：无形成果：43ThankYou!ThankYou!44飞腾圈生产部郭群2012/09/15深圳中富电路有限公司生产部内层工序QCC圈成果展示飞腾圈生产部郭群45

QCC圈的组建圈名：飞腾圈成立日期：2012年5月15日圈长：郭群辅导员：万水冰圈员：杨明春、刘介红、匡华兰、李永磊、杨丽娟、石付成、王辉张勇、刘壮壮、陈大凤

46课题选择

2012年13周开始，我司内层报废率0.68%-0.86%超出目标，未达到厂内目标

0.60%，影响我司一次合格率，需进行改善.

周期WK12WK13WK14WK15目标0.60%0.60%0.60%0.60%实际0.70%0.68%0.86%0.80%课题选择2012年13周开始，我司内层报废率047

确定项目：改善内层报废率

确定项目：改善内层报废率

48飞腾圈活动计划表

5月6月7月

W17W18W19W20W21W22W23W24W25W26W27W28QCC组建立

活动项目的选定

活动计划

现状的把握--数据收集

数据分析

确定目标

要因分析

及时改善实施

及时措施实施验证

阶段性要因分析

阶段性改善实施验证

改善措施标准化

成果汇总

飞腾圈活动计划表5月6月7月49内层MRB统计：月份三月四月报废面积163.58193.51报废率0.6419%0.7126%3月份内层报废率0.64%，4月份报废率0.71%，均超出目标值0.60%，并呈现上升趋势。内层MRB统计：月份三月四月报废面积163.58193.550内层MRB不良项目统计：主要缺陷开路短路微短曝光不良擦花定位开路内层不配套铜厚不够定位短路其它报废面积246.3192.127.352.991.921.081.061.000.842.42占总报废百分比68.98%25.80%2.06%0.84%0.54%0.30%0.30%0.28%0.24%0.68%累积百分比68.98%94.77%96.83%97.67%98.21%98.51%98.81%99.09%99.32%100.00%从3、4月份内层报废的明细分析，主要报废项目为：开路、短路不良。内层MRB不良项目统计：主要缺陷开路短路微短曝光擦花定位内层51确定改善目标：目标：

1.降低内层工序开短路问题，从而降低内层工序的报废率；

2.实际报废率，由1215周的0.80%降低到目标值0.60%以内；最终实际报废率降低到0.50%以内。

改善前比率目标提升比例最终目标比例0.80%0.60%0.50%确定改善目标：目标：

1.降低内层工序开短路问题，从而降52目前流程图---影响制程开料Processflowchart前处理涂布CCD对位、曝光显影蚀刻褪膜异常重工AOIYes重工压合EndMRBNoNo目前流程图---影响制程开料Processflowch53原因分析---鱼骨图无尘室落尘量异常机台曝光机设备掉屑橫送器摩擦掉屑前处理吸水海绵保养频率方法物料环境粘尘纸及粘尘滚轮异常粘尘纸卷內存在异物无尘用品掉屑无尘室正压监控异常未定時進行檢測DES线问题喷嘴脱落空气循环口过滤方式粘尘机异常粘尘滚轮破损鼓风机保养频率无界定人員操作异常新进人员清洁方法不完善无具体的操作标准WIP摆放方式未按规定对底片进行清洁规定不完善壓克力框刮傷亚克力框异常亚克力框有白点坦克链摩擦掉屑无尘纸掉屑未制定清洁保养的计划表无尘室进出人员未按规定着装地面破损扬尘粘尘纸掉毛屑粘尘滚轮破损老化,掉屑手套使用时间湿膜问题无尘衣口罩清洗频率无尘衣灰尘处理方式为什么会报废率超标湿膜颜色为乳白色，检验非常困难自动收板机掉板传送此轮不转，导致卡板造成开路烘干段异常原因分析---鱼骨图无尘室落尘量异常机台曝光机设备掉屑橫送器54要因分析方案：序号要因解决方案1空气循环口过滤方式分阶段2曝光机内部锈蚀掉屑分阶段3坦克链摩擦掉屑分阶段4无尘衣灰尘处理方式分阶段5无尘衣及口罩清洗频率分阶段6手套使用时间分阶段7前处理吸水海绵保养频率分阶段8湿膜颜色为乳白色，检验非常困难快速改善9WIP摆放方式快速改善10鼓风机保养频率快速改善要因分析方案：序号要因解决方案1空气循环口过滤方式分阶段2曝55要因分析措施快速实施：湿膜更换改善：

更换后更换前更换后使用乳白色湿膜，肉眼无法分辩板面存在的垃圾和其他问题。使用蓝色湿膜，肉眼易分辨板面存在的垃圾和其他问题。要因分析措施快速实施：湿膜更换改善：更换后更换前更换后使用乳56要因分析措施快速实施：WIP摆放改善：通过规范摆放，防止湿膜擦花改善前改善后要因分析措施快速实施：WIP摆放改善：改善前改善后57鼓风机保养改善：改善前未对鼓风机做设备保养鼓风机马达外壳进出风过滤套管马达内轴套管内滤网套管内过滤海棉改善后增加保养1次/4个月保养前保养后鼓风机保养改善：改善前鼓风机马达外壳进出风过滤套管马达内轴套58及时措施实施效果验证：内层MRB报废趋势图及时措施实施后及时措施实施效果验证：内层MRB报废趋势图及时措施实施后59阶段分析：序号实验名称粘尘机收集到的脏点形态分析1背景目前渗镀不良主要受曝光脏点影响。2目的分析目前曝光脏点的种类及比列，对重点项目进行改善。3步骤a.针对外层各粘尘机继续拧脏点收集；步骤b.分析粘尘纸上脏点的种类及数量。4结果收集到脏点主要为灰尘、毛屑、干膜碎、铜粒等。粘尘机收集到的脏点形态分析：灰尘灰尘灰尘阶段分析：序号实验名称粘尘机收集到的脏点形态分析1背景目前渗60粘尘机收集到的脏点形态分析毛屑毛屑毛屑干膜碎干膜碎干膜碎粘尘机收集到的脏点形态分析毛屑毛屑毛屑干膜碎干膜碎干膜碎61粘尘机收集到的脏点形态分析：实验发现目前曝光脏点主要为灰尘类、毛屑、垃圾和铜粒，分別占45.0%,17.5%,17.5%和12.5%贡献度.灰尘:18个主要为黑色颗粒状,来源可能为:1.曝光人员身上灰尘带入;

2.曝光室內空气循环系统积压;3.机台掉屑；4.板面脏点带入。毛屑:7个主要为黑色颗粒状,来源可能为:1.无尘衣和口罩掉屑;垃圾:7个油渣

后续针对以上各可能性进行真因验证。粘尘机收集到的脏点形态分析：实验发现目前曝光脏点主要为灰尘类62阶段分析-1.空气循环口过滤方式曝光机曝光室风口结论:空气循环口灰尘较多易造成开路灰尘较多阶段分析-1.空气循环口过滤方式曝光机曝光室风口结63阶段分析-2.曝光机內部锈蚀掉屑锈蚀位置位于曝光台上方结论:曝光机內部锈蚀掉屑造

成曝光脏点导致开路用无尘纸擦拭发现掉落大量绣屑阶段分析-2.曝光机內部锈蚀掉屑锈蚀位置位于曝光台上方结64阶段分析-3.坦克链摩擦掉屑投板机链条作业时来回摩擦

用粘尘胶纸清洁发现掉落大量黑色异物

此类黑色异物均会造成曝光脏点和湿膜压伤结论:坦克链条摩擦掉屑造成曝光脏点导致开、短路。阶段分析-3.坦克链摩擦掉屑投板机链条作业时来回摩擦用粘65阶段分析-4.无尘衣灰尘处理方式用粘尘滚轮对无尘衣进行粘尘结论:无尘衣上带有灰尘易导致开路。阶段分析-4.无尘衣灰尘处理方式用粘尘滚轮对无尘衣进行粘尘66阶段分析-5.无尘衣及口罩清洗频率旧无尘衣磨损掉屑口罩掉屑掉落的毛屑块结论:目前部份人员无尘衣有破损现象,口罩容易起毛,均容易掉屑造成曝光脏点导致开路。阶段分析-5.无尘衣及口罩清洗频率旧无尘衣磨损掉屑口罩掉屑67阶段分析-6.手套使用时间

涂布前板面手指印造成板面氧化手指涉入成型区內造成板面氧化阶段分析-6.手套使用时间涂布前板面手指印造成板面氧化手68阶段分析-6.手套使用时间使用1小时后使用2小时后使用3小时后使用4小时后结论:目前前处理收板人員及放板人员的手套使用8小時后清洁度较差,容易污染板面,造成板面氧化导致开路.阶段分析-6.手套使用时间使用1小时后使用2小时后使用3小69

阶段分析

7.前处理-吸水海绵保养频率

前处理吸水海绵干枯造成板面水份未烘干残留药水（形成开路）。

靠近烘干段一根吸水海棉生产5-6小时后出现干枯现象,造成吸水能力不足药水残留孔边上药水残留

阶段分析

7.前处理-吸水海绵保养频率

前处理吸水海绵干枯70阶段分析-7.前处理-吸水海绵保养频率

刚保养后,水份充足,并有水滴出连续生产2小时候滚轮较湿润连续生产4小时后，滚轮开始干燥，触摸后手未被湿润连续生产6小时后，海绵干燥并硬化，，吸水能力严重不足结论:前处理吸水海绵连续生产每6小时后会开始出现干燥现象,吸水能力不足,造成板面药水残留导致开路.阶段分析-7.前处理-吸水海绵保养频率

刚保养后,水份充足71阶段分析—小结：序号要因解决方案1空气循环口过滤方式曝光机风口粘贴无尘纸过滤2曝光机内部锈蚀掉屑修复曝光机内部锈蚀3坦克链摩擦掉屑坦克链条底部加装粘尘纸4无尘衣灰尘处理a.将风淋时间由15秒延长到30秒；

b.风淋室墙壁粘贴粘尘纸；

c.风淋后作业员需要使用粘尘滚轮再次清洁身上灰尘5无尘衣及口罩清洗频率使用两种无尘衣分单双周更换并清洗，提高无尘衣清洁度6手套使用时间更换频率由4小时改为3小时7前处理海绵保养频率保养频率由6小时修正为4小时阶段分析—小结：序号要因解决方案1空气循环口过滤方式曝光机风72阶段性改善措施验证：用单层无尘纸作为滤网每周更换一次结论:通过无尘衣污染源清除与曝光机进风过滤后,曝光机內部落尘量较改善前有改善1.曝光机风口粘贴无尘纸过滤阶段性改善措施验证：用单层无尘纸作为滤网结论:通过无尘衣污染732.坦克链条底部加装粘尘纸阶段性改善措施验证：改善前改善后

投板机链条作业时来回摩擦掉屑造成曝光脏点坦克链条底部加装粘尘纸2.坦克链条底部加装粘尘纸阶段性改善措施验证：改善前改善后74阶段性改善措施验证：3.清除无尘衣污染源：將风淋时间从15秒调整为30秒风淋室墙壁粘贴粘尘纸风淋后作业员需用粘尘滚轮再次清除身上灰尘阶段性改善措施验证：3.清除无尘衣污染源：將风淋时间从15秒75阶段性改善措施验证：4.使用两种颜色管控无尘衣及口罩清洗频率：使用两种颜色无尘衣分单双周进行更换清洗,提高无尘衣的洁净度.白色无尘衣(单周)绿色无尘衣(双周)阶段性改善措施验证：4.使用两种颜色管控无尘衣及口罩清洗频率76阶段性改善措施验证:A.清楚无尘衣污染源B.使用两种颜色管控无尘衣及口罩清洗频率阶段性改善措施验证:A.清楚无尘衣污染源B.使用两种颜色管77阶段性改善措施验证:5.缩短手套的更换时间：改善前改善后收板人员及放板人员的手套使用8小时后清洁度较差收板人员及放板人员的手套使用6小时后更换阶段性改善措施验证:5.缩短手套的更换时间：改善前改善后收板78阶段性改善措施验证:6.缩短前处理吸水海绵保养频率：改善前改善后保养频率:6小时海绵干燥并硬化,吸水能力严重不足保养频率:4小时,滚轮开始干燥,触摸后手被沾湿阶段性改善措施验证:6.缩短前处理吸水海绵保养频率：改善前改79阶段性改善措施验证:A.缩短手套的更換頻率B.缩短前处理吸水海绵保养频率：阶段性改善措施验证:A.缩短手套的更換頻率B.缩短前处理吸水80阶段性改善措施汇总:要因解决方案空气循环口过滤方式曝光机风口粘贴用无尘纸过滤曝光机内部锈蚀掉屑修复曝光机内部锈蚀坦克链摩擦掉屑坦克链底部加装粘尘纸无尘衣灰尘处理方式1.将风淋时间从15秒调整为30秒2.风淋室墙壁粘贴粘尘纸3.风淋后作业员需用粘尘滚轮再次清楚身上灰尘无尘衣及口罩清洗频率使用两种颜色无尘衣分单双周更换清洗。提高无尘衣的洁净度手套使用时间更换频率由4小时改为3小时前处理吸水棉保养频率保养频率由6小时改为4小时WIP摆放方式制作WIP操作规范鼓风机保养频率每4个月保养一次阶段性改善措施汇总:要因解决方案空气循环口过滤方式曝光机风口81阶段性改善措施验证:內层MRB报废率趋势图及时措施改善后深入改善后阶段性改善措施验证:內层MRB报废率趋势图及时措施改善后深入82阶段性改善前后对比汇总:改善前要因表现改善后内部及参数空气循环口灰尘较多易造成TraceOpcen在曝光机风口粘贴无尘纸过滤，每周更换一次坦克链摩擦掉屑造成曝光盲点导致TraceOpcen在坦克链底部加装粘尘纸无尘衣