志圣干刻故障维修手册

经典word整理文档，仅参考，双击此处可删除页眉页脚。本资料属于网络整理，如有侵权，请联系删除，谢谢！PRS基本故障与排除1、PRS故障讯息2、故障原因排除一、PRS故障讯息!second秒:----!:----不合格!!"&_RF_F&"%反射功率大于设定值"""&P_RF_F&"%"输入功率大于设定值"""&P_RF_F%"频输入功率小于设定值""&i&"&%"质流控制器(MFC)&i&"&&"%"质流控制器(MFC)"&&"%"故障！压力(MKS)"&&"%"故障！压力(MKS)!!DI()!DO()!!!!MKS()!(旋转模块)!(旋转模块)!!!!!gauge)!!故障！转子(旋转模块)!!!故障原因与排除1.FAULT!EXHAUSTFAIL!故障！排气失败！原因:早期PRS于PUNP排气端有加设EXHAUST(排气负背背压需小于-0.02torr该读值可由PUMP排气端SMCgauge上读取。目前该设置均已取消)处理.认PUMP排气端是否设有负压侦测器，若有则检查读值是否正确，确认厂务EXHAUST是否开启，调整设定测试gauge是否正常。2.进入计算机程序系统，最高权限中『组件组合』项目，确认EXHAUST单元是否被勾选。2.Fault:Totalprocesstimeislargethansettingtimeabout10econd于设定时间约10秒。原因因系统警告或软件BUG造成制程动作延迟。处理进行软件修正BUG。3.Fault:漏----不合格!原因:进行系统测漏程序，其结果超出设定时发出。处理:.新确认测漏条件，抽气时间是否设定太短，漏率标准是否太高。2.检查腔体内是否清洁，O-ring是否破损。4.FAULT!,ICP_RFReflectivepowerislargethansettingvalue射功率大于设定值原因:射频反射功率达到程序项目内设定之警告值。处理:.体污染，请清洁腔体。2.程序项目内参数异常，请检查a.RFReflectivepower百分比过低！b.程序间延迟时间(delaytime)短！c.子程序顺序错误3.RFcable脱、断线或短路。4.Matcherboxmatching常，Coil铜线松脱、断线、短路或氧化。5.FAULT!,ICP_RF'sForwardpowerislargethansettingalue输入功率大于设定值原因:射频输入功率达到程序项目内设定之警告值。处理:.用dummyload进行射频产生器(RFGenerator)出功率测试。2.确认射频产生器内输出功率调整差值是否变动。6.FAULT!,ICP_RF'sForwardpowerislessthansettingalue输入功率小于设定值原因:射频输入功率达到程序项目内设定之警告值。处理:.用dummyload进行射频产生器(RFGenerator)出功率测试。2.确认射频产生器内输出功率调整差值是否变动。7.FAULT!COMPRESSAIRFAIL!故障！压缩空气(CDA供压失败！原因:GASbox内CDA压力侦测器达到警告值。处理:1.检查厂务供气是否正常。2.检查管路是否阻塞。3.检查CDA压力侦测器是否正常。8.FAULT!MFC("&i&")flowislargethansettingalue流控制器流量大于设定值原因:质流控制器流量达到程序项目内设定之警告值。处理:.供气手动阀关闭，MFCMFC归零后再开启手动阀测试。2.更换MFC。9.FAULT!MFC("&i&")flowislessthansettingalue流控制器流量小于设定值原因:质流控制器流量达到程序项目内设定之警告值。处理:.查厂务端供气是否正常。2.检查手动阀、气动阀、电控阀件是否动作正常。3.将供气手动阀关闭，MFCMFC归零后再开启手动阀测试。4.更换MFC。10.FAULT!PRESSURE(MKS)islargethansettingvalue压力(MKS)大于设定值！原因:CT1压力(MKSGauge)读值大于程序内部设定之警告值。处理:.体污染，内含过量粉尘或水气，请清洁腔体。2.PUMP抽气效率不良，测试PUMP底压。3.腔体或气体管路漏气，请更换O-RING或GASKEY。11.FAULT!PRESSURE(MKS)islessthansettingvalue压力(MKS)小于设定值！原因:CT1压力(MKSGauge)读值小于程序内部设定之警告值。处理:.务端气体未开或供气不足。2.MFC下方气动阀未开启，检查气动阀动作或CDA供气是否正常。3.MFC或腔体或气体管路阻塞，请检查管路。12.FAULT!PUMPsystemfail!障！帮浦系统失败！原因:系统启动时PUMP上方SMCvacuumswitch未达到设定值(-700mmhg)处理:.查PUMP有无起动，冷却水是否开启，水流量传感器是否正常。2.检查真空开关是否归零，PUMP抽气是否达到设定值。13.FAULT!WATERFLOWfail!故障！冷却水流量失败！原因:系统启动时冷却水流量未达到设定值处理:.查厂务冷却水是否开启。2.检查PUMP或系统冷却水是否开启。3.检查水流量传感器是否正常。14.Fault:CHAMBERLIDOPEN!故障！腔体门盖开启！原因:系统启动时腔体门未关闭。处理:.查腔体门是否关闭。2.检查腔体上方两颗安全开关动作是否正常。15.Fault:ERROR_FLAGRISE故障！错误讯号发生！原因:系统发生错误讯号。处理:.查错误讯号发生原因。16.Fault:I7000DIMODULEERROR故障！I7000DI(数字输入模块错误!)原因:DI(7053)字控制模块异常。处理:.查所有数字模块灯号、电源(24V)是否正常。2.检查数字模块(7520)RS232转RS485讯号是否正常。3.检查数字模块(7053)数字模块是否正常。17.Fault:I7000DOMODULEERROR故障！I7000DO(数字输出模块错误!)原因:DO(7043)字控制模块异常。处理:.查所有数字模块灯号、电源(24V)是否正常。2.检查数字模块(7520)RS232转RS485讯号是否正常。3.检查数字模块(7043)数字模块是否正常。18.Fault:I7000(SMC)ERROR!障！I7000(SMC)!错误原因:SMC数字控制异常。处理:.查所有SMC控制讯号是否正常。2.检查数字模块(7520)RS232转RS485讯号是否正常。3.检查数字模块(7053)数字模块是否正常。19.Fault:ICP_RFAUTOMATCHINGERROR!故障！射频自动匹配错误!原因:射频匹配器无法自行匹配。处理:.查匹配器内电容及马达动作是否正常。2.检查匹配器电源是否正常。3.检查匹配器控制模块是否正常。20.Fault:MACHINEINITALERROR!故障！匹配初始错误!原因:射频匹配器无法连接。处理:.查匹配器电源是否正常。2.检查匹配器讯号线是否连接21.Fault:MKS-CLOSE--ERROR!障！MKS(原因:MKS(节流阀无法关闭节流阀关闭错误!)处理:.查MKS(节流阀动作是否正常。22.Fault:MOTORBREAKERROR!故障！旋转模块马达损坏错误!()原因:旋转模块马达损坏！处理:.查旋转模块马达供电是否正常。2.检查旋转模块马达动作是否正常。3.检查旋转模块控制器讯号是否正常。23.Fault:MOTORSETERROR!故障！旋转模块马达设置错误!()原因:旋转模块马达设置错误！处理:.查旋转模块马达供电是否正常。2.检查旋转模块马达动作是否正常。3.检查旋转模块控制器讯号是否正常。24.Fault:PUMPDOWNTIMEOUT!故障！抽气时间过长故障！抽气时间过长!!原因:AUTORUN时腔体后SMC真空开关未达设定值)处理:.查腔体门板是否紧密。2.检查SMC真空开关设定是否过低。3.检查PUMP抽气效能是否衰竭。25.Fault:Pumptobasepressurefailed,initialimeout!"压力失败，初始时间过长原因:AUTORUN时PUMP初始(INITIAL)抽气超过30分钟。!处理:.查腔体门板是否紧密。2.在手动操作MAINTENANCE)画面确认PUMP初始(INITIAL)抽气设定是否过低。3.检查腔体或产品是否漏气溢气)26.Fault:READPRESSURE(MKS)--ERROR!"故障！读取压力(MKSgauge)失败原因:CT1真空计无读值。!处理:.查CT1讯号线是否脱落。2.检查MKS控制器是否正常。3.检查DI模块接点是否正常。27.Fault:RFCONTROLERROR!故障！射频控制失败原因:射频产生器无法控制。!处理:.系统关闭，离开计算机控制程序。2.将射频产生器关机后重新开启。3.检查射频产生器通讯设定(9600)28.Fault:RotorSpeedreadrror转子旋转模块速度读取失败!()原因:无法读取旋转模块转速。处理:.查DI模块讯号接线是否正常。2.检查旋转模块控制器是否正常。29.Fault:RotorSpeedreadrror伺服压力失败原因:MKS(节流阀无法控压。!处理:.认制程气体流量，在控压范围内！(RFPOWERON气体解离，腔体压力会更大)2.检查MKS(节流阀动作是否正常，进行LEARNING。3.确认腔体真空回压率是否正常，有无漏气。30.Fault:SETICP_RFPOWEROFFERROR.故障！设定射频电源关闭失败！原因:RF射频产生器电源无法关闭计算机上无法操作。处理:.换至手动关闭。2.检查DO模块讯号接点是否正常。31.Fault:SETICP_RFREMOTEMODEERROR.故障！设定射频遥控模式失败！原因:RF射频产生器无法摇控计算机上无法操作。处理:.系统关闭，离开计算机控制程序。2.将RF电源关闭后重新开启。3.检查射频产生器通讯设定(9600)32.Fault:SETICP_RFSECHOOFFERROR.故障！设定射频回应关闭失败！原因:(频无法关闭响应。处理:.换至手动关闭。2.检查DO模块讯号接点是否正常。33.Fault:SETMOTORSTOPERROR!故障