ZYGO干涉仪GPIXPD使用说明

ZYGO干涉仪使用说明目的范围

记录

3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVEDATE保存。相关文件4.1•

定义

应用（）用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。

）

镜片像

升降台

/View

切换的2align模式模式是切换的2

标准镜

掩膜（）

职责

主要包括以下几个方面：6.1zygo干涉仪使用和维护部门为品管部。

。6.2按照校准计划对设备定期检定。6.3按照操作规程操作仪器（6.4定期对设备进行保养。

工具、计量器具、测量设备

7.1

ZYGO7.2认识干涉仪

7.3

安全要求

•

•

操作流程

9.1开机依次开启ZYGO显示器电源，机箱控制面板上电源按钮：MASTER、MONITOR、AUX1、AUX2，以及干涉仪主机箱右侧下方POWER。

9.2启动软件，运行程序进入Windows

后，双击Metropro.exe

（如图一），运行程序，进入ZYGO测试操作桌面。GPI.app，或者相应的程序。

图一9.3平行度测试主要测试步骤如下：9.3.1按监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的最亮光斑与十字分划线交点重合。完成后,按遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于浏览状态。双击ZYGO测试操作桌面中angle.app按钮进入平行测试操作界面。

9.3.2调整好后将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直于测试光（监视器中晶体边缘清晰可见。）

9.3.3点击操作界面左下角Measure

Controls

对话框中的

Refractive

index,

录入待测晶体的折射率（选择632.8nm时对应晶体的折射率，如图二），按回车键确定。图二9.3.4点击测试界面左上角的Calibrate按钮，在弹出的对话界面中点击Fringe

按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。9.3.5点击测试界面中左上角Mask

Data按钮（如图三、四所示）,

在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。并在动态图像上方无晶体的空间内，选择与待测晶体规格相近的区域，此区域将作为参考区域。图三

然后，点击下部选项中的BG

Inc使该按钮变为BG

EXC，锁定选择区，点击Define，定义Acq。之后点击Test，选择Unfill，去除最后标定的参考区域，图四点击Define，定义Test（晶体测试区域）。再点击Ref，选择Fill，添加最后标定的参考区域，点击Pick，然后用鼠标点击待测晶体区域边框，选择Unfill，去除晶体待测区域，点击Define，定义Ref（参考区域）。

9.3.6点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。当监视器中左下角出现Wedge

X.X

sec（表示被测量器件两表面的夹角为X.X秒）时，记录下此时X.X

即为晶体的平行度。测试完毕后关闭平行度测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。9.4

平面度测试

9.4.1

调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。移除标准参考反射镜面，将晶体放置到样品支架上，调整晶体方向，使其反射回的光斑与十字分划线交点重合。完成后，按监视器遥控器上的显示切换键，使监视器处于浏览状态。点击ZYGO测试操作桌面中GPI.app按钮进入平面度测试操作界面。9.4.2点击测试界面左上角的Calibrate按钮（如图五所示），在弹出的对话界面中点击Fringe按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。9.4.3点击测试界面中左上角Mask

Data按钮（如图五所示）,

在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。点击Define，定义待测区域。9.4.4点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。当监视器中左上角出现PV

X.XXX

Wave（表示被测样品最高点与最低点之间的距离为X.XXXλ）时（如图六所示），记录此时X.XXX即为晶体的平面度值。测试完毕后关闭测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。图五图六9.5

波前畸变测试

主要测试步骤如下：9.5.1调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的最亮光斑与十字分划线交点重合。完成后,按监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于浏览状态。点击ZYGO测试操作桌面中GPI.app按钮进入波面测试操作界面。9.5.2将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直于测试光（监视器中晶体边缘清晰可见）。9.5.3点击测试界面左上角的Calibrate按钮，在弹出的对话界面中点击Fringe

按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。9.5.4

点击测试界面中左上角Mask

Data按钮,

在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。点击Define，定义待测区域。9.5.5点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。当监视器中左上角出现PV

X.XXX

Wave（表示被测样品最高点与最低点之间的距离为X.XXXλ）时，记录此时X.XXX即为晶体的波面数值（如图五所示）。测试完毕后关闭波面测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。10.0

细节说明和结语10.1

安全要求

10.1.1

测量过程中，注意对透镜的防护，尤其是表面和边角容易损坏的部位。10.1.2

标准镜使用时要插入到位，螺丝拧紧。不用时要摆放到盒子中避免意外损坏。10.1.3使用干涉仪测量面形主要包括以下步骤：开机，选择、安装标准镜，找到待测零件表面干涉条纹，输入零件号等相关信息，设定长度基准，取掩膜，测量，结果保存和打印。不同的零件在找干涉条纹和一些设定方面有所区别，但是基本步骤差不多。10.2

A

切换到

10.3

平面：

3根左右。

球面

cateye

310.4X

柱面

3模模式。10.410.5