洁净间运行管理基准

2009.

7.

31.

1.1

1.2

2.

2.1

2.2

2.3

3.

3.1

3.2

3.3

3.3.1

,

3.3.2

3.3.3

3.3.4

3.3.5

3.4

3.4.1

3.4.2

3.4.3

3.4.4

3.4.5

3.4.6

4.

4.1

4.1.1

4.1.2

4.1.3

4.1.4

4.2

4.2.1

4.2.2

4.2.3

4.3

(monitoring)4.3.1

4.3.2

4.3.3

4.3.4

4.3.5

4.3.6

4.3.7

4.3.8

4.4

4.4.1

4.4.2

4.4.3

4.4.4

5.

5.1

5.1.1

5.1.2

5.1.3

5.1.4

5.2

5.2.1

Air

Filter[]1.

CLEAN

ROOM

2.

CLEAN

ROOM

3.

(MONITORING)4.

5.

Clean

Room1.

1.1.

目的及适用范围本基准可视为洁净间安装时或安装后的全面管理事项,其目的主要是在于帮助洁净间的运行管理.本基准适用于洁净度为M1-M10,000,000级的产业用洁净间.本基准不适用于生物洁净间.1.2

关联基准（参考文献）下述文献为本基准制作参考资料日本空气洁净器协会JACA

NO.14B-1986日本空气洁净协会洁净手册2.

本基准使用的主要用语于意义如下.2.1

洁净间工作人员所谓洁净间工作人员是指运行维护管理洁净间洁净度，使生产（包括研究及开发活动）进行正常运行的洁净间管理人员及洁净间内操作人员.2.2

洁净服所谓洁净服是指洁净间内操作人员穿戴的衣服，鞋子，手套，口罩，帽子等.2.3

洁净区域分类2.3.1

管理区域: 此区域为管理室外与洁净度区间的建筑物内部空间.入室人员更换外穿鞋，外穿衣的非洁净区域.2.3.2

准洁净区域:

进入洁净间前所经过的洁净服更换区域即无尘鞋，口罩穿戴并进行手部清洗干燥的区域.2.3.3

洁净区域:

产品生产进行区域，包括洁净间及服务区间.3.

3.1

一般事项洁净间在产品生产中非常重要，洁净间全面知识的掌握理解固然重要，但是与此相比，有效率地进行生产活动更为重要.3.2

洁净间运行管理人员任职资格3.2.1

需具备丰富的污染控制知识.3.2.2

需决定洁净间使用物品的洁净度.3.2.3

需熟知当前产品性能及制造技术.3.2.4

需熟知当前洁净间构造，性能，洁净化技术.3.2.5

需熟知当前洁净间维护，安全等方法.3.2.6

需具备洁净间、产品、洁净服的洁净度测定法知识并熟知测量仪.3.2.7

需具备操作人员教育能力，污染控制及洁净间运行知识并能对操作人员进行培训.3.3

洁净间运行管理人员管理事项3.3.1

洁净间的运行,

停止需对当前洁净间运行停止试验做管理及检查.举例说明,

需对洁净度水准达标进行的试运行,

作业完毕后的停止运行,火灾、地震等现象停止运行进行管理.(1)

洁净间作业开启前，在达到规定洁净度为止需进行试运行.(2)

洁净间在作业完毕，清扫作业结束，恢复到洁净间规定的洁净度后，停止运行.但是在为了保护产品需要时，也有部分继续运行的情况.(3)

在发生火灾、地震时停止运行.(4)

洁净间记录由运行管理人员或担当人员制作，由运行管理人员进行定期检查.3.3.2

洁净间的进入人员管理此基准适用于所有洁净间进入人员

,要对进入时的心里状态,

进入人员

,

作业者出入时间（上午，下午），作业时间及不允许进入的操作人员同时进行管理.(1)

进入洁净间的所有人员都需有提高洁净度自我意识并努力致力于洁净度的维护.(2)

做到进入人员最少化.(3)

对进入人员做以下事项记录.(a)

洁净间内时间别进入人员数及作业时间(b)

洁净间工作者以外进入人员数及出入时间(4)

以下人员不能进入洁净间.(a)

不属于洁净间操作人员或未得到运行管理人员许可入内的人员.(b)

不根据洁净服规定穿戴顺序着装的人员.(c)

吸烟、饭后不满30分以上的人员.(d)

休息时间做流汗剧烈运动的人员.(5)

下述健康状态或体质的人员原则上不允许进入洁净间.(a)

因皮肤病,湿疹,伤口致皮肤角质脱落严重的人员.(b)

对化学纤维过敏的人员.(c)

对洁净间用料过敏的人员.(d)

手出汗严重的人员.(e)

鼻子分泌物多的人员.(f)

感冒或喘息打喷嚏的人员.(g)

角质脱落,

头皮屑,

毛发脱落多的人员.(h)

患有神经病或封闭恐怖症的人员.(i)

化妆或涂指甲油的人员.3.3.3

洁净间操作人员的教育培训操作人员在教育培训时应考虑如下主要项目.(1)

教育(a)

洁净度一般管理常识(b)

洁净间设施构造及性能(c)

洁净间内部作业内容(d)

洁净间的维护及清扫(e)

洁净间内部产品及操作人员的行动轨迹(f)

安全对策(g)

保健卫生(h)

洁净间用搬运工具的管理(i)

洁净服着衣更衣,步行方法等洁净间内的行动(j)

搬入器材的洁净化,洁净度检查等(2)

培训在洁净间设施开始正常运行前利用洁净间设施或其他恰当设施进行洁净间进入顺序，进出活动及安全关联事项的反复训练.3.3.4

洁净间操作人员的选拔在考虑洁净间作业者工作特性的基础上进行人员选拔.

因穿着洁净服,密闭空间洁净空间，使用化学药品的场所多，最好是和微生物学、心理学家进行探讨协商,同时还考虑到肉体上和精神上的特性.3.3.5

洁净间设施的记录管理为进行正常运行确认，异常检修及维修，污染源查明，产品品质管理基础资料积累，需对洁净间设施进行记录管理.(1)

洁净间设施(a)

洁净间设施运行管理人员应制定洁净间设施异常对应措施，在措施规定中除了记入设施运行顺序，管理方法，紧急应对方法外，还需要记入管理人员及相关人员的联系方式.(b)

洁净间的运营运行管理人员需做成日、月运行记录并定期进行确认.(c)

空调设备①

确认洁净度，风速，风量，室内压，湿度等是否正常.②

发现异常时，根据日志进行检修.③

一个月进行一次以上性能检修，并确认记录异常有无.(d)

卫生设备一个月进行一次以上性能检查，确认有无异常并做记录.(e)

动能设备①

电气

:

一年进行一次以上检查，确认异常有无并做记录.②

纯水

:

根据设备生产商手册进行检查并做记录.③

药品

:

确认消耗量的恰当需求量及纯度并做记录.④

燃气

:

由专业人员进行检查并对设备做相关记录.⑤

其他

:

.(f)

保安设备一个月进行一次以上保安设备有效期等事项确认，根据需要做检查记录，在发现异常时进行迅速整备.(g)

搬入，搬出物品做到洁净间内物品搬入搬出最小化.(h)

洁净服根据洁净服管理基准进行管理并做记录.(2)

检查维修设备及装置的检查维修更换在作业结束后进行，记录检修时间，维修处理所花时间，检修内容及施工人员责任等，此记录由运行管理人员进行确认.(3)

备品整备记录(a)为了便于鞋cleaner,

sticky

mat,

移动式真空清扫器过滤器,洗盆,自动手风干机等清洁用具配件在更换修理方便，需要把备件放在近处，并定期确认，补充不完善的部分并做日记录.(b)

将洁净间内搬入备品最小化.(4)

设施清洁记录,

并对上述事项进行日记及月记，以便进行有效地管理.3.4

洁净间操作人员的管理3.4.1

洁净间操作人员的留意事项规定操作人员洁净间内应留意的事项.,手,

指甲等清洁状态，面部化装等）方针来进行管理.3.4.2

洁净间内物品搬入规则通过制定洁净间禁止搬入物品目录，来进行管理.(Table

1.

Clean

room

搬入禁止品目)

参考(Table

2.

Clean

room

资材搬入顺序)

参考3.4.3

洁净间的进出管理制定非洁净区域,

准洁净区域进出顺序原则，根据此原则来进行进出管理.(1)

区分①

管理区域

:

换鞋,

第1次更衣(一般locker)②

准洁净区域

:

第2次更衣(Clean

shoes

locker,

Clean

locker,

Smock

Room),

handdryer,air

shower,

准备室③

洁净区域

:

作业区间④

根据洁净度条件,

规模,

操作人员数需进行进出管理调节.(2)

进入①

进入洁净室的人员为维持洁净间洁净度，需最大限度地减少外部污染物的搬入及污染的产生.

鉴于此原因，希望根据规定的顺序进行行走.②

在从外部大厅进入管理区域时，需换穿室内鞋.③

个人衣物保管在指定场所，换穿指定服装，清除化妆、指甲油等.[Clean

room进入顺序]①

在Shoes

room脱掉室内鞋并放入鞋柜.②

在Locker

room脱掉所有外衣，只着内衣.③

在着有内衣的状态下通过Air

shower.④

在Smock

room穿上洁净服&洁净鞋.->穿戴时，注意洁净服不要和地板或物体接触.⑤

向Hand

shower

room移动.在Hand

shower

room内穿戴衬帽,

Mask,

Latex

Gloove,在大型面镜前进行服装整理.⑥

服装整理完毕后，在Hand

shower用洁净水洗手并用Air

dryer风干.⑦

手洁净风干后，通过sticky

mat进行气淋，去除衣服上附着的污染物后，进入洁净间.(3)

出室①

和进入顺序相反进行.②

从洁净室出来的时候，不需要气淋.③

在Hand

shower

room

内指定位置对衬帽、口罩、

Latex

Gloove做废弃处理.根据具体情况做回收再利用.③

脱洁净服时，注意不要和地板、桌子相接触，并将脱下来的洁净服保管在不受污染的指定场所.④

脱掉洁净服后，再次进入洁净间时，3.4.3进入顺序进行.⑤

洁净间内部操作人员在进入准洁净间(Hand

shower

room,

Smock

room)时没有必要脱去洁净服，再次进入洁净间时需通过sticky

mat,进行气淋.3.4.4

洁净间内部注意事项在洁净间内的操作人员行动时需保持肃静，为降低由操作人员在行动引起洁净度降低等问题，需制定正确的方针来进行管理.①

不靠墙或坐在地板上.②

为保持操作区域的气流方向，不把物体放在上流层.③

为防止气流流向被破坏或发尘源产生，不做不必要的动作.④

不说不必要的话.⑤

为减少发尘量，不做过度晃胳膊，鞋拖地行走等动作；操作时保持肃静；不跑动.⑥

作业在洁净操作台上进行.⑦

正确穿戴洁净服.在手套和衣服间，不裸露皮肤.⑧

工具,

器具,

必要用具等取用时需防止粉尘产生.⑨

严禁吸烟及食物携入.3.4.5

洁净间操作人员的选拔希望洁净间运行管理人员根据操作人员的体质

,性格及训练适应能力来进行评判及选拔. 操作人员虽有接收教育的资格,

但是对于通过培训无法改正的如下人员，需排除在外.(1)

对化学纤维，溶剂等过敏的人员.(2)

手易出汗的人员.(3)

神经病或封闭恐怖症人员.(4)

感冒,

喘息,

咳嗽,

打喷嚏严重的人员.希望选拔人员如下：(1)

小心谨慎的人员.(2)

善于整理整顿清洁的人员.(3)

身体健康的人员.3.4.6

洁净间操作人员的注意事项(1)

时常保持身体清洁.(2)

防止感冒.(3)

男性需每天刮胡须.(4)

时常保持手清洁，并抹护手霜防止角质脱落.(5)

注意咳嗽,

气喘,

湿疹,

伤口等问题.4.

4.1

洁净服的选用及管理4.1.1

一般事项在洁净度为M1-M10,000,000的洁净间内需要穿戴洁净服,口罩,鞋子,

手套,

帽子等.

这里主要是对洁净间内操作人员穿戴衣服的质地，形态，穿着方法，管理事项等做出规定.(Table

3

.

洁净服管理标准)

参考.4.1.2

穿戴服装区分(1)在洁净度为M1-M10,000的洁净间内除了需要穿一体型服装外还需要使用分离型部分,

专用室内鞋,靴子,口罩,手套等.(2)

在洁净度为M100,000-M10,000,000,

专用室内鞋,靴子,口罩,手套等.(3)

根据其他洁净间条件区分恰当穿戴状态来进行管理.4.1.3

使用面料的质地要求洁净服使用的面料质地要求如下.(1)

使用过程中发尘少(2)

难燃并防污性强(3)

不起静电，带电性小，不易粘污染物(4)

可清洗，并且清洗后不产生污染颗粒，静电等(5)

根据洁净度区分使用面料.4.1.4

洁净间服装管理(1)

检查新衣服及清洗洗后衣服的状态①

确认有无数量及大小要求.②

对全体衣服进行进行洁净包装与否进行检查确认.③

根据规定的基准进行污染颗粒测定.④

将检查合格的衣服放于指定场所进行保管.(2)

发放①

管理服装人员向各操作场所提供恰当的衣服.②

发放提供时间最好选在同一天向所有操作人员提供.③

操作人员不能穿戴衣服管理人员发放以外的衣服，在穿戴发放的衣服之前，需按标准对衣服的状态进行确认并向管理人员汇报.(3)

日常管理①

在每日作业结束后，应将衣服保管在各洁净间操作人员的专用保管箱内.②

日常管理位置应根据各操作或洁净度等级来进行明确区分.③

日常管理时应做到衣服各部位与其他物体的最小化接触.(4)

通过对衣服的状态检查,废弃时间,清洗时间,

修补等做出规定方针来进行管理.①

衣服使用期限(从清洗到下一次清洗时间)及不时污染等来判断决定.②

对同一操作场所的衣服进行同一时间统一清洗.③

修补时间根据规定的时间进行，并由衣服管理人员实施.④

清洗或修补后的衣服保管在该有盖子的专用箱子内.⑤

修补⒜

在需要修补的衣服上贴修补标签.⒝

修补方法根据衣服管理人员指示进行.⑥

保管⒜

衣柜的洁净度需要和衣服使用的洁净间洁净度一样或高出其洁净度.⒝

对指定场所区分洁净度进行保管.⑦

清洗清洗是衣服管理中的重要一项,在清洗过程中发过来也会发生污染.衣服的清洗需要利用在洁净间内实施或委托专业人员来进行，需注意事项如下.⒜

在清洗前首先要确认衣服是否有破损，判断是否需要补修，更换或做废除处理.⒝

清洗，干燥，包装需要等同或高于衣服使用洁净间的洁净度.⒞

为了去除水溶性污染物，需用用自来水进行湿洗，此时需要的水温如下.

poly

eser

:

60

～

67℃

尼龙

:

50

～

55℃⒟

为去除油性污染物，需要进行干洗，清洗中使用的溶剂每次做100%蒸馏，并用0.2㎛以下的薄膜过滤器需进行两次过滤.⒠

干燥后应该在洁净间内放入poly

ethylene或poly

propylene袋内密封.4.2

洁净间用耗材管理4.2.1

一般事项为最小化洁净间使用物品对气流的破坏，需要对耗材的形态、使用资材、放置方法进行管理.4.2.2

使用资材及构造家具类耗材，在洁净间内最好用发尘相对少的不锈钢为好,不过表面经过适当处理的铝材质或塑料材质也可以使用.需要边角接触部分发尘少，维修容易的构造.4.2.3

洁净间使用耗材的种类选定(1)

工作台①

材料选取使用发尘最少的材质，不锈钢材最好，但是经过表面恰当处理的钢、铝或良质塑料也可以使用.②

实施定期检查，在不能维修的情况下需要做更换处理.③

在使用木材质时，表面要做树脂涂敷处理.④

应选择使用没有抽屉，脚踏板，侧板的工作台.⑤

需把尖锐部分处理成圆形.⑥

腿部分用塑料或橡胶盖进行处理.(2)

椅子①材料选取发尘最少的材质，不锈钢材最好，但是经过表面恰当处理的钢、铝或良质的塑料也可以使用.②实施定期检查，在不能维修的情况下更换新的.③

椅子不能使向后倾或圈椅结构.④

垫子为发尘的一个要因，

因此尽可能不要使用垫子，

在必须要使用垫子的时候，应选用不发尘产品或完全绝缘、发尘少的产品.⑤

垫子很容易发生破损并极易大量发尘，因此在使用的时候要时刻注意维护.⑥

腿部分用塑料或橡胶盖进行处理.⑦

腿的高度最好是坐的人员脚部正好够着地面，如果太高，则需使用脚垫板.(3)

收纳箱①

材料选取发尘最少的材质，不锈钢材最好，但是经过表面恰当处理的钢、铝或良质的塑料也可以使用.②

最上面的高度应该能让手够得到着.(4)

搬运箱及搬运车①

材料选取发尘少的不锈钢最好，并且选用带盖子的更好

.

或者是选用表面经过处理的钢材、铝或良好塑料也无妨.②

在使用塑料产品时，选用不因重量导致表面、缝隙发尘或静电发尘的产品.③

构造尽可能简单.④

特别是放物品的地板接触面要使用耐磨性材质.⑤

轮轴承使用无油式密封型比较恰当.⑥

搬运车轮胎使用耐磨橡胶.⑦

需轻便并易清扫.⑧

定期进行检查，维修及清扫.(5)

纸类原则上时使用洁净间专用纸，在携入一般纸类印刷物时，需放在防尘处理的封皮里

(单张).(6)

刊板洁净间内严禁携入黑板，粉笔类物品.

但在准洁净间可使用白板、洁净间专用用具.(7)

垃圾桶在洁净度为M100,000,

M10,000,

M1,000洁净间内不设置.(8)

Air

Shower①

为不使Air

shower门的入口和出口同时打开，设置Inter-Lock.但需做到在紧急情况下可以打开.②

Air

shower在门的入口关闭后，向进入人员及时吹强风20秒以上并自动停止.③

定期检查并做充分地清扫及维修.(9)

Hand

shower

及

DryerHand

shower

及

Air

Dryer利用非接触式Sensor进行自动作业.4.3

洁净间设施监控(monitoring)4.3.1

一般事项需要对使用中洁净间内长时间流动的气流和洁净度做记录,分析此类记录会对相关业务有帮助.关于测定方法等事项可根据洁净间基准分类

3来进行,测量仪可使用公认鉴证机关长期以来鉴证的产品.4.3.2

气流平衡度(1)

洁净间内的气流平衡主要为了确认洁净间内规定的气流形态是否得到确保而实施进行的.(2)

气流平衡度测定由洁净间运行管理人员实施进行.(3)

气流平衡度测定在由运行管理人员确定的作业领域及暖流易产生的位置实施进行并做记录.(4)

洁净间的管理人员对测定记录结果和设计值差异进行检讨并监督实际状态性能.4.3.3

气流速度(1)

洁净间内的气流速度主要为了确认洁净间内规定的气流形态是否得到确保而实施进行的.(2)

气流速度由作业区间洁净间管理人员运用规定的风速仪来测定.(3)

气流速度的测定原则上由洁净间运行管理人员来实施进行.(4)

气流速度测定点除了测定各最终过滤器代表点外，还在运行管理人员认为需要测定的位置和高处进行.(5)

洁净间的管理人员对测定记录结果和设计值差异进行检讨并监督实际状态性能.4.3.4

风量(1)

每个月一次以上在选定需要测定的位置处进行风速测定，根据测定风速得出的平均值来算出风量.(2)

确认洁净间供给的风量是否确保达到需要的空气量，从气流风速测定结果来获取答案.(3)

为算出风量而进行的气流风速测定固然在供给管内进行更好，但是在各最终过滤器表面点上进行也无妨.(4)

洁净间运行管理人员对通过气流速度测定记录算出的风量测定结果和设计值差异来观察监督实际状态性能.4.3.5

室内压(1)认.(2)

室内压测定由洁净间运行管理人员实施进行.(3)

在洁净间正常状态作业开始前和作业结束后，对室内压进行测定并做记录.(4)

洁净间运行管理人员对通过气流速度测定记录算出的风量测定结果和设计值差异来观察监督实际状态性能..4.3.6

空气清洁度(1)

需要对洁净间内的浮游微粒浓度进行测定，评价标准根据该洁净间的设计条件进行

.(0.1µm-0.5µm)(2)

测定工作在洁净间专业人员的监督下进行.(3)

测定对象根据颗粒的大小选择适当的测量仪.(4)

空气清洁度和测定的回数根据洁净间的洁净度和规模来决定.(5)

1年进行定期1次的漏泄检查，在更换新配件时也需要进行检查.4.3.7

温湿度(1)

鉴于对作业工艺等及操作人员心情的影响，需对洁净间的温湿度是否达到规定标准进行测量.(2)

温湿度测量仪使用ASMAN通风式干式温度计或其他同等以上的仪器来进行.(3)

在洁净间管理管理人员决定的位置和高度处由管理人员进行温湿度测量.(4)

在洁净间正常作业开始前及作业结束后对温湿度进行测量并做记录.(5)

洁净间的管理人员对测定记录结果和设计值差异进行检讨并监督实际状态性能.4.3.8

有毒燃气及微生物在洁净间专业人员的监督下对外部进入或作业过程中产生的有害燃气

(二氧化碳,

一氧化碳.

臭氧等)及微生物是否对操作人员的健康或生产活动有影响进行确认并做记录.4.4

洁净间清扫管理4.4.1

一般事项对洁净间全体成员等同于操作人员一样进行教育及要求.4.4.2

清扫作业服装清扫作业服装参考2.4.3标示的出入顺序进行穿戴,需要穿着洁净区域清扫作业服装.4.4.3

清扫时期及顺序清扫尽可能在操作结束后进行，并且根据洁净间规模进行清扫顺序调整.4.4.4

清扫用具及管理

(Table

4

.

Clean

Room

清扫用液体及水溶液参考)作为清扫用具需要真空清扫器,擦洗用具及清扫液体,净度来制定方针并使用.1)真空清扫器①

绝对禁止使用移动式真空清扫器.（但实在没有办法的时候可使用洁净间用HEPA

Filter内置型清扫器.）②

利用清扫真空系统，在Inlet

Valve连接吸入用Hose，清除污染物质.2)洗涤关联用具①

发尘性小的洁净间适合使用专用海绵或橡胶海绵.(Clean

Paper也可以使用)②poly

ethlene或尼龙均匀地缝制两面.③

其他清洗用液体容器一般可选用不锈钢或高级塑料，容量为10ℓ

左右.④

如需要清扫高处部位，则需使用铝制洁净间专用梯子.3)清扫用液体(水)①

普通的自来水里因含有微粒子，有机物，矿物质，在洁净间不能使用.②

Class

100及1000洁净间使用用直径0.45µm以下的薄膜过滤水或D.I

Water.③

Class

10,000及100,000洁净间使用直径5µm以下的薄膜过滤水或D.I

Water.5.

5.1

制造设备及关联设备5.1.1

一般事项鉴于洁净间内设备配置，制造设备等会影响洁净度及气流走向，因此为了最小化减少该影响并保持洁净度，需要对制造设备及关联设备做全面管理.5.1.2.

制造设备及关联设备的选型(1)

选用自身发尘少的设备(2)

使用过程中产生发尘少的设备(3)

选用对气流破坏性小的设备5.1.3

制造设备和关联设备配置(1)

做适当配置，以便于清扫(2)

针对自身发尘多的设备，需进行隔离或排气处理.(3)

将配管，配线设置在Pit,

Shaft等地方，构建便于清扫的构造.(4)

将产生污染物多的真空泵设置在洁净间外部.5.1.4

使用注意事项及关联设备保全(1)

设备需定期做清扫.(2)

发尘部品需定期更换.(3)

防止设备自身生锈发尘，要随时进行确认.(4)

防止设备涂装部分破损发尘.(5)

洁净间内使用的器具类为专用品，尽可能不要搬出洁净间外部.5.2

洁净间运行设施过滤器，airshower,pass

box,Clean

Locker,据当前洁净间洁净度来制定相应的方针措施来进行管理实施.5.2.1

Air

Filter管理(1)

Pre

Filter①

通常条件是每两个月进行一次交换或清扫.特别是在环境不好的情况下，PreFilter上会附着很多的污染物，因此需要短期就要进行更换或清扫.②

Pre

filter的清扫方法根据生产厂家指示进行.(2)

Hepa

Filter①

在风速，风量达不到基准值时，需更换Hepa

filter并做记录.②

由专业人员来更换Hepa

Filter.③

Filter的Pin

hole流漏根据填充物来修理,

确认恢复状态并做记录.[Table

1

.

Clean

room

] 3.4.2

1.

未经过规定洁净化清洗过程的材料，耗材，测量仪等所有物品2.

Clean

Paper除外的纸类3.

笔记用铅笔，橡皮，笔，墨水，钢笔等（使用规定的圆珠笔）4.

下述标记的操作人员个人持有物5.

香烟，火柴，打火机类6.

食物，口香糖类7.

宝石，装饰物，化妆品（金属性戒指，特别是要杜绝金戒指）8.

手册及其他个人持有物9.

其他引起洁净间暖流的物品[Table

2.

Clean

room

] 3.4.2

1.

搬入Clean

Room的所有资材即部品器具设备材料等一定要干净.2.

由洁净间的专业人员来决定污染源的种类，洁净化物体形态结构，材料等需达到的洁净度.3.

Clean

Room搬入的大型物体在一开始就要在一般环境污染区域内用真空清扫器进行初期清洁后，在准洁净间内用洁净间专用真空清扫器清扫或通过气淋，使其达到需要的洁净度.4.

Clean

Room使用的所有小型物品在准洁净间内操作人员根据专业人员的指示，在搬入洁净间前进行擦

洗并用超声波或气淋进行清洁后，放入搬运箱内搬入.5.

Clean

Room内部需要重新洁净化的时候，需要使用Clean

Room精密清洁用设备，对此设备需要做局部排气处理.6.

做到搬入Clean

Room器材备用品最少化.[Table

3

.

] 4.1.1

1.

洁净服应大小合身.2.

Clean

Room

专业人员

(管理者及经营者)对所有洁净间的洁净服进行使用确认及判断（耐用性，传导性，性能等）3.

新的洁净服在未穿之前需进行清洗.4.

对清洗完毕的洁净服进行抽样检查.(灰尘，污染等检查)

不合格的需进行再次清洗.5.

洁净服在不穿的时候，不要和污染物接触或放置在容易附着污染物的环境下.(帽子，口罩，防尘鞋等)6.

洁净服及洁净鞋（包含帽子，口罩）需定期更换或清洗.7.

(直接)向操作人员发放至少两套洁净服及洁净帽.8.

洁净服及洁净帽的辅料（标签及商标）选用不发尘材质.[Table

4

.

Clean

Room

] 4.4.1

洁净度CLASS

100/

1000 洁净度

CLASS

10,000/

100,000水 用孔径为0.2㎛的薄膜过滤器过滤. 用孔径为0.8㎛的薄膜过滤器过滤.电流性中性清洗剂以30g对1g自来水

电流性中性清洗剂以30g对1g自来水的比率混水溶液 的比率混合并作稳定搅拌，用孔径为