国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》

国家标准《电子工厂洁净

厂房设计规范》中强制性条文

GB50472-2008陈霖新中国电子工程设计院2009年07月1、电子工厂洁净厂房特点2、章节内容简介3、强制性条文等介绍4、结语1、电子工厂洁净厂房特点电子产品生产发展迅猛IC特征尺寸0.05μm,12〞～16〞，64GTFT第六代产品对化学污染物的严格要求大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房投资大、能量消耗大1、电子工厂洁净厂房特点集成电路对化学污染物的控制指标电子工厂洁净厂房的特点：微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径ISO1级或更严格。高纯物质，包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输送。对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定对防静电、电磁兼容等大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万m2。1、电子工厂洁净厂房特点1、电子工厂洁净厂房特点项目位置状况规格（㎜）洁净生产区面积（㎡）建筑高度芯片厂1大陆生产运行200（8"）870020.0芯片厂2台湾生产运行300/200（12"/8"）1400026.8芯片厂3台湾生产运行300（12"）900029.4芯片厂4台湾生产运行300（12"）900026.8芯片厂5韩国生产运行200（8"）1000031.0芯片厂6韩国生产运行200（8"）1000031.0芯片厂7韩国生产运行200（8"）1000037.0芯片厂8韩国生产运行200（8"）1000037.0芯片厂9爱尔兰生产运行200（8"）889225.4芯片厂10美国生产运行200（8"）1581022.00芯片厂11美国生产运行200（8"）1581022.00芯片厂12美国生产运行300（12"）1385717.00芯片厂13爱尔兰生产运行300（12"）1218317.00芯片厂14磁力生产运行300（12"）874020.40芯片厂15台湾生产运行200（8"）790050.30芯片厂16法国生产运行200（8"）650021.00芯片厂17新加坡生产运行200（8"）800025.00表1国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积1、电子工厂洁净厂房特点项目位置状况规格（㎜）洁净生产区面积（㎡）建筑高度芯片厂18上海生产运行300（12"）1200029.00芯片厂19上海生产运行300（12"）940030.00芯片厂20成都生产运行200（8"）7408.821芯片厂21上海生产运行200（8"）1032128.55芯片厂22苏州生产运行200（8"）1200024.4芯片厂23重庆建设中200（8"）150028芯片厂24浙江生产运行150（6"）516019TFT-LCD/1北京生产运行5代，110000TFT-LCD/2上海生产运行5代，1100×130022000＋1400020.30TFT-LCD/3昆山试生产5代，1100×1300～300026.50TFT-LCD/4深圳正在建设5代，1100×1300～3300026.50TFT-LCD/5台湾生产运行6代，1500×1800～36000～27TFT-LCD/6上海正筹建6代，1500×1800～34000～27TFT-LCD/7北京正筹建6代，1500×1800～36000～27TFT-LCD/8日本生产运行8代，2160×2460～9000030.00表1国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积1、电子工厂洁净厂房特点表22几类电子产品所需气体品种1、电子工厂洁净厂房特点表25集成电路芯片（64M）生产过程部分化学品的质量要求微粒（PC/CC）化学品种类0.1μm0.2μm金属离子H3PO4HClH2SO4H2O2NH4OH<40<30<20<20<20<20<20<10<10<10<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9HNO349%HF5%HF1%HF<30<30<30<30<20<20<20<20<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-91、电子工厂洁净厂房特点表128″大规模集成电路生产用高纯水质量指标（前工序）1、电子工工厂洁净厂厂房特点集中新风处处理+各种种循环新风风集中送风方方式FFU隧道送风1、电子工工厂洁净厂厂房特点美国消防标标准（强制制性标准））NFPA318《洁净室消消防标准》》（StandardfortheProtectionofCleanrooms,2000）第1章总总则则，，范范围围、、目目的的、、适适用用性性、、等等同同性性、、术术语语等等；；第2章消消防防自自动动灭灭火火系系统统、、报报警警系系统统和和检检测测系系统统(烟感感、、可可燃燃气气体体等等);第3章通通风风和和排排风风系系统统,送风风和和循循环环风风,局部部排排风风,排烟烟系系统统；；第4章土土建建、、洁洁净净区区与与非非洁洁净净区区的的分分隔隔等等；；第5章化化学学品品贮贮存存和和处处理理,对危危险险化化学学品品贮贮存存、、分分配配间间的的设设计计、、建建造造要要求求等等；；第6章危危险险气气体体钢钢瓶瓶的的存存放放、、分分配配；；第7章大大宗宗硅硅烷烷系系统统，，管管式式拖拖车车、、集集装装气气瓶瓶；；第8章生生产产与与辅辅助助设设备备、、工工艺艺液液体体加加热热设设备备、、电电气气设设备备、、真真空空泵泵等等；；第9章出出入入口口方方式式，，按按NFPA101生命命安安全全规规范范进进行行设设计计；；第10章参参照照出出版版物物，，所所列列NFPA或ASTM或SEMI等，，被被认认为为是是标标准准的的一一部部分分。。1、、电电子子工工厂厂洁洁净净厂厂房房特特点点2、、章章节节内内容容安安排排1、总总则则2、术术语语3、电电子子产产品品生生产产环环境境设设计计要要求求3.1一般般规规定定3.2生产产环环境境设设计计要要求求4、总总体体设设计计4.1位置置选选择择和和总总平平面面布布置置4.2洁净净室室形形式式4.3洁净净室室布布置置和和综综合合协协调调5、工工艺艺设设计计5.1一般般规规定定5.2工艺艺布布局局5.3人员员净净化化5.4物料料净净化化5.5设备备及及工工器器具具6、、洁洁净净建建筑筑设设计计6.1一一般般规规定定6.2防防火火与与疏疏散散6.3室室内装修7、空气净净化7.1一一般规定7.2气气流流型和送送风量7.3净净化空调系统统7.4空空气净化设备备7.5采采暖通风7.6排排烟7.7风风管、附件8、给水排水水设计8.1一一般规定8.2给给水8.3排排水8.4雨雨水8.5消消防给水和灭灭火设备9、纯水9.1一一般规定9.2纯纯水系统9.3管材材、阀门和附附件10、气体供供应10.1一一般规定定10.2常常用气体体系统10.3干干燥压缩空空气系统10.4特特种气体体系统11、化学品品供应11.1一一般规定11.2化化学品储储存、输送11.3管管材、阀阀门12、电气设设计12.1配配电12.2照照明12.3通通信及安全全保护装置12.4自自动控制12.5接地13、防静电电与接地设计计13.1一一般规定13.2防防静电措施施13.3防静电接地14、噪声控控制14.1一一般规定14.2噪噪声控制设设计15、微振控控制15.1一一般规定15.2容容许振动值值15.3微微振动控制制设计2、章节内容容安排附录A各类电子产品品生产对洁净净度等级的要要求附录B电子产品生产产间/工序火灾危险险性分类举例例附录C一些精密设备备、仪器仪表表的允许振动动值附录D洁净室（区））性能测试和和认证本规范用词说说明附：条文说明明2、章节内容容安排3、强制性条条文等介绍1.0.2本规范适用于于新建、扩建建和改建的电电子工业洁净净厂房设计。。1.0.3电子工业洁净净厂房的设计计应满足需洁洁净环境的电电子产品生产产工艺要求，，并应根据具具体情况为今今后产品生产产发展或生产产工艺改进的的需要预留条条件。1.0.5电子工业洁净净厂房设计除除应执行本规规范外，尚应应符合国家现现行有关标准准的规定。3．2．2各种电子产品品/有关工序的空空气洁净度等等级根据产品品生产工艺要要求确定；无无要求时，可可参照附录A要求确定。3.2.3洁净室（区））的温度和相相对湿度应按按表3.2.3确定。房间类别温度（℃）相对湿度（%）冬季夏季冬季夏季生产工艺有要求的洁净室按具体生产工艺要求确定生产工艺无要求的洁净室≤22～2430～5040～70人员净化及生活用室～18～28--3.2.5单向流和混合合流洁净室（（区）的的噪噪声级（空态态）不应大于于65dB（A），非单向流流洁净室（区区）的噪声级级（空态）不不应大于60dB（A）。表3.2.3洁净室(区)温度和相对湿湿度要求3、强制性条条文等介绍4.2.2电子工厂洁净净厂房垂直单单向流洁净室室的空间应包包括活动地板板以下的下技技术夹层、洁洁净生产层和和吊顶以上的的上技术夹层层。4.2.3洁净室型式的的选择应综合合生产工艺要要求、节约能能源、减少投投资和降低运运行费用等因因素确定，各各种空气洁净净度等级的电电子工业洁净净厂房宜采用用混合流洁净净室。对空气气洁净度净度度要求严格时时，宜采用微微环境等型式式。4.3.3洁净室（区））内应少分隔隔，但下列情情况应设隔墙墙：1按火灾危险性性分类，甲、、乙类的房间间与相邻的生生产区段或房房间之间，或或有防火分隔隔要求时；2在电子子产品生产过过程中，经常常不同时使用用的两个生产产区段或房间间之间；3生产过过程中排放影影响产品质量量的有害气体体或化学污染染物的工序、、设备，宜分分隔设独立房房间。3、强制性条条文等介绍5.4.2物料净化用室室与洁净室（（区）之间应应设置气闸室室或传递窗。。5．5．6电电子工厂洁洁净厂房内，，设置真空泵泵时，应符合合下列规定：：1．使用油润润滑的真空泵泵应设置除油油装置，除油油后尾气排入入排气系统。。2．对传输含含有可燃气体体的真空泵，，若可燃气体体浓度超过爆爆炸下限的20%时应设设尾气处理装装置，去除（（稀释）可燃燃气体组份后后才能排入排排气系统。3．传输易燃燃、自燃化学学品或高浓度度氧气的真空空泵，应采用用不燃泵油，，并应配置氮氮气吹扫，吹吹扫控制阀与与生产工艺设设备操作系统统联锁。3、强制性条条文等介绍6.2.l洁净厂房的耐耐火等级不应应低于二级。。6.2.3洁洁净厂房房内防火分区区的划分，应应符合现行国国家标准《建建筑设计防火火规范》GB50016的有关规规定。丙类生产的电电子工业洁净净厂房的洁净净室（区），，在关键生产产设备设有火火灾报警和灭灭火装置以及及回风气流中中设有灵敏度度严于0.01%obs/m的高灵灵敏度早期火火灾报警探测测系统后，其其每个防火分分区的最大允允许建筑面积积可按生产工工艺要求确定定。6.2.4洁洁净室的的上技术夹层层、下技术夹夹层和洁净生生产层，当按按其构造特点点和用途作为为同一防火分分区时，上、、下技术夹层层的面积可不不计入防火分分区的建筑面面积，但应分分别采取相应应的消防措施施。3、强制性条条文等介绍微电子洁净厂厂房消防设施施现状－－火灾报警系统统：热感型、、烟感型、早早期烟雾探探测器等等3、强制性条条文等介绍微电子洁净厂厂房消防设施施现状－－火灾报警系统统：热感型、、烟感型、早早期烟雾探探测器等等3、强制性条条文等介绍（高灵敏度早早期烟雾探测测装置（VESDA，VeryEarlySmokeDetectorApparatus）或空气气取样式烟雾雾探测系统（（AirSamplingTypeSmokeDetectionSystem）空气采样烟雾雾报警装置3、强制性条条文等介绍3、强制性条条文等介绍VESDA与与一般烟雾探探测器的比较较3、强制性条条文等介绍6.2.6在在综合性性厂房的一个个防火分区内内，洁净生产产区域与一般般生产区域之之间应设置不不燃烧体隔断断设施。不燃燃烧体隔断设设施应符合现现行国家标准准《洁净厂房房设计规范》》GB50073的有有关规定。6.2.7洁洁净厂房房的安全出口口的设置，应应符合下列规规定：1每一生生产层、每个个防火分区或或每一洁净室室的安全出口口数目，应符符合现行国家家标准《洁净净厂房设计规规范》GB50073的有关规定定；2安全出出口应分散布布置，并应设设有明显的疏疏散标志；安安全疏散距离离应符合现行行国家标准《《建筑设计防防火规范》GB50016的有关关规定。安全全疏散用门应应向疏散方向向开启，并应应设观察玻璃璃窗；3丙类生生产的电子工工业洁净厂房房，在关键生生产设备自带带火灾报警和和灭火装置以以及回风气流流中设有灵敏敏度严于0.01%obs/m的高高灵敏度早期期火灾报警探探测系统后，，安全疏散距距离可按工艺艺需要确定，，但不得大于于本条第2款款规定的安全全疏散距离的的1.5倍。。注：对于玻璃璃基板尺寸大大于1500mm×1850mm的的TFT-LCD厂房房，且洁净生生产区人员密密度小于0.02人/m2，其疏散散距离应按工工艺需要确定定，但不得大大于120m。3、强制性条条文等介绍6.2.8洁洁净厂房房的洁净区各各层外墙应设设置专用消防防口，并应符符合下列规定定：1洁净区区各层专用消消防口的设计计，应符合现现行国家标准准《洁净厂房房设计规范》》GB50073的有有关规定；2洁净厂厂房外墙上的的吊门、电控控自动门以及及装有栅栏的的窗，均不应应作为专用消消防口。6.2.9洁洁净厂房房内有爆炸危危险的房间应应靠建筑外墙墙布置，且不不得与疏散安安全口（楼梯梯间）贴邻。。有爆炸危险险的房间的防防爆措施、泄泄爆面积等应应符合现行国国家标准《建建筑设计防火火规范》GB50016的有关规规定。3、强制性条条文等介绍6.3.1洁洁净厂房房的建筑围护护结构和室内内装修，应选选用气密性良良好，且在温温度和湿度变变化时变形小小的材料。洁洁净室装饰材材料及其密封封材料不得采采用释放对电电子产品品质质有影响物质质的材料。装装修材料的燃燃烧性能应符符合现行国家家标准《建筑筑内部装修设设计防火规范范》GB50222的的有关规定。。装修材料的的烟密度等级级不应大于50，材料的的烟密度等级级应符合现行行国家标准《《建筑材料燃燃烧或分解的的烟密度试验验方法》GB/T8627的有关规规定。6.3.4洁洁净厂房房技术夹层的的墙壁和顶棚棚应满足使用用功能要求，，且表面应平平整、光滑。。位于地下的的技术层或技技术夹层应采采取防水或防防潮、防霉措措施。3、强制制性条文文等介绍绍7.1.6洁洁净室室（区））与周围围的空间间应保持持一定的的静压差差，静压压差应符符合下列列规定：：1各各洁净室室（区））与周围围空间的的静压差差应按生生产工艺艺要求确确定；2不不同等级级的洁净净室（区区）之间间的静压压差应大大于等于于5Pa；3洁洁净室（（区）与与非洁净净室（区区）之间间的静压压差应大大于5Pa；洁净室（（区）与与室外的的静压差差应大于于10Pa。7.2.1气气流流流型的设设计，应应符合下下列要求求：1气气流流型型应满足足产品生生产工艺艺和空气气洁净度度等级的的要求。。空气洁洁净度等等级为1～5级级时，应应采用单单向流或或混合流流；空气气洁净度度等级为为6～9级时，，宜采用用非单向向流；2洁洁净室工工作区的的气流流流速应满满足生产产工艺和和工作人人员健康康的要求求。3、强制制性条文文等介绍绍7.2.2洁洁净室室的送风风量，应应符合现现行国家家标准《《洁净厂厂房设计计规范》》GB50073的的有关规规定。7.2.3洁洁净室室（区））所需的的满足空空气洁净净度等级级的洁净净送风量量和气流流流型，，宜按表表7.2.3计计算。空气洁净度等级气流流型平均风速（m/s）换气次数（h-1）1～5单向流或混合流0.2～0.45—6非单向流—50～607非单向流—15～258～9非单向流—10～15表7.2.3洁洁净净送风量量（静态态）和气气流流型型注：1换换气次次数适用用于层高高小于4.0m的洁净净室。2室内内人员少少、热源源少时，，宜采用用下限值值。3、强制制性条文文等介绍绍7.3.3净净化空空调系统统新风的的室外吸吸入口位位置，应应远离本本建筑或或其它建建筑物排排放有害害物质或或可燃物物的排气气口。7.3.5净净化空空调系统统设计应应合理利利用回风风，但下下列情况况不得回回风：1在在生产过过程中向向车间内内散发的的有害物物质超过过规定时时；2采采用局部部处理不不能满足足卫生要要求时；；3对对其它工工序有危危害或不不能避免免交叉污污染时。。3、强制制性条文文等介绍绍7.5.1空空气洁洁净度等等级严于于8级的的洁净室室（区））不应采采用散热热器采暖暖。7.5.3洁洁净室室（区））的排风风系统设设计，应应符合下下列要求求：1应应防止室室外气流流倒灌；；2含含有易燃燃、易爆爆物质的的局部排排风系统统应按其其物理化化学性质质采取相相应防火火防爆措措施；3局局部排风风系统排排出的有有害气体体，当其其有害物物质浓度度超过排排放标准准时，应应采取有有效处理理措施。。排气管管高度和和排放速速率应满满足国家家现行有有关排放放标准的的规定；；4对对含有水水蒸汽或或凝结物物质的排排风系统统，应设设置坡度度及排放放口；5排排风介质质中含有有剧毒物物质时，，应设置置备用排排风机和和处理设设备，并并应设置置应急电电源；6排排风介质质中含易易燃、易易爆等危危险物质质或工艺艺可靠性性要求较较高时，，应设置置备用排排风机，，并应设设置应急急电源；；7排排除有爆爆炸危险险的气体体和粉尘尘的局部部排风系系统，其其风量应应按在正正常运行行和事故故情况下下，风管管内爆炸炸危险的的气体和和粉尘的的浓度不不大于爆爆炸下限限的20%计；；8排排除有爆爆炸危险险的气体体和粉尘尘的局部部排风系系统，应应设置消消除静电电的接地地装置。。3、强制制性条文文等介绍绍7.5.4对对排风风系统中中含有毒毒性、爆爆炸危险险性物质质的排气气管路，，应保持持相对于于路由区区域一定定的负压压值。7.5.6洁洁净室室（区））事故排排风系统统的设计计，应符符合下列列规定：：1事事故排风风区域的的换气次次数不应应小于12次/h；2应应设置自自动和手手动控制制开关，，手动控控制开关关应分别别设置在在洁净室室（区））和洁净净室（区区）外便便于操作作的地点点；3应应设置应应急电源源。3、强制制性条文文等介绍绍7.6.1洁洁净厂厂房中的的疏散走走廊，应应设置机机械排烟烟设施。。7.6.2洁洁净厂厂房排烟烟设施的的设置应应符合现现行国家家标准《《建筑设设计防火火规范》》GB50016的的有关规规定，当当同一防防火分区区的丙类类洁净室室（区））人员密密度小于于0.02人/m2，，且安全全疏散距距离小于于80m时，洁洁净室（（区）可可不设机机械排烟烟设施。。3、强制制性条文文等介绍绍7.7.2净净化空空调系统统的风管管的防火火阀的设设置，应应符合现现行国家家标准《《洁净厂厂房设计计规范》》GB50073的的有关规规定。含有可燃燃、有毒毒气体或或化学品品的排风风管道，，不得设设置熔片片式防火火阀。7.7.3净净化空空调系统统的风管管、配件件、过滤滤器以及及密封材材料等，，应根据据输送空空气的洁洁净度要要求确定定，并不不得采用用释放对对电子产产品有影影响物质质的材料料。7.7.7风风管附附件及辅辅助材料料的防火火性能，，应符合合下列规规定：1净净化空调调系统、、排风系系统的风风管应采采用不燃燃材料制制作，但但接触腐腐蚀性介介质的风风管和柔柔性接头头可采用用难燃防防腐材料料制作；；2排排烟系统统的风管管应采用用不燃材材料制作作；3附附件、保保温材料料和消声声材料等等均应采采用不燃燃材料或或难燃材材料。3、强制制性条文文等介绍绍8.1.1洁洁净厂厂房的给给水排水水干管应应敷设在在技术夹夹层或技技术夹道道内，并并宜敷设设在通行行的技术术夹层内内。条件件合适时时，也可可埋地敷敷设。洁洁净室（（区）内内管道宜宜暗装，，与本房房间无关关的管道道不应穿穿过。8.3.1生生产、、生活排排水系统统应分别别设置。。生产排排水系统统应根据据电子产产品生产产设备排排出的废废水性质质、污染染物浓度度和水量量等特点点确定。。有害废废水应经经废水处处理达到到国家或或地方排排放标准准后排放放。8.3.2洁洁净室室（区））内与电电子产品品生产设设备相连连接的重重力排水水管道，，应在排排出口以以下部位位设置水水封装置置。排水水系统应应有完善善的通气气系统。。3、强制制性条文文等介绍绍8.5.1洁洁净厂厂房必须须设置消消防给水水系统。。消防给给水系统统的设置置应符合合现行国国家标准准《建筑筑设计防防火规范范》GB50016的有关关规定。。8.5.2洁洁净厂厂房消火火栓的设设置应符符合下列列规定：：1洁洁净室（（区）的的生产层层及上下下技术夹夹层（不不含不通通行的技技术夹层层），应应设置室室内消火火栓；2室室内消火火栓的用用水量不不应小于于10L/s，，同时使使用水枪枪数不应应少于2支，水水枪充实实水柱不不应小于于10m，每只只水枪的的出水量量不应小小于5L/s；；3洁洁净厂房房室外消消火栓的的用水量量不应小小于15L/s。8.5.3洁洁净室室（区））设置的的固定灭灭火设施施，应符符合下列列规定：：1设设置的自自动喷水水灭火系系统，应应符合现现行国家家标准《《自动喷喷水灭火火系统设设计规范范》GB50084的有关关规定。。喷水强强度不应应小于8L/min••m2，作用面面积不应应小于160m2；2设设置的气气体灭火火系统，，应符合合现行国国家标准准《气体体灭火系系统设计计规范》》GB50193和和《二氧氧化碳灭灭火系统统设计规规范》GB50193的的有关规规定；3存存放可燃燃气体钢钢瓶的特特气柜中中应设置置自动灭灭火设施施。3、强制制性条文文等介绍绍9.2.3纯纯水系系统应采采用循环环供水方方式，宜宜采用单单管式循循环供水水系统或或设有独独立回水水管的双双管式循循环供水水系统，，并应符符合下列列规定：：1循循环回流流水量应应大于设设计供水水量的30%；；2干干管流速速应大于等于于1.5m/s；3不不循环支支管的长长度不应应大于管管径的6倍；4干干管应设设置清洗洗口；5管管道系统统必须密密封，不不得有渗渗气现象象；6应配配备在线水水质检测仪仪表；对纯水水质质要求严格格的电子产产品生产工工艺，应采采用双管式式循环供水水系统。9.3.1纯水水系统管道道材质的选选用，应符符合下列要要求：1应满满足纯水水水质指标的的要求；2材料料的化学稳稳定性应好好；3管道道内壁光洁洁度应好；；4不得得有渗气现现象。3、强制性性条文等介介绍10.1.5洁洁净室（区区）内的可可燃气体管管道和有毒毒气体管道道应明敷，，穿过洁净净室（区））的墙壁或或楼板处的的管段应设设置套管，，套管内的的管道不得得有焊缝，，套管与管管道之间应应采取密封封措施。10.1.6可可燃气体管管道和有毒毒气体管道道不得穿过过不使用此此类气体的的房间；当当必须穿过过时应设套套管或双层层管。10.1.7高高纯气体管管道设计应应符合下列列规定：1管径径应按气体体容许流量量、压力或或生产工艺艺设备确定定，管外径径不宜小于于6mm，，壁厚不宜宜小于1mm;2不得得出现不易易吹除的““盲管”等等死空间；；3管道道系统应设设置吹扫口口和取样口口。3、强制性性条文等介介绍10.1.8洁洁净厂房的的可燃气体体管道系统统应设置下下列安全设设施：1可燃燃气体管道道设置阀门门时应设置置阀门箱，，阀门箱应应设置气体体泄漏报警警和事故排排风装置，，报警装置置应与相应应的事故排排风机联锁锁；2接至至用气设备备的支管和和放散管，，宜设置阻阻火设施；；3引至至室外的放放散管，应应设置防雷雷保护设施施；应设置导除除静电的接接地设施。。10.2.5气气体纯化间间（站）或或气体入口口室内，设设有氢气等等可燃气体体纯化装置置或管道时时，气体纯纯化间（站站）或气体体入口室的的火灾危险险性应按甲甲类确定，，并应符合合下列规定定：1应靠靠外墙设置置，并应设设置防爆泄泄压设施；；2氢气气等可燃气气体引入管管道上应设设置自动切切断阀；3应具具有良好的的自然通风风，并应设设置事故排排风装置；；4应设设置气体泄泄漏报警装装置，并应应与事故排排风装置联联锁；5应应设置导除除静电的接接地设施。。3、强制性性条文等介介绍10.2.6洁洁净厂房内内的氧气管管道等，应应采取下列列安全技术术措施：1管道道及阀门附附件应经严严格的脱脂脂处理；2应设设置导除静静电的接地地设施；氧气引入管管道上应设设置自动切切断阀。10.2.8气气体管道和和阀门应根根据产品生生产工艺要要求选择，，宜符合下下列规定：：1气体体纯度大于于或等于99.999999%时，应应采用内壁壁电抛光的的低碳不锈锈钢管，阀阀门应采用用隔膜阀；；2气体体纯度大于于或等于99.999%、露露点低于-76℃时时，宜采用用内壁电抛抛光的低碳碳不锈钢管管或内壁电电抛光的不不锈钢管，，阀门宜采采用隔膜阀阀或波纹管管阀；3气体体纯度大于于或等于99.99%、露点点低于-60℃时，，宜采用内内壁抛光的的不锈钢管管，除可燃燃气体管道道宜采用波波纹管阀外外，其余气气体管道宜宜采用球阀阀；4气体体管道阀门门、附件的的材质宜与与相连接的的管道材质质一致。3、强制性性条文等介介绍10.4.2洁洁净厂房内内的特种气气体的储存存分配间应应采用耐火火极限不低低于2.0h不燃烧烧体的隔墙墙与洁净室室（区）分分隔，隔墙墙上的门窗窗应为甲级级防火门窗窗。10.4.3洁洁净室（区区）内可燃燃或有毒的的特种气体体分配系统统的设置，，应符合下下列规定：：1特种种气体钢瓶瓶（含硅烷烷或硅烷混混合物）应应设置在具具有连续机机械排风的的特气柜中中；2排风风机、泄漏漏报警、自自动切断阀阀均应设置置应急电源源；3一个个特气分配配系统供多多台生产设设备使用时时，应设置置多路阀门门箱；4可燃燃性、氧化化性特种气气体管道的的设置应符符合本规范范第10.1和10.2节的有关规规定。3、强制性性条文等介介绍10.4.4特特种气体分分配系统应应设置吹扫扫盘，并应应符合下列列规定：1应设设置应急切切断装置；；2应设设置过流量量控制装置置；3应设设置手动隔隔离阀；4吹扫扫气源不宜宜采用常用用气体系统统；5不相相容特种气气体的吹扫扫盘不得共共用吹扫气气瓶。10.4.5硅硅烷或硅烷烷混合物的的气瓶应存存放在洁净净厂房建筑筑外的储存存区内。储储存区的设设置应符合合下列规定定：1储存存区应至少少三面敞开开，气瓶应应固定在钢钢制框架上上；2气瓶瓶或气瓶组组与周围的的构筑物或或围栏的间间距应大于于3.0m；3储存存区顶棚的的高度应大大于3.5m。3、强制性性条文等介介绍11.2.1洁洁净厂房内内各种化学学品储存间间（区）的的设置，应应符合下列列规定：1化学学品储存间间（区）的的储量不应应超过该化化学品24h的消耗耗量；2化学学品应按物物化特性分分类储存，，当物化性性质不容许许同库储存存时，应采采用实体墙墙分隔；3危险险化学品应应储存在单单独的储存存间或储存存分配间内内，与相邻邻房间应采采用耐火极极限大于1.50h的隔墙分分隔；4危险险化学品储储存、分配配间宜靠外外墙布置；；5各类类化学品储储存、分配配间应设置置机械排风风。机械排排风应采用用应急电源源；6易爆爆化学品储储存、分配配间，应采采用不发生生火花的防防静电地面面；7输送送易燃、易易爆化学品品的管道，，应设置导导除静电的的接地设施施；8接至至用户的输输送易燃、、易爆化学学品的总管管上，应设设置自动和和手动切断断阀。3、强制性性条文等介介绍11.2.2洁洁净厂房内内采用容器器传送危险险化学品时时，应符合合下列规定定：1严禁禁在出入口口、疏散走走廊储存和和分配危险险化学品。。洁净厂房房内运送易易燃化学品品的走廊应应设置自动动灭火系统统；2运送送危险化学学品的推车车运载量不不得超过250L；；单个容器器的容量不不应超过20L；3物理理化学特性性不相容的的危险化学学品不得采采用同一推推车运送。。11.2.3当当采用压力力罐输送危危险化学品品时，应符符合下列规规定：1输送送系统设备备、管道应应采用与所所输送的化化学品相容容的材质；；2压力力罐应设置置减压通风风口，减压压通风口的的排气管应应接至安全全区域；3输送送系统应只只容许采用用氮气增压压；4在分分配和使用用处应设置置手动切断断阀；5应设设置液位监监控和自动动关闭装置置，并应设设置溢流应应对设施。。3、强制性性条文等介介绍11.2.5液液态危险化化学品的储储存、分配配间，应设设置溢出保保护设施，，并应符合合下列规定定：1储存存罐或罐组组应设置保保护堤，保保护堤堤内内容积应大大于最大储储罐的容积积或20min消防防用水量；；保护堤的的高度不应应低于500mm；；2化学学品相互接接触引起化化学反应的的可燃液体体储罐或罐罐组之间，，应设置隔隔堤，隔堤堤不得渗漏漏；管道穿穿过隔堤时时应采用不不燃材料密密封。隔堤堤高度不应应低于400mm；；3应设设置液体泄泄露报警；；4应设设置紧急淋淋浴和洗眼眼器。11.3.1化化学品供应应系统管道道材质的选选用，应按按所输送的的化学品的的物理化学学性质确定定，并应选选择化学稳稳定性能良良好和相容容性好的材材料。3、强制性性条文等介介绍12.1.6洁洁净室（区区）内的配配电设备，，应选择不不易积尘、、便于擦拭拭的小型、、暗装设备备，不宜设设置落地安安装的配电电设备。配配电设备宜宜设置在下下技术夹层层，并应在在顶部设挡挡水设施。。12.1.7洁洁净厂房的的电气管线线宜敷设在在技术夹层层或技术夹夹道内，宜宜采用低烟烟、无卤型型电缆，穿穿线导管应应采用不燃燃材料。洁洁净生产区区的电气管管线宜暗敷敷，电气管管线管口及及安装于墙墙上的各种种电器设备备与墙体接接缝处应采采取密封措措施。12.1.8洁洁净厂房内内，可燃气气体或液体体的储存、、分配间的的电气设计计，应根据据可燃气体体或液体的的特性确定定，并应符符合现行国国家标准《《爆炸和火火灾危险环环境电力装装置设计规规范》GB50058的有有关规定。。3、强制性性条文等介介绍12.2.3洁洁净厂房备备用照明的的设置应符符合下列规规定：1洁净净室（区））内应设备备用照明；；2备用用照明宜作作为正常照照明的一部部份，且不不应低于该该场所一般般照明照度度值的20%；3备用照明的的电源宜由由变电所专专线供电。。12.2.4洁净厂房内内应设置供供人员疏散散用应急照照明，其照照度不应低低于5.0lx。在安全出出入口、疏疏散通道或或疏散通道道转角处应应设置疏散散标志。在在专用消防防口应设置置红色应急急照明指示示灯。3、强制性性条文等介介绍12.3.2洁洁净厂房应应设置火灾灾自动报警警系统，其其防护等级级应符合现现行国家标标准《火灾灾自动报警警系统设计计规范》GB50116的的有关规定定。当防火火分区面积积超过现行行国家标准准《建筑设设计防火规规范》GB50016规定定的最大建建筑面积允允许值时，，保护等级级应提高为为一级。12.3.4洁洁净厂房内内火灾探测测器的设置置应符合下下列规定：：1洁净净生产区、、技术夹层层、机房、、站房等均均应设置火火灾探测器器，其中洁洁净生产区区、技术夹夹层应设置置智能型探探测器；2当洁洁净厂房防防火分区面面积超过现现行国家标标准《建筑筑设计防火火规范》GB50016的的规定时或或顶部安装装点式探测测器不能满满足现行规规范设计要要求时，在在洁净室（（区）内净净化空调系系统混入新新风前的回回风气流中中应设置灵灵敏度严于于0.01%obs/m的的早期烟雾雾报警探测测器；3硅烷烷储存、分分配间（区区），应设设置红外线线—紫外线线火焰探测测器；4洁净净生产区、、走道和技技术夹层（（不包括不不通行的技技术夹层））应设置手手动报警按按钮和声光光报警装置置。3、强制性性条文等介介绍12.3.6洁洁净厂房内内下列场所所应设置气气体泄漏报报警装置：：1易燃燃、易爆、、有毒气体体的储存分分配间（区区）；2易燃燃、易爆、、有毒气体体的气瓶柜柜和分配阀阀门箱内；；3工艺艺设备的气气体分配箱箱和排风管管内。12.3.7洁洁净厂房内内气体报警警装置的联联动控制，，应符合下下列规定：：1应自自动启动相相应的事故故排风装置置；2应自自动关闭相相关部位的的进气阀；；3应自自动关闭相相关部位的的电动防火火门、防火火卷帘门；；4报警警信号应发发送至消防防控制室和和气体控制制室。应自自动启动泄泄漏现场的的声光警报报装置和应应急广播。。12.3.8洁洁净厂房内内易燃、易易爆、有毒毒气体泄漏漏报警值应应为其爆炸炸下限值或或允许浓度度值的20%。3、强制性性条文等介介绍12.4.4净化化空调系统统采用电加加热器时，，电加热器器与风机应应联锁控制制,并应设设置无风、、超温断电电保护；当当采用电加加湿器时，，应设置无无水、无风风断电保护护。12.5.2当当电子设备备的功能接接地要求分分开设置时时，应设有有防止雷电电反击设施施。分开设设置的接地地系统接地地极应与共共用接地系系统接地极极保持20m以上的的间距。3、强制性性条文等介介绍13.1.2防防静电电环境境设计计应按按电子子产品品或生生产工工序（（设备备）进进行分分级。。防静静电环环境内内静电电电位位绝对对值应应小于于电子子产品品的静静电电电位安安全值值。防防静电电环境境设计计应分分为三三级，，防静静电环环境设设计分分级适适用场场所应应符合合表13.1.2的要求求。防静电级别静电电位绝对值V适用场所一级≤1001、半导体器件、集成电路、平板显示器制造和测试的场所2、电子产品生产过程中操作1级静电敏感器件制造和测试的场所二级≤2001、静电敏感精密电子仪器的测试和维修场所2、静电敏感电子器件制造和测试的场所三级≤1000除一级、二级场所以外的电子器件和整机的组装、调试场所表13.1.2防防静静电环环境设设计分分级适适用场场所3、强强制性性条文文等介介绍13.2.1洁洁净厂厂房防防静电电环境境中，，防静静电地地面的的面层层结构构和材材料应应符合合下列列要求求：1防防静静电地地面的的面层层的选选择,应满满足电电子产产品生生产工工艺的的要求求;2防防静静电地地面的的表层层应采采用静静电耗耗散性性材料料，静静电耗耗散性性材料料表面面电阻阻率应应为2.5×104~1×109Ω；；3防防静静电地地面应应设置置导静静电泄泄放设设施和和接地地连接接，其其地面面对地地泄放放电阻阻值应应为1×105～1×108Ω。。13.2.3洁洁净厂厂房防防静电电环境境的门门窗设设计，，应符符合下下列要要求：：1应应选选用静静电耗耗散材材料制制作门门窗或或采用用耗散散材料料贴面面；2金金属属门窗窗表面面应涂涂刷静静电耗耗散性性涂层层，并并应接接地；；室内隔隔断和和观察察窗安安装大大面积积玻璃璃时，，玻璃璃表面面应粘粘贴静静电耗耗散性性透明明薄膜膜或喷喷涂静静电耗耗散性性涂层层。13.3.4对对电子子产品品生产产工程程中产产生静静电危危害的的设备备、流流动液液体、、气体体或粉粉体管管道应应采取取防静静电接接地措措施，，其中中有爆爆炸和和火灾灾危险险的设设备、、管道道应符符合现现行国国家标标准《《爆炸炸和火火灾危危险环环境电电力装装置设设计规规范》》GB50058的有有关规规定。。3、强强制性性条文文等介介绍14.2.3净净化空空调系系统、、公用用动力力设备备和输输送管管道等等洁净净厂房房的主主要噪噪声源源，应应采取取隔声声、消消声、、隔振振等噪噪声控控制措措施。。空调调机房房、动动力站站房宜宜采取取下列列措施施：1围围护结结构宜宜采取取吸声声和隔隔声处处理；；2对辐辐射噪噪声值值超过过规定定的设设备，，应设设置隔隔声屏屏、隔隔声罩罩或悬悬挂吸吸声体体等；；3机机房、、站房房内的的控制制室的的围护护结构构，宜宜采用用隔声声性能能良好好的材材料。。14.2.4洁洁净室室（区区）内内的各各类排排风系系统（（不包包括事事故排排风系系统））应设设置消消声器器等降降噪设设施。。3、强强制性性条文文等介介绍15.1.2设计有有微振振控制制要求求的洁洁净厂厂房时时，应应符合合下列列规定定：1总总平平面布布置时时，应应核实实相邻邻厂房房、建建筑物物或构构筑物物对精精密设设备、、仪器器的振振动影影响；；2设设有有精密密设备备、仪仪器的的洁净净厂房房，其其建筑筑基础础构造造、结结构选选型、、隔振振缝的的设置置、洁洁净室室装修修等应应按微微振控控制要要求设设计；；3对对设设有精精密设设备、、仪器器的洁洁净室室（区区）有有振动动影响响的动动力设设备及及其管管道，，应采采取主主动隔隔振措措施；；4洁洁净净室（（区））内精精密设设备、、仪器器，经经测试试确认认受到到周围围振动动影响响时，，应采采取被被动隔隔振措措施。。15.2.1微微振动动控制制设计计应根根据精精密仪仪器、、设备备的特特性，，采取取综合合隔振振措施施。3、强强制性性条文文等介介绍15.2.3精密仪仪器、、设备备的容容许振振动值值，应应由制制造商商提供供。无无法确确定时时，可可按附附录C或根据据其工工作特特性确确定。。15.3.2有微振振动控制要求求的洁净室（（区），其建建筑结构的微微振动控制