电镜技术及其应用上课课件

扫描电镜技术及其应用方必军江苏工业学院材料科学与工程学院扫描电镜技术及其应用1●扫描电镜的诞生●扫描电镜的工作原理和结构●成像原理●扫描电镜的图像和衬度●扫描电镜微区成分分析技术●试样制备技术●扫描电镜的应用●扫描隧道显微镜拾趣●扫描电镜的诞生2、扫描电镜的诞生光学显微镜的极限●光的衍射对分辨率的限制性(EAbbe)6=061nsina0.61×500201.99(n51×sin90λ:波长(390-76nm);n:介质折射系数(香柏油n=1.51);c:入射光束孔径角的一半(最大180°)人眼的分辨率:0.100.25mm●观察200mm微体的最低放大倍数:0.1×10°m11500倍)M:放大倍率;R:人眼分辨率;δ:仪器分辨率、扫描电镜的诞生3、扫描电镜的诞生nserandtheIMAGEresolution-nsingystocreatespecimOehnlflight,afigureof0.53ymiscommonlyUMERICALAPERTURE:nsin0inthebeashighas1.4.Thehigherthenumericalngdiatoncosandavorrsma.yoryadvan、扫描电镜的诞生4、扫描电镜的诞生扫描电镜的研究历程1●高速运动的粒子发射电磁辐射(Debroglie):72c考虑相对论效应:A√、(1+0.978×10Gabor线圈对电子流折射聚焦(Busch):电场和磁场可以作为电子束的透镜、扫描电镜的诞生5、扫描电镜的诞生扫描电镜的研究历程222MaxKnoll(18971969):1935年提出扫描电镜的设计思1942年,剑桥大学的马想和工作原理伦成功地制造世界第台扫描电镜、扫描电镜的诞生6、扫描电镜的诞生Scanningelectronmicroscope、扫描电镜的诞生72、扫描电镜的原理和构造扫描电镜工作原理1电子枪发射电子束(直径50μm)电压加速、磁透镜系统会聚,形成直径5mm的电子束。●电子束在偏转线圈的作用下,在样品表面作光栅状扫描,激发多种电子信号。●探测器收集信号电子,经过放大、转换,在显示系统上成像(扫描电子像)二次电子的图像信号“动态”地形成三维图像。2、扫描电镜的原理和构造82、扫描电镜的原理和构造浸相宠一聚光扫靠发鲨线扫描发生扫描电镜工作原理深头电恰谱曾自电锐工作双理2、扫描电镜的原理和构造92、扫描电镜的原理和构造扫描电镜主要结构●电子束会聚系统电子枪、静电透镜、磁透镜(合金极靴块、线圈、屏蔽罩)、扫描线圈样品室●真空系统1.3×10-2-1.33×10-4Pa,旋转机械泵、油扩散泵电子学系统电源系统、信号电子成像系统图像显示系统2、扫描电镜的原理和构造10电镜技术及其应用上课课件11电镜技术及其应用上课课件12电镜技术及其应用上课课件13电镜技术及其应用上课课件14电镜技术及其应用上课课件15电镜技术及其应用上课课件16电镜技术及其应用上课课件17电镜技术及其应用上课课件18电镜技术及其应用上课课件19电镜技术及其应用上课课件20电镜技术及其应用上课课件21电镜技术及其应用上课课件22电镜技术及其应用上课课件23电镜技术及其应用上课课件24电镜技术及其应用上课课件25电镜技术及其应用上课课件26电镜技术及其应用上课课件27电镜技术及其应用上课课件28电镜技术及其应用上课课件29电镜技术及其应用上课课件30电镜技术及其应用上课课件31电镜技术及其应用上课课件32电镜技术及其应用上课课件33电镜技术及其应用上课课件34电镜技术及其应用上课课件35电镜技术及其应用上课课件36电镜技术及其应用上课课件37电镜技术及其应用上课课件38电镜技术及其应用上课课件39电镜技术及其应用上课课件40电镜技术及其应用上课课件41电镜技术及其应用上课课件42电镜技术及其应用上课课件43电镜技术及其应用上课课件44电镜技术及其应用上课课件45电镜技术及其应用上课课件46电镜技术及其应用上课课件47电镜技术及其应用上课课件48电镜技术及其应用上课课件49电镜技术及其应用上课课件50电镜技术及其应用上课课件51电镜技术及其应用上课课件52电镜技术及其应用上课课件53电镜技术及其应用上课课件54电镜技术及其应用上课课件55电镜技术及其应用上课课件56电镜技术及其应用上课课件57电镜技术及其应用上课课件58电镜技术及其应用上课课件59电镜技术及其应用上课课件60电镜技术及其应用上课课件61电镜技术及其应用上课课件62电镜技术及其应用上课课件63扫描电镜技术及其应用方必军江苏工业学院材料科学与工程学院扫描电镜技术及其应用64●扫描电镜的诞生●扫描电镜的工作原理和结构●成像原理●扫描电镜的图像和衬度●扫描电镜微区成分分析技术●试样制备技术●扫描电镜的应用●扫描隧道显微镜拾趣●扫描电镜的诞生65、扫描电镜的诞生光学显微镜的极限●光的衍射对分辨率的限制性(EAbbe)6=061nsina0.61×500201.99(n51×sin90λ:波长(390-76nm);n:介质折射系数(香柏油n=1.51);c:入射光束孔径角的一半(最大180°)人眼的分辨率:0.100.25mm●观察200mm微体的最低放大倍数:0.1×10°m11500倍)M:放大倍率;R:人眼分辨率;δ:仪器分辨率、扫描电镜的诞生66、扫描电镜的诞生nserandtheIMAGEresolution-nsingystocreatespecimOehnlflight,afigureof0.53ymiscommonlyUMERICALAPERTURE:nsin0inthebeashighas1.4.Thehigherthenumericalngdiatoncosandavorrsma.yoryadvan、扫描电镜的诞生67、扫描电镜的诞生扫描电镜的研究历程1●高速运动的粒子发射电磁辐射(Debroglie):72c考虑相对论效应:A√、(1+0.978×10Gabor线圈对电子流折射聚焦(Busch):电场和磁场可以作为电子束的透镜、扫描电镜的诞生68、扫描电镜的诞生扫描电镜的研究历程222MaxKnoll(18971969):1935年提出扫描电镜的设计思1942年,剑桥大学的马想和工作原理伦成功地制造世界第台扫描电镜、扫描电镜的诞生69、扫描电镜的诞生Scanningelectronmicroscope、扫描电镜的诞生702、扫描电镜的原理和构造扫描电镜工作原理1电子枪发射电子束(直径50μm)电压加速、磁透镜系统会聚,形成直径5mm的电子束。●电子束在偏转线圈的作用下,在样品表面作光栅状扫描,激发多种电子信号。●探测器收集信号电子,经过放大、转换,在显示系统上成像(扫描电子像)二次电子的图像信号“动态”地形成三维图像。2、扫描电镜的原理和构造712、扫描电镜的原理和构造浸相宠一聚光扫靠发鲨线扫描发生扫描电镜工作原理深头电恰谱曾自电锐工作双理2、扫描电镜的原理和构造722、扫描电镜的原理和构造扫描电镜主要结构●电子束会聚系统电子枪、静电透镜、磁透镜(合金极靴块、线圈、屏蔽罩)、扫描线圈样品室●真空系统1.3×10-2-1.33×10-4Pa,旋转机械泵、油扩散泵电子学系统电源系统、信号电子成像系统图像显示系统2、扫描电镜的原理和构造73电镜技术及其应用上课课件74电镜技术及其应用上课课件75电镜技术及其应用上课课件76电镜技术及其应用上课课件77电镜技术及其应用上课课件78电镜技术及其应用上课课件79电镜技术及其应用上课课件80电镜技术及其应用上课课件81电镜技术及其应用上课课件82电镜技术及其应用上课课件83电镜技术及其应用上课课件84电镜技术及其应用上课课件85电镜技术及其应用上课课件86电镜技术及其应用上课课件87电镜技术及其应用上课课件88电镜技术及其应用上课课件89电镜技术及其应用上课课件90电镜技术及其应用上课课件91电镜技术及其应用上课课件92电镜技术及其应用上课课件93电镜技术及其应用上课课件94电镜技术及其应用上课课件95电镜技术及其应用上课课件96电镜技术及其应用上课课件97电镜技术及其应用上课课件98电镜技术及其应用上课课件99电镜技术及其应用上课课件100电镜技术及其应用上课课件101电镜技术及其应用上课课件102电镜技术及其应用上课课件103电镜技术及其应用上课课件104电镜技术及其应用上课课件105电镜技术及其应用上课课件106电镜技术及其应用上课课件107电镜技术及其应用上课课件108电镜技术及其应用上课课件109电镜技术及其应用上课课件110电镜技术及其应用上课课件111电镜技术及其应用上课课件112电镜技术及其应用上课课件113电镜技术及其