GE涂层坩埚外观检查标准(电路级)

GE涂层坩埚外观检查标准(电路级)GE涂层坩埚外观检查标准(电路级)GE涂层坩埚外观检查标准(电路级)资料仅供参考文件编号：2022年4月GE涂层坩埚外观检查标准(电路级)版本号：A修改号：1页次：1.0审核：批准:发布日期：外观标准 #102–污物(表面)(DRT) 定义: 在坩埚的内表面或外表面上的外来物质。如表面簿膜、灰尘、水斑或周边污染。（见表面外业物质“暴露的夹杂物”） 规定: 不可见 #104–细裂纹或裂纹 (CRKX) 定义: 石英坩埚表面上的任何表面裂纹。细裂纹是细的开裂线，其以“V”形稍稍进入坩埚壁，当在检验灯下检验时，可以看到是一亮线。裂缝稍大，可看到是一线性裂口或由撞击而成的一圆形表面图形（有时呈彩虹色） 规定: 不可见 #105–崩边 (CHPX) 定义: 坩埚表面有部分埚壁缺损而形成的完整的碎裂。 1)内圈 定义: 内表面上距开口10mm（英寸）内的崩边 规定: 没有未修补过的崩边、修过的崩边；其最大尺寸为 水平方面10mm，垂直方面5mm""). 2)顶部圆周平面定义: 坩埚顶部园周平面内一完整的缺损（透明区域）规定: 没有未修补过的崩边，修过的崩边；其最大深度为mm(.028") 3)外圈定义: 坩埚外表面上自顶部开口端起（）内的崩边。规定: 无未修补的崩边、修过的崩边最大尺寸为12mmx12mm(.47""). 修补必须符合最小壁厚规则，即开口端起mm(1/4”)以下。 4)坩埚体内定义: 在坩埚内壁上，低于开口端环形区的崩边，环形区指自开口端起10mm（）以下。规定: 不可见（修过的或未修过的） #109–划道/擦伤 (SCR) 定义: 坩埚壁上，裸眼可见的，任何破坏内壁光泽的线条。（注：“破坏光泽”可用非金属探针所受阻力探知） 规定: 1)擦伤：没有使内表面光泽破坏或明显变暗的擦伤。 2)划道：没有大于宽度的划道。#112–气泡(BUB),(DBUB)or(DMBB) 定义：在环形区"以下，存在于石英中的球形空洞（穴）。 规定： 1)侧壁(W1)或角处壁(W2) a)没有超过"的。 2)底部壁(W3) a)没有超过"的。 b)超过"的不多于2个。 3)总的限定(W1,W2,orW3) a)在任何1"圆周内，超过"的，不多于3个。 b)在任何6"×6"面积内（复合气泡除外），超过0.020"的不多于20个。 (DMBB)c)在任何1"的圆周内，由于气泡而形成的凹坑不多于5个。 (DBUB)d)没有含有夹杂物或变色的气泡。#112A–气泡团(采用单个气泡规则#112规则) 定义: 一个以上的气泡紧密集合成团或连在一起成为类似一个大的气泡，不在气泡团内，至少带有一个超过"的泡，可参见气化物#124C和气泡层#112C。 规定: a)将整个团视作一个大的气泡处理(缺陷#112). b)气泡团必须没有应力(见缺陷#134).#112B–开口气泡(OBB) 1)外表面 定义: 坩埚面内破坏正常表面状态的一个孔洞。 规定: a) 不论深度，没有直径超过""（2mm）的 b) 没有深度超过壁厚1/3的。 2)无光泽的内壁孔洞 定义: 在内壁上像孔洞一样的凹陷，孔的周边尖锐状（如刀刃） 规定: 不可见 3)有光泽的内壁孔洞 (定义参见#124C气化物)定义: 在内壁上像孔洞一样的凹陷，孔的周边为圆形，底部有光泽。 规定: a) 不论深度，没有直径超过"（2mm）的 b) 没有使坩埚壁减薄超过"的凹陷。#115–波纹(波状的/凸起/凹起)(RIP)定义: 通常在坩埚内表面上的一种平滑而像波浪一样起伏的外观。“波纹”准则的限定范围也适用于内，外表面上的凹陷或凸起。 限定范围: 1) 在整个坩埚上不允许有使埚壁厚超出公差的波纹，凹陷或凸起。 2) 在任何1长度范围内不允许有使壁厚变化大于的波纹（在多自的W1，W2和W3壁上）

3) 在任何1长的范围内（每一壁区W1，W2或W3内的两处）不允许有两处以上的使壁厚变化大于的波纹存在。注1：这一规则不适用于附着物或环形区崩边的研磨修补，它们包括在各自的缺陷标准内。#116–外表精度 定义：外径表面状态 限定：不允许有松散的物质（有细粒的）#119–环形区顶部平边（PCTX）“切口粗糙”定义： 环形平面太窄或太宽限定范围： 1)滚压过的边缘（RE圆形环边）2-4mm平边（除非另有规定）2)切割边缘（CE）最小平面为(除非另有规定)#122–光泽差 定义： 指内表面的状态，用肉眼在标准的检验状态下（40瓦荧光灯），玻璃状的表面呈暗淡状。这些例子可能包括由于直接在内表面上喷砂造成的无光泽表面，或由过度酸洗或溶融时的污染造成的。

对与光泽差还分的是实起的颗粒和气泡，参见#124缺陷，附着物及处理。 限定范围：无肉眼可见的情况。#123–外径白斑（WSP）宝义： 粘附于坩埚外周的部分熔融的砂粉块。限定范围： 1)在坩埚上大于"的斑点不大多5处。. 2)没有大于"直径的斑点。 3)没有高出表面"(1mm)以上的白斑点。#124–附着物(顶部距边处除外)定义: 熔在坩埚内壁，但未完全熔入石英壁的石英料。 特殊类型的附着物如以下规定：修补限定: 修补必须是平滑的，最大直径不超过2mm（例外情况：10直径及以下的坩埚，在第一代设备上制造的，采用最大修补8mm的规定）。#124A–砂峰（米砂）(ADMX，若不能修理)定义： 小而尖的部分熔融的石英砂，一般为直径)及以下，另一端已熔入坩埚内壁。限定范围： 没有尖的的或突起的。#124B–突起的颗粒(ADMX)定义: 已熔入坩埚内壁而又高出内壁表面的直径大于)的石英颗粒。 限定范围: 1) 没有无光泽的（尖的）或粗糙的突起物（这包括任何附于表面的物质或花纹，用非金属探针能感知其阻力。这些颗粒比#124日定义的单个砂峰要大）。 2) 光泽的颗粒必须整个外周都是平滑而有光泽的，且直径不大于（）而高度大于（）时。 3) 每只坩埚不能有多于5个“光泽的颗粒”，即使它们单独都能通过。#124C–气化物(VAP) 定义: 起聚在坩埚内表面上的石英，通常有光泽，而成为壁的一部分。气化物的特征是一个明显的由均匀分布小细气泡组成的区域，单个气泡都在（）以下。气化物可能有乳白色外观，这是由透明的细泡以及在壁内光滑的细泡形成的表面凹坑（有光泽的凹陷）形成的。限定范围: 1)没有无光泽的或表面粗糙的 2)没有超过40mm2面积的单个气化物。 (注:40mm2是×,4×10mm,5×8mm;或直径) 3)长度大于"气化物最多不能超过5个。#141–夹杂物A.暴露在内表面的夹杂物(OINC) 定义: 任何在内表面中并暴露于内表面上的非石英物质的外来物，可视为在光泽的内表面中的一个断口。 外来物: 没有眼睛可见的。B.不暴露的夹杂物(INC) 定义: 完全处于坩埚壁内中的非石英的任何外来物。 限定范围: 1) 在任何坩埚中，最大密度为25个至的夹杂物。. 2) 任何坩埚中，最多有10个直径为（）至的夹杂物。 3) 在整个坩埚表面，最多有3个至（）的夹杂物，且这些夹杂物间最小间距