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文档简介

注意事项第1页，共26页。生产注意事项恒温箱注意事项工艺卫生注意事项违规作业第2页，共26页。生产注意事项第3页，共26页。1.按工艺要求调整原始硅片电阻率测量电流。2.测量方块电阻时按工艺要求校准电流。3.按工艺要求精确测量方块电阻。

第4页，共26页。4.正常运行工艺时，舟不能自动进出。应：有可能是面板上的“急停”按纽处按下去了。限位开关未复位或损坏。保险丝烧断，由设备换保险。第5页，共26页。5.换POCL３时，由于误操作，将软管接反源倒流，应：立即关闭小Ｎ2，把软管卸下，用带有酒精的抹布擦拭。联系工艺人员更换软管。将Ｏ2打开至工艺标准。正确装好再做鼓泡实验。第6页，共26页。6．换源时搬运源瓶，阀门有液体滴下，应：

立即将出气口开至最大，（进气口也必须开），使源瓶内部压力保持平衡。如液面仍偏高，则可将源瓶微微倾斜，待源慢慢回流到瓶子里。第7页，共26页。恒温箱注意事项第8页，共26页。恒温箱界面第9页，共26页。恒温箱采用水冷方式。扩散源温控制在20度±0.5度，使用时恒温箱中需加入一定量的水，并要注意液位的变化，过高会溢出造成电器的短路，过低会造成源温不受控，更换源瓶时需相应加水或抽水。此外，还应视水质状况进行定期换水。第10页，共26页。工艺卫生注意事项第11页，共26页。进入扩散间时必须穿洁净服、并穿戴一次性鞋套。第12页，共26页。进入风淋门前要按要求穿戴好，双臂上举，旋转风淋30秒。第13页，共26页。违规作业严禁生产中出现此类行为第14页，共26页。工序安全严禁作业更换过源瓶后必须对源瓶软管进行检查，以防止软管老化，导致源外泄！第15页，共26页。以下是更换源瓶时没有穿防护服!第16页，共26页。以下是更换源瓶时没有戴好防毒面具穿防护服!第17页，共26页。禁止一只手拿两个盒子！第18页，共26页。工序6S严禁作业禁止用舟叉点击界面！第19页，共26页。禁止两个传递窗同时打开！第20页，共26页。禁止用手直接与石英舟接触！第21页，共26页。禁止不穿洁净鞋进入扩散间！第22页，共26页。禁止把柜子门打开！第23页，共26页。禁止把扩散间与刻蚀间的门同时打开！第24页，共26页。第25页，共26页。内容梗概注意事项。5.换POCL３时，由于误操作，将软管接反源倒流，应：。立即关闭小Ｎ2，把软管卸下，用带有酒精的抹布擦拭。6．换源时搬运源瓶，阀门有液体滴下，应：。立即将出气口开至最大，（进气口也必须开），使源瓶内部压力保持平衡。如液面仍偏高，则可将源瓶微微倾斜，待源慢慢回流到瓶子里。进入风淋门前要按要求穿戴好，双臂上举，旋转风淋30秒。更换过源瓶

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