CDA与特气简介课件

CDA系统与特气简介1ppt课件CDA系统与特气简介1ppt课件内容提要CDA管网三.CDA设备组成二.CDA的特点一.厂内特气四.2ppt课件内容提要CDA管网三.CDA设备组成二.CDA的特点一.厂内一、CDA的特点CDA的压力，洁净，及低露点特点满足现在高精密的制程要求•

CDA：–CompressedDryAirAir外界空气CDACompressed压缩Clean洁净Dry干燥压力露点颗粒，油–CleanDryAir3ppt课件一、CDA的特点CDA的压力，洁净，及低露点特点满足现在高精•压缩空气品质标准–国际标准：ISO-8573-1–Fab#3压缩干燥空气系统采用的是1级标准设计4ppt课件•压缩空气品质标准–Fab#3压缩干燥空气系统采用的是压缩空气已成为仅次于电力的第二大动力能源；1，获取与贮存易于获得且易于贮存，输送方便；2，安全性没有特殊的有害性能，能在恶劣环境下工作且危险后果不会引起火灾；3，设计与控制使用的气动元件简单，易于实现直线与回转运动，且自动控制方便；4，经济性元件价格合适，使用时间长，维修费用较低；•CDA的特性：5ppt课件压缩空气已成为仅次于电力的第二大动力能源；1，获取与贮存2，AmbientCompressor空压机Tank气罐FilterFilterFilterCDA系统中的主要设备为空压机，气罐，干燥机，过滤器及相应的管路；•

CDA系统流程图：Clean,Dry,&PressurizedAir二、CDA设备组成冷却水冷却Dryer干燥机自动排水器6ppt课件AmbientCompressor空压机TankFilter1、空压机将气体增压的设备；按工作原理可分为：空压机定排量式速度式往复式回转式轴流式径流式活塞机螺杆机离心机Fab#3使用的阿特拉斯水冷式螺杆机；7ppt课件1、空压机将气体增压的设备；按工作原理可分为：空压机定排量式螺杆压缩机构造：平行的一对相互啮合的螺旋形转子；阳转子阴转子3,转子两端的圆锥滚子推力轴承使转子实现径向定位，并承受径向力和轴向力；

球轴承推力轴承1,阳转子作为主动转子，带动阴转子转动；2,转子上的球轴承使转子实现轴向定位，并承受压缩机中的轴向力；8ppt课件螺杆压缩机构造：平行的一对相互啮合的螺旋形转子；阳转子阴转子吸气

封闭

压缩排气

齿脱离啮合位置形成齿间容积，在其内部形成了真空，外气在压差作用下流入其中；转子的旋转齿间容积达到了最大，此位置齿间容积与吸气口断开，吸气过程结束。同时阴阳转子的齿峰与机壳密封，齿槽内的气体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中；齿间容积由于转子齿的啮合而不断减少，实现气体的压缩，气体压力不断升高；

齿间容积与排气口连通后即开始排气，持续到齿末端的型线完全啮合为止；螺杆空压机产气过程：9ppt课件吸气封闭压缩排气齿脱离啮合位置形成齿间容积，在其内部螺杆空压机管路流向(水,油,压缩空气)：压缩空气油加卸载调节阀空气过滤器油过滤器高压转子低压转子消声器单向阀压缩空气出口后冷器中冷器油冷却器油泵冷却水贮油槽空气进口水分离器排污阀冷却水出冷却水进10ppt课件螺杆空压机管路流向(水,油,压缩空气)：压缩空气油100%进气C膜片转换阀中间压力2.3bar电磁阀进气阀加载活塞高压排气阀排气消音器AC24V0bar

K04空压机加载运行：管网压力降低到加载压力时，电磁阀（Y1）得电向上运动;1,中间压力进入阀腔（1）,该压力比阀腔（3）的压力高，摧动加载活塞克服弹簧力向右运动;2,在连杆上的调节阀（TV）随同也打开;而卸荷阀（UV）同时关闭;空压机加载运行;11ppt课件100%进气C膜片转换阀中间压力2.3bar电磁阀进气阀加载一级压缩排气消音器高压排气阀进气阀加载活塞电磁阀10%进气-0.9bar-0.7bar中间压力膜片转换阀大气0bar高压转子出口LPK04AC24V空压机卸载运行：管网压力达到卸载压力时，电磁阀(Y1)失电，在弹簧力的作用下向下运动，2,连杆(2)在弹簧力作用下返回，调节阀（TV）关闭,导致中间压力为负值,膜片(4)向左移动;同时卸荷阀（UV）打开,高压转子出口压力通过消音器(US)排放;空压机卸载运行;1,中间压力停止向阀腔(1)供气,阀腔(1)中的控制压力气体通过电磁阀(Y1)和阀腔(3)向压缩机机头进口处放空。12ppt课件一级压缩排气消音器高压排气阀进气阀加载活塞电磁阀10%进气-2、储气桶槽

储压，稳压缓和管道内的压力波动，减少空压机的频繁加卸载；常温空气DRAINTRAPINLETOUTLET

冷却储气桶表面积大，压缩空气可利用其外气散热；

排水气体在桶槽内旋转碰撞，凝结成水滴，在桶底积聚，通过自动排水装置排出；13ppt课件2、储气桶槽储压，稳压常DRAINTRAPINLETO3、干燥机移除压缩空气中的水分子吸附式干燥机根据其再生方式：无热再生有热再生彭风机加热管14ppt课件3、干燥机移除压缩空气中的水分子吸附式干燥机根据其再生方式：Fab#3干燥机使用的干燥剂：选用的是30%的分子筛+70%的活性氧化铝吸附剂：利用分子间的“范得华”力,将水分子吸附其表面；

分子筛放大照15ppt课件Fab#3干燥机使用的干燥剂：吸附剂：利用分子间的“范得华”①，先将桶槽B2进行缓慢卸压;干燥机工作步聚再生:当一个桶槽吸附时，另一桶槽就可以开始再生；②，鼓风机经过单向止回阀R3吸取环境空气经电加热器将环境空气加热到需求的再生温度后经过气动二通阀K6从上而下进入桶槽B2;③，对B2内的吸附剂和吸附的水分进行加热，经过气动二通阀K4后将水气排入环境中;16ppt课件①，先将桶槽B2进行缓慢卸压;干燥机工作步聚再生:当一个桶槽④，冷却空气被鼓风机吸入后再度循环。冷却过程是从下而上。干燥机工作步聚冷却:再生加热完成后，为了避免吸附剂内的高温对现场使用的影响，即进入桶槽的冷却；①，冷却采用密闭循环，避免环境空气的影响。②，首先鼓风机反转，冷却空气经单向止回阀R4,气动二通阀K4从下而上进入桶槽B2冷却，③，与吸附剂换热后经气动二通阀K6与冷却器换热冷却，吸附剂的热量最终被冷却水带走。17ppt课件④，冷却空气被鼓风机吸入后再度循环。冷却过程是从下而上。干燥4、过滤滤芯Tank气罐FilterDryer干燥机FilterFilter前置后置末置18ppt课件4、过滤滤芯TankFilterDryerFilterFil三、CDA管网1,Fab#3每个楼层设置有Tank保证本楼层压力的稳定;3,所有CDA管路材质使用是SUS316LBASCH5S不锈钢管;TankTank空压机2F1F计量2,每个区域采用环网管路，进一步保证至各机台压力的稳定；19ppt课件三、CDA管网1,Fab#3每个楼层设置有Tank保证本楼层SUS316LBASCH5S对应GB的00Cr17Ni14Mo2SUS日本材料标准316美国ASTM标准生产出来的不锈钢的牌号L低碳BA处理工艺，光辉烧钝（冷抽+退火）处理SCH5S美国ASMEB36.19标准下对应的管壁厚AP酸洗管MP机械研磨处理EP电解研磨处理MPEP电解复合研磨处理20ppt课件SUS316LBASCH5S对应GB的00Cr17N素管表面MP/BA处理后表面EP/MPEP处理后表面虽可达到镜面效果，但也有处理不平，且其表面钝化破坏利用表层溶解方式，平坦化表面并富铬化，提高抗蚀性不锈钢表面不同处理图：21ppt课件素管表面MP/BA处理后表面EP/MPEP处理后表面虽可达到2、流量计流量计种类繁多，根据不同量测方法有浮子流量计,涡轮流量计,差压式流量计,容积式流量计,热式流量计,超声波流量计等；浮子流量计涡轮流量计22ppt课件2、流量计流量计种类繁多，根据不同量测方法有浮子流量计,涡轮孔板原理：流速将在孔板处形成局部收缩，因而流速增加，静压力降低，于是在孔板前后便产生了压差。流体流量愈大，产生的压差愈大，这样通过压差来计量体积流量大小;优点：便宜简单；

主要缺点：测量精度普遍偏低；范围度窄；压损大；①，压差式流量计：23ppt课件孔板原理：优点：便宜简单；

①，压差式流量计：23ppt课原理：流体经挡体的阻挡，在下游产生两个漩涡，一个沿顺时针旋转，另一个则沿逆时针旋转，且一次只有一个,在挡体左右两侧交替出现，通过测量漩涡的频率来确定液体的速度，从而计算流体的体积流量；②，涡街流量计优点：结构简单牢固；较高测量精度；测量范围宽，压损小。

缺点：需较长直管段24ppt课件原理：②，涡街流量计优点：结构简单牢固；较高测量精度；测量范原理：流量计有两个探头，一个探头测量流体的温度T1，另一个探头在气体温度的基础上再加恒温△T；由于气体流过,探头带走了热量，势必要补偿电功率才能保持△T的恒定，而这个补偿的电功率和流过的气体质量流量成正比关系。热式流量计的主要特点是不受温度与压力变动的影响,精度高;

③，热式流量计25ppt课件原理：热式流量计的主要特点是不受温度与压力变动的影响,精度高四、厂内特气公司特气有:CO2,Ar2,CF4,O2共四种用于制程中;1、采用集中的高压气瓶供应，经调压阀降压后接入机台;2、使用同CDA一样材质的SUS316LBASCH5S不锈钢管;26ppt课件四、厂内特气公司特气有:CO2,Ar2,CF4,O2共四种用附:常用压力单位换算表：27ppt课件附:常用压力单位换算表：27ppt课件Thankyou！28ppt课件Thankyou！28ppt课件CDA系统与特气简介29ppt课件CDA系统与特气简介1ppt课件内容提要CDA管网三.CDA设备组成二.CDA的特点一.厂内特气四.30ppt课件内容提要CDA管网三.CDA设备组成二.CDA的特点一.厂内一、CDA的特点CDA的压力，洁净，及低露点特点满足现在高精密的制程要求•

CDA：–CompressedDryAirAir外界空气CDACompressed压缩Clean洁净Dry干燥压力露点颗粒，油–CleanDryAir31ppt课件一、CDA的特点CDA的压力，洁净，及低露点特点满足现在高精•压缩空气品质标准–国际标准：ISO-8573-1–Fab#3压缩干燥空气系统采用的是1级标准设计32ppt课件•压缩空气品质标准–Fab#3压缩干燥空气系统采用的是压缩空气已成为仅次于电力的第二大动力能源；1，获取与贮存易于获得且易于贮存，输送方便；2，安全性没有特殊的有害性能，能在恶劣环境下工作且危险后果不会引起火灾；3，设计与控制使用的气动元件简单，易于实现直线与回转运动，且自动控制方便；4，经济性元件价格合适，使用时间长，维修费用较低；•CDA的特性：33ppt课件压缩空气已成为仅次于电力的第二大动力能源；1，获取与贮存2，AmbientCompressor空压机Tank气罐FilterFilterFilterCDA系统中的主要设备为空压机，气罐，干燥机，过滤器及相应的管路；•

CDA系统流程图：Clean,Dry,&PressurizedAir二、CDA设备组成冷却水冷却Dryer干燥机自动排水器34ppt课件AmbientCompressor空压机TankFilter1、空压机将气体增压的设备；按工作原理可分为：空压机定排量式速度式往复式回转式轴流式径流式活塞机螺杆机离心机Fab#3使用的阿特拉斯水冷式螺杆机；35ppt课件1、空压机将气体增压的设备；按工作原理可分为：空压机定排量式螺杆压缩机构造：平行的一对相互啮合的螺旋形转子；阳转子阴转子3,转子两端的圆锥滚子推力轴承使转子实现径向定位，并承受径向力和轴向力；

球轴承推力轴承1,阳转子作为主动转子，带动阴转子转动；2,转子上的球轴承使转子实现轴向定位，并承受压缩机中的轴向力；36ppt课件螺杆压缩机构造：平行的一对相互啮合的螺旋形转子；阳转子阴转子吸气

封闭

压缩排气

齿脱离啮合位置形成齿间容积，在其内部形成了真空，外气在压差作用下流入其中；转子的旋转齿间容积达到了最大，此位置齿间容积与吸气口断开，吸气过程结束。同时阴阳转子的齿峰与机壳密封，齿槽内的气体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中；齿间容积由于转子齿的啮合而不断减少，实现气体的压缩，气体压力不断升高；

齿间容积与排气口连通后即开始排气，持续到齿末端的型线完全啮合为止；螺杆空压机产气过程：37ppt课件吸气封闭压缩排气齿脱离啮合位置形成齿间容积，在其内部螺杆空压机管路流向(水,油,压缩空气)：压缩空气油加卸载调节阀空气过滤器油过滤器高压转子低压转子消声器单向阀压缩空气出口后冷器中冷器油冷却器油泵冷却水贮油槽空气进口水分离器排污阀冷却水出冷却水进38ppt课件螺杆空压机管路流向(水,油,压缩空气)：压缩空气油100%进气C膜片转换阀中间压力2.3bar电磁阀进气阀加载活塞高压排气阀排气消音器AC24V0bar

K04空压机加载运行：管网压力降低到加载压力时，电磁阀（Y1）得电向上运动;1,中间压力进入阀腔（1）,该压力比阀腔（3）的压力高，摧动加载活塞克服弹簧力向右运动;2,在连杆上的调节阀（TV）随同也打开;而卸荷阀（UV）同时关闭;空压机加载运行;39ppt课件100%进气C膜片转换阀中间压力2.3bar电磁阀进气阀加载一级压缩排气消音器高压排气阀进气阀加载活塞电磁阀10%进气-0.9bar-0.7bar中间压力膜片转换阀大气0bar高压转子出口LPK04AC24V空压机卸载运行：管网压力达到卸载压力时，电磁阀(Y1)失电，在弹簧力的作用下向下运动，2,连杆(2)在弹簧力作用下返回，调节阀（TV）关闭,导致中间压力为负值,膜片(4)向左移动;同时卸荷阀（UV）打开,高压转子出口压力通过消音器(US)排放;空压机卸载运行;1,中间压力停止向阀腔(1)供气,阀腔(1)中的控制压力气体通过电磁阀(Y1)和阀腔(3)向压缩机机头进口处放空。40ppt课件一级压缩排气消音器高压排气阀进气阀加载活塞电磁阀10%进气-2、储气桶槽

储压，稳压缓和管道内的压力波动，减少空压机的频繁加卸载；常温空气DRAINTRAPINLETOUTLET

冷却储气桶表面积大，压缩空气可利用其外气散热；

排水气体在桶槽内旋转碰撞，凝结成水滴，在桶底积聚，通过自动排水装置排出；41ppt课件2、储气桶槽储压，稳压常DRAINTRAPINLETO3、干燥机移除压缩空气中的水分子吸附式干燥机根据其再生方式：无热再生有热再生彭风机加热管42ppt课件3、干燥机移除压缩空气中的水分子吸附式干燥机根据其再生方式：Fab#3干燥机使用的干燥剂：选用的是30%的分子筛+70%的活性氧化铝吸附剂：利用分子间的“范得华”力,将水分子吸附其表面；

分子筛放大照43ppt课件Fab#3干燥机使用的干燥剂：吸附剂：利用分子间的“范得华”①，先将桶槽B2进行缓慢卸压;干燥机工作步聚再生:当一个桶槽吸附时，另一桶槽就可以开始再生；②，鼓风机经过单向止回阀R3吸取环境空气经电加热器将环境空气加热到需求的再生温度后经过气动二通阀K6从上而下进入桶槽B2;③，对B2内的吸附剂和吸附的水分进行加热，经过气动二通阀K4后将水气排入环境中;44ppt课件①，先将桶槽B2进行缓慢卸压;干燥机工作步聚再生:当一个桶槽④，冷却空气被鼓风机吸入后再度循环。冷却过程是从下而上。干燥机工作步聚冷却:再生加热完成后，为了避免吸附剂内的高温对现场使用的影响，即进入桶槽的冷却；①，冷却采用密闭循环，避免环境空气的影响。②，首先鼓风机反转，冷却空气经单向止回阀R4,气动二通阀K4从下而上进入桶槽B2冷却，③，与吸附剂换热后经气动二通阀K6与冷却器换热冷却，吸附剂的热量最终被冷却水带走。45ppt课件④，冷却空气被鼓风机吸入后再度循环。冷却过程是从下而上。干燥4、过滤滤芯Tank气罐FilterDryer干燥机FilterFilter前置后置末置46ppt课件4、过滤滤芯TankFilterDryerFilterFil三、CDA管网1,Fab#3每个楼层设置有Tank保证本楼层压力的稳定;3,所有CDA管路材质使用是SUS316LBASCH5S不锈钢管;TankTank空压机2F1F计量2,每个区域采用环网管路，进一步保证至各机台压力的稳定；47ppt课件三、CDA管网1,Fab#3每个楼层设置有Tank保证本楼层SUS316LBASCH5S对应GB的00Cr17Ni14Mo2SUS日本材料标准316美国ASTM标准生产出来的不锈钢的牌号L低碳BA处理工艺，光辉烧钝（冷抽+退火）处理SCH5S美国ASMEB36.19标准下对应的管壁厚AP酸洗管MP机械研磨处理EP电解研磨处理MPEP电解复合研磨处理48ppt课件SUS316LBASCH5S对应GB的00Cr17N素管表面MP/BA处理后表面EP/MPEP处理后表面虽可达到镜面效果，但也有处理不平，且其表面钝化破坏利用表层溶解方式，平坦化表面并富铬化，提高抗蚀性不锈钢表面不同处理图：49ppt课件素管表面MP/BA处理后表面EP/MPEP处理后表