三级-高真空高真空和检漏_第1页
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文档简介

实验步骤打开复合真空计电源,接通热偶计,对钟罩内抽至1.3Pa0.13Pa抽至电离计指针基本不动时(10-3量级)记录此时电离计的示数,然后对电离计规管除气(5分钟。10抽至极限真空度,记录此时电离计和V2待扩散泵冷却至不烫手(约四十分钟数据记录及处理分析5中记录的真空系统的压强,电离计的示数为P1=2.4×10-3Pa;7中抽至极限真空度时,V2示数PV2=0.6Pa电离计的示数P2=1.7×10-3静态升压法测得的P-t05由上表得出的P-t曲线如下PPPP tPP t y=a+Adj.R-Square StandardPIntercept P 由图线可知系统只有漏气,无放气。斜率dp/dt=(0.0012±8.2E-Q漏=V*dp/dt(不知道容器的容积,无法计算漏率实验注意事项40:为什么测量完放气曲线后立即关闭电离答:测量完放气曲线后,容器内压强10-1pa真空度比较高,而电离计的工作范围:为什么扩散泵和机械泵之间要加储气答:扩散泵的工作原理是由沸腾的油分子带动钟罩内的气体分子运动,扩散到气压较低的储气罐中,油滴经冷却水冷却,变成液态回流到扩散泵中,气体分子经储能防止气体反冲进入扩散泵。为什么关闭高阀和扩散泵以后不能立即关闭机械答:因为关

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