微电子厂房空调设计中CFD的运用概要课件

微电子厂房空调设计中CFD的运用ApplicationofCFDonHVACSystemDesignaboutMicroelectroniccleanroom设计人员：王小五汪南指导教师：钱宇教授、陆恩锡教授微电子厂房空调设计中CFD的运用Applicationof1设计内容1.概述2.空调方案3.气流组织设计4.CFD房间流场模拟5.结论设计内容1.概述2一.概述1.基本资料：(1）.设计地点：广东东莞某科技园(2）.室外空气参数：夏季空调干球温度33.5℃,空调湿球温度27.2℃,相对湿度83％(3).室内参数：干球温度23±1℃，相对湿度60±5％(4).

设计规范：《洁净厂房设计规范》一.概述1.基本资料：32.工艺要求：广东东莞市某科技园是一家电脑配件生产厂家，厂房有两层：一楼为生产车间加上部分办公楼，洁净度要求为100级、1000级、10K级、100K级，局部工作台为10级。二楼为装配车间，洁净度要求为10K级、100K级。2.工艺要求：4二.空调方案1.原理图：室外新风碳滤器混合段初效过滤器空气温湿度处理段中效过滤器静压层回风高效过滤器洁净室二.空调方案1.原理图：室外新风碳滤器混合段初效过滤器空52.第一层厂房空调平面布置图2.第一层厂房空调平面布置图6三.气流组织设计1.洁净室气流组织类型：单向流洁净室：垂直单向流；水平单向流。流体呈层流，能达到很高的洁净度，但造价高乱流洁净室：存在回流，洁净度不高，造价低矢流洁净室：介乎层流与乱流之间，也能达到较高的洁净度，造价低。三.气流组织设计1.洁净室气流组织类型：72.气流组织方案：2.1100K、10K级气流组织

2.气流组织方案：8四.CFD房间流场模拟4.1.数学模型4.1.1连续性方程：4.1.2动量方程：4.1.3含尘浓度方程四.CFD房间流场模拟4.1.数学模型94.1.4紊流能量传递方程：4.1.5紊流能量耗散率方程4.1.4紊流能量传递方程：104.2边界条件（顶上送风，两侧下回风）：4.2.1固定壁面：u=0,v=0,w=0,k=0,ε=0,4.2.2送风口：u=0,v=0,w=入口风速，c=0,k=0.04,ε=0.0084.2.3回风口：v=0,w=0,u=按质量守恒计算出的风量，4.2边界条件（顶上送风，两侧下回风）：114.3模拟结果顶上送风地面均匀回风

高效过滤器满布度90％，送风速度为0.5m/s,左图为y＝0，右图为y＝2m处截面速度分布4.3模拟结果12顶上送风，地面均匀回风高效过滤器满布度为0.8，送风速度v=0.56m/s,左边为y＝0，右边为y＝2.16m处截面速度分布顶上送风，地面均匀回风13顶上高效过滤器送风，地面均匀回风高效过滤器的布满度为0.5,送风速度为0.9m/s左图为y＝0，右图为y＝2.16m处截面速度分布顶上高效过滤器送风，地面均匀回风14高效过滤器顶上送风，地面均匀回风高效过滤器满布度为0.25，送风速度为1.8m/s左图为y＝0，右图为y＝2.m处截面速度分布高效过滤器顶上送风，地面均匀回风15高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风高效过滤器（0.5×0.5)风速为2.88m/s,两侧回风口（1.0×0.3)右图为x＝2，下图为y＝2，右下角为x＝2处截面速度分布高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风16高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风高效过滤器（1.0×1.0)送风速度0.72m/s,左图为x＝2.08，下图为y＝2，右下图为y＝2处截面速度分布高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风17高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风高效过滤器（2×2m),送风速度0.72m/s,左图为x＝2，下图为y＝0.96，右下图为y＝2处截面速度分布图高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风18回风口的影响分别在y＝1.04,x=0,X=0.32处的截面速度分布回风口的影响19结论1.顶上送风，地面均匀送风方式气流平行度相当好，适合于洁净度要求高的场合。但风量大，造价高。2.顶上送风口较小时，房间处于乱流，适用于一般洁净度场合。3.回风口的作用范围较小。4.洁净室模拟气流组织时，要充分考虑工作区障碍物的影响，否则，结果会相差很远。结论1.顶上送风，地面均匀送风方式气流平行度相当好，适合20微电子厂房空调设计中CFD的运用ApplicationofCFDonHVACSystemDesignaboutMicroelectroniccleanroom设计人员：王小五汪南指导教师：钱宇教授、陆恩锡教授微电子厂房空调设计中CFD的运用Applicationof21设计内容1.概述2.空调方案3.气流组织设计4.CFD房间流场模拟5.结论设计内容1.概述22一.概述1.基本资料：(1）.设计地点：广东东莞某科技园(2）.室外空气参数：夏季空调干球温度33.5℃,空调湿球温度27.2℃,相对湿度83％(3).室内参数：干球温度23±1℃，相对湿度60±5％(4).

设计规范：《洁净厂房设计规范》一.概述1.基本资料：232.工艺要求：广东东莞市某科技园是一家电脑配件生产厂家，厂房有两层：一楼为生产车间加上部分办公楼，洁净度要求为100级、1000级、10K级、100K级，局部工作台为10级。二楼为装配车间，洁净度要求为10K级、100K级。2.工艺要求：24二.空调方案1.原理图：室外新风碳滤器混合段初效过滤器空气温湿度处理段中效过滤器静压层回风高效过滤器洁净室二.空调方案1.原理图：室外新风碳滤器混合段初效过滤器空252.第一层厂房空调平面布置图2.第一层厂房空调平面布置图26三.气流组织设计1.洁净室气流组织类型：单向流洁净室：垂直单向流；水平单向流。流体呈层流，能达到很高的洁净度，但造价高乱流洁净室：存在回流，洁净度不高，造价低矢流洁净室：介乎层流与乱流之间，也能达到较高的洁净度，造价低。三.气流组织设计1.洁净室气流组织类型：272.气流组织方案：2.1100K、10K级气流组织

2.气流组织方案：28四.CFD房间流场模拟4.1.数学模型4.1.1连续性方程：4.1.2动量方程：4.1.3含尘浓度方程四.CFD房间流场模拟4.1.数学模型294.1.4紊流能量传递方程：4.1.5紊流能量耗散率方程4.1.4紊流能量传递方程：304.2边界条件（顶上送风，两侧下回风）：4.2.1固定壁面：u=0,v=0,w=0,k=0,ε=0,4.2.2送风口：u=0,v=0,w=入口风速，c=0,k=0.04,ε=0.0084.2.3回风口：v=0,w=0,u=按质量守恒计算出的风量，4.2边界条件（顶上送风，两侧下回风）：314.3模拟结果顶上送风地面均匀回风

高效过滤器满布度90％，送风速度为0.5m/s,左图为y＝0，右图为y＝2m处截面速度分布4.3模拟结果32顶上送风，地面均匀回风高效过滤器满布度为0.8，送风速度v=0.56m/s,左边为y＝0，右边为y＝2.16m处截面速度分布顶上送风，地面均匀回风33顶上高效过滤器送风，地面均匀回风高效过滤器的布满度为0.5,送风速度为0.9m/s左图为y＝0，右图为y＝2.16m处截面速度分布顶上高效过滤器送风，地面均匀回风34高效过滤器顶上送风，地面均匀回风高效过滤器满布度为0.25，送风速度为1.8m/s左图为y＝0，右图为y＝2.m处截面速度分布高效过滤器顶上送风，地面均匀回风35高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风高效过滤器（0.5×0.5)风速为2.88m/s,两侧回风口（1.0×0.3)右图为x＝2，下图为y＝2，右下角为x＝2处截面速度分布高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风36高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风高效过滤器（1.0×1.0)送风速度0.72m/s,左图为x＝2.08，下图为y＝2，右下图为y＝2处截面速度分布高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风37高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风高效过滤器（2×2m),送风速度0.72m/s,左图为x＝2，下图为y＝0.96，右下图为y＝2处截面速度分布图高效过滤器顶上送风，两侧格栅回风38回风口的影响分别在y