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文档简介

单晶炉安全操作规范1、开机安全检查单晶炉开机、装料前，应付电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全靠谱；1）检查主加热器处于封闭状态（能否切断主回路的空开？）；2）欧陆表输出设定为0；3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象；4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压起落应正常；2、装炉时安全事项在开机检查正常状况下，能够装炉，同时在控制柜现眼地点悬挂禁止合闸警告牌；3、抽真空安全事项1）开真空泵前，应检查真空泵房，保证对应本设施的真空泵及管道处于无其余人员操作状态；2）按真空泵操作规程正确操作；3）抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象；4）在单晶炉真空状态过程中，禁止用手或其余物件碰触或堵漏气处，免得造成人身或设施伤害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作；4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的第1页共3页安全事项1）按工艺操作规程进行正确操作；2）一定在主加热器处于封闭状态、欧陆表输出设定为0的状态下操作；3）在控制柜现眼地点悬挂禁止合闸警告牌；4）禁止操作人员身体处于液压可起落零件如炉盖、炉膛下方，免得液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述零件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑零件来支撑因故障时起落零件的下坠而不致于伤及人身；5）清理真空泵及真空管道时，一定在真空泵停止运转的状态下进行，在对应控制柜惹眼地点处悬挂维修警告牌或禁止合闸警示牌，以防其余人员误开启真空泵，造成人身伤害；6）炉体内洁净时，一定翻开炉盖、上涨上炉膛并偏移至适合地点，使操作人员操作空间处于敞开状态，防止操作人员处于缺氧环境状态下工作；5、加热器加热过程安全事项在上述检查准备工作就绪，且切合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。1）开启加热器前，一定检查冷却水道开启、水压正常，不然禁止开启加热器；2）开启加热器，一定迟缓增添输出电压或加热功率；禁止超功率或过电流运转；3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现象或报警，应按直拉应急方案处理，第2页共3页禁止强行升温；4）如碰上述故障，应实时报修，由专职维修人员进行维修，禁止拉晶操作人员私自维修；6、单晶炉的维修保护安全事项1）单晶炉在维修过程中，一定在惹眼地点处悬挂维修警告牌；2）禁止拉晶操作工私自拆装大型机械零件，免得造成人身伤害；设施专职维修人员在拆装上述零件时，也一定采纳相应的安全举措；3）禁止拉晶操作工拆装220V及以上的电器、线路，一定由专职维修人员进行维修，专职维修人员维修时，一定穿电工鞋进行操作，免得造成电击危险。4）炉体内维修、保护时，一定翻开炉盖、上涨上炉膛并偏移至适合地点，使维修人员操作空间处于敞开状态，防止维修人员处于缺氧环境状态下工作；5）禁止维修人员身体处于液压可起落零件如炉盖、炉膛下方，免得液压控制失灵造成人身伤害，如

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