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文档简介

目

的：

高效过滤器检漏通过检测高效过滤器的泄漏量高效过滤器及其安装的缺陷及时采取补救措施。适用范围：责任部门：

适用于洁净厂房高效过滤器泄漏的检查。设备能源部、质量保证部负责本程序的正确执行和监督。

1、高效过滤器安装检查1.1高效过滤器安装前，必须在安装现场拆开包装进行外观检查，内容包括滤纸、密封胶和框架有无损坏长角线和厚度尺寸等是否符合要求架有无毛刺和锈斑（金属框品合格证，技术性能是否符合设计要求。1.2检查过滤器的滤材是否完好。1.3滤材与其框架内部的连接是否严密。1.4过滤器框架的密封垫付和过滤器组支撑柜架之间连接是否稳固。2、高效过滤器的检漏。2.1测试方法：尘埃粒子计数器法。2.2测试范围D级及更高洁净度要求的洁净室层流工作台层流罩、隧道烘箱等设备上的高效过滤器，都必须在现场进行检查检漏。3、检测材料及仪器。3.1尘源：含尘浓度为3.5×10粒/L，微粒≥0.5μm的气体。3.2仪器：尘埃粒子计数器。4、粒子计数器法检漏方法。4.1在被检测高效过滤器上风侧以大于或等于μm微粒尘浓度为3.5×104粒/L的空气做为尘源，调整过滤器在接近设计风速的条件下运行，用粒子计数器在被测高效过滤器下风侧测得含尘浓度。4.2根据《CLJ-03A型尘埃粒子计数器SOP》正确使用计数器。4.3尘埃粒子计数器采样头扫描过高效滤器的出风侧。采样头离过滤器距离约～4cm处，沿过滤器内边框均速移动计数器探头巡检，扫描速度应低于。2/3

4.4检漏标准控制表。尘粒最大允许数/立方米洁净度A级B级C级D级

≥0.5μm350035003500003500000

≥5μm112000200005、泄漏后处理：5.1出现泄漏时，用环氧树脂硅胶堵漏或螺栓紧固以后再次进行扫描巡检，仪表指示为“0点已被堵住。5.2高效过滤器泄漏处允许用专用胶水修补是单个泄漏处的面积不能大于过滤器总面积的1%，全部泄漏点的面积不能大于过滤器总面积的，否则必须更换。5.3过滤器修理或重装后必须重新进行测试。6、检测频度：6

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