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文档简介

扫描电镜工作原理一、电子束与样品的相互作用X 射线等，这些信号能够表征固体表面或内部的某些物理或化学性质。它们是各类电子束显微分析的物理基础（1。次辐射，这个区域称为相互作用区。图 1 电子束轰击固体发生的各种信号及深度Monte Calro 计算法得到。通常，电子束能量越强，电子入射深度越深，相互作用区越大（图2）。样品的原子序数在样品中的穿透深度越浅（3）。图 2. 不同加速电压下，蒙德卡罗(Monte Carlo)电子轨迹模拟图图 3. 同样加速电压下，不用材料，蒙德卡罗(Monte Carlo)电子轨迹模拟图二、扫描电镜工作原理4 20-30nm 的电子束，受到阴阳的相互作用，从样品中激发出的信号被不同的检测器收集，并成像。本台扫描电镜配备有检测二次电子的 SE2 和 Inlens 检测器，形成样品形貌像；检测背散射电子的ASB 检测器，形成样品成分衬度像；检测特征X 射线能量的 X 射线能谱仪，用于元素定性、定量分析。详细介绍见：各种检测器成像效果；X 射线能谱仪工作原理及谱图解析图4扫描电子显微镜成像原理图

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