设备国产化关键环节半导体零部件蓝海启航

1、零部件是半导体设备的核心，品类众多，技术壁垒高半导体零部件是决定半导体产业高质量发展的关键领域半导体零部件半导体备行业的撑：半体设是延续半体行业摩尔定”的颈和关键而半导设备厂绝大部关键核技需要物化精密零件上，以精密零部件作载体来现。半导体设零部件材料、构、工、品质精、可靠性稳定性性能方达到半导体设及技术求，并有高精、高洁、强耐腐蚀力、耐穿电压特性生产工艺及精密械制造工程材、表面理种工艺、子电机合及工设计多个领域学科，半导体备核心术的直保。图 ：半导体零件在导体业链中地位富创精密招股书，安信证券研究中心半导体设备结构杂，由成上万个零部组成零部件的性能、量和精度共同决定着设备的可靠性与定性。半导体

2、行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，而半导体设备的升级迭代很大程度上有赖于精密零部件的技术突破。各种半导体零部件相互配合，共支持半导设备的运转比起他行业设备的基零部件尖技术特性更为明显，精度、批量小多品种、尺特殊工艺复杂，还要兼顾强度、应变、抗腐蚀、电子性、电特性、料纯度复合功要。半导体精密零部件不仅是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量较高的环节之一，也 是国内半导体设备企业“卡脖子”的环节之一。同样一个部件，相较于传统工业，半导体设备 关键零部件在原料的纯度原材料批次一致、质量稳定性、加精度控、棱边倒 角去毛刺、表面糙度控制特殊表面处、洁清洗、真空无尘装、交货期等方面 要

3、求就更高，造了极高的术门槛。以半导体用过滤件为例，目前半导体级别滤芯的精 度要求达到 1 纳米甚至以下，而在其他行业精度则要求在微米级。同时，为获得超纯的产 品清洁度、高度一致的质量和可重复高性能，半导体用过滤件对一致性、耐化学和耐热性、抗脱落性有较高要求。表 ：主要零部产品其主服务的导体备零部件主要服务的半导体设备类型及工艺步骤g密封圈单晶炉、氧化炉、清洗机、等离子刻蚀设备、湿法刻蚀机、CD、PVD、CMP精密轴承离子注入、D、R、ET金属零部件Vle阀CD、光刻、离子注入、D、R、T、CMP硅SC件（硅环、硅电机）等离子刻蚀设备Rts光刻、W、c、D石英件（电容石英、电解石英）刻蚀、炉管t

4、r光刻、RTP、W射频电源离子注入、D、CD、刻蚀陶瓷件CD、D、离子注入、刻蚀C静电吸盘等离子刻蚀设备、湿法刻蚀设备、CD、D、压力 Ge离子注入、ET泵、离子注入、VDMC流量计CD、离子注入、RP步进马达CD、D、ECH资料来源中国集成电路，安信证券研究中心半导体设备由多个子系统组成，零部件数量庞大、种类繁多各类半导设备都以分解若干个块，由个系统组成根据 LI 公司计分类半导体设备由八关键子系组成：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气反应系统热管理系统晶圆送系统及其他关键组件。其中，真空系统、电源系统是较为关键的子系统，成本占比均在 0以上。前者主要包括各类阀、泵

5、，后者则以频电源为主。表 ：半导体设八大系统构成子系统具体零部件气液流量控制系统气体流量控制器、液体流量控制器、排液泵等真空系统控制阀、隔离阀、传输阀、低温泵、干式泵、分子泵等制程诊断系统气体分析仪、液体分析仪、粒子计数器、其他计量等光学系统光刻光学系统电源系统RF射频电源、RF射频电源匹配网络、DC 制程电源、等离子体源等热管理系统温控装臵、换热系统、测温系统等晶圆传送系统真空机械手臂、常压机械手臂等关键组件静电卡盘装臵、陶瓷组件、橡胶组件VLS，安信证券研究中心图 ：五大关键半导零部成本占（1年数）OtOtracmSbtmsgmtWafradlocsowrVLS，安信证券研究中心半导体零部

6、件数量大、种类繁，碎片化特显。按照业内主流的零部件划分方式，半导体零部件可以划分为机械类、电器类、机电一体类、气体液体真空系统类、仪器仪表类、光学和其他部件。机械类：应用于所有设备，起到构建整体框架、基础结构、晶圆反应环境和实现零部件特殊功能的作用，保证应良率，延长设使寿命，对加工精度、耐腐性、密封性、洁度、真度等指有较高求。电器类：应用于所有设备，起到控制电力、信号、工艺反应制程的作用，对输出功率的稳定性电压质、波形量、频质量等标较高要求。机电一体类：在设备中起到实现晶圆装载、传输、运动控制、温度控制的作用，部分产品包含机械类产品，对真空度、洁净度、放气率、 MI 定制标准等指标有较高要求，

7、还需保证多使用后一致性稳定性不具体产品求差别大。气体液体真空系统类：在设备中起到传输和控制特种气体、液体和保持真空的作用。其中，气体输系统类对空度、耐蚀性、洁、MI 定制标准等指标较高求，真空系统类对抽气后的真空指标、可靠性、稳定性、一致性等指标有较高要求，气动液压系统类对真空度、表面粗糙度、洁净度、使用寿命、耐液体腐蚀等指标有较高要求。仪器仪表类：应用于所有设备，起到控制和监控流量、压力、真空度、温度等数值的作用，对量程时间、流量量精度、温度测精、压力测量精度、温度影小等指标有较高求。光学类：主要应用于光刻设备、量测设备等，起到控制和传输光源的作用，对制造精度、分辨、曝光力、光误差小指标有高

8、求。表 ：半导体全品类部件体情况分类占设备成本的比例零部件具体类别分类占设备成本的比例零部件具体类别所应用的主要设备机械类金属工艺件：反应腔、传输腔、过渡腔、内衬、匀气盘金属结构件：托盘、冷却板、底座、铸钢平台等0-40%非金属机械件：石英、陶瓷件、硅部件、静电卡盘、橡胶密封件应用于所有设备电气类等0-20%射频电源、射频匹配器、远程等离子源、供电系统、工控电脑等应用于所有设备机电一体类EEM、机械手、加热带、腔体模组、阀体模组、双工机台、浸应用于所有设备，其中双工机台和0-25%气体液体空系统类0-30%气体输送系统类：气柜、气体管路、管路焊接件等主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀设备和离子注入设

9、备等干法设备真空系统类：干泵、分子泵、真空阀门等主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀备和离子注入设备等干法设备气动液压系统类：阀门、接头、过滤器、液体管路等主要应用于化学机械抛光设备、清洗设备等湿法设备仪器仪表类-%气体流量计、真空压力计等应用于所有设备光学类5%光学元件、光栅、激光源、物镜等主要应用于光刻设备、量测设备等其他-%定制装置、耗材等应用于所有设备资料来源：富创精密招股书，安信证券研究中心根据半导体零部件产业现状及发展（发表在中国集成电路，半导体零部件还有按照典型集成电路设备体内部流程划分、按照半导体零部件的主要材料和使用功能划分和按照半导体零件服务象划分分类方。按照典型集成电设备腔体部流

10、程划分，零部件可以分为五大类：电源和射频控制类、气体输送、真空制类、度控制、传送置。按照半导体零部件的主要材料和使用功能划分，可以将其分为十二大类，包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件金属件、墨件、塑料、真件、密封件、过部件、运部件、电 控部件以其他部。按照半导体零部服务对象分，半导体心零件可以分为两种即精密机件和通用 外购件：精密机加件通常由半导体设备公司自行设计再委外加工，只用于自己公司的设备，如工艺腔室、传腔室等，般对其表面理、密机加工等工艺术的要求高；通用 外购件则是一些过长时间证，得到众设备和制造厂广泛认的通用零件，更加 标准化，会被不同的设备公司使用，也会被作为产线上的备件耗材来使用，

11、例如硅结构件、 -Rng密圈、阀、规（aue、acepae、气喷淋头 her d等，于 这类部件备较强通用性一致性并且需得设备、制产线上认证。多学科交叉融合，复合型技术壁垒高半导体零部件覆范围广、产业链长，需要多学科交叉融合。半导体零部件的研发设计、制造和应用涉及材料、机、物理、电、精仪器等跨学科、学科的交融合，生产工艺横跨精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺、电子电机整合及工程设计等多个领域和科。以半导体制造中用于固定晶圆的静电吸盘（C）为例，传统的以有机高分子材料和阳极氧化层为电介质静电卡盘步被陶瓷静卡盘渐替代，而以氧化铝陶瓷或氮化铝陶瓷为主体材料陶瓷电卡盘拥良好的导热耐卤等离子气氛的

12、性能。作为离子注入、刻蚀等关键制程核零部件之一，为满足在高真空等离子体或特气环境中起到对晶圆的夹持和温度控等作用需要，加入其导电物得 C 总体电阻率足功性要求需在较低的烧结温度下实现纳米级陶瓷粉体快速致密化，静电吸盘表面处理后还要达到01 微米左右的涂层，才能制备出致密性高、晶体结构稳定、体电阻率分布均匀且符合静电卡盘使用特性的专用陶瓷材料。因此，C 的制造需要对材料的导热性，耐磨性及硬度指标非常了解，对精密机加工和表面处理技术要求也很高。由此可见，半导体零部件是一个多学科叉融合需要复型技术领域。图 ：陶瓷静电盘海拓创新官网，安信证券研究中心半导体零部件技术破难度大，业壁垒高。目前，应用最广、

13、市场份额最大的机械类零部件主要产品技术已经实现突破，机电一体类零部件以及气体液体真空系统类零部件也都已有部分产品实现技术突破，包括腔体、机械手、金属加工件、石英零部件、硅部件、 FM、温控系统等零部件都已有国产供商。然，机械类的高端产品技术突破难度高国产化率仍然较；电气类部件技术难高，心模块（射频电等）尚未产化；仪器仪表类零部件测量精准要求极高，产化较低，高端产品未国产化光学类零部件对光性能要极高，际垄断度高，产率较低，端产品未国产。表 ：半导体不品类部件术难度况分类技术突破难度机械类作为应用最广，市场份额最大的零部件类别，具体品类繁多，主要产品技术已实现突破和国产替代，应用于高制程设备的产品

14、技术突破难度仍较高电气类设备中作为控制工艺制程的核心部件，技术突破难度较高机电一体类品类繁多，部分产品已实现技术突破，但产品稳定性和一致性与国外有差距，技术难度适中气体液体真空系统类品类繁多，部分产品已实现技术突破，但产品稳定性和一致性与国外有差距，技术难度适中仪器仪表类对测量的精准度要求极高，国产化率低，技术突破难度较高光学类对光学性能要求极高，鉴于光刻设备国际市场高度垄断，高端产品一家独大，国内光刻设备尚在发展，相应配套光学零部件国产化率低，技术突破难度较高资料来源：富创精密招股书，安信证券研究中心市场空间大，零部件交期拉长限制下游扩产需求全球半导体零部件市场规模超 400亿美元半导体设备

15、精密零件是半导体备行业的重撑，根据半导体零部件公司富创精密估计，全球的半导零部件市超过百亿美规模。为了较为精确地算全球和国大陆的半导体零部件市场规模，可以按照半导体设备市场规模成本率零部件成本占比的公式进行测算。其中，半导体设备市场规模来自 MI 据，成本率（即 1毛利率）来自半导体设备全球 5 企业的毛利率按销售额取加权平均，零部件成本占比参考光刻设备、刻蚀设备和薄膜沉积备三个最关键的半导设备表公司，分别为源微、中公司和拓荆科技。图 ：精密零部是半体行的重要撑富创精密招股书，安信证券研究中心近年来，球半导设备市规模不扩张。据 MI 统计，1 年到 21 年，球 半导体设市场规模从 353 美

16、元提升到 064 亿美元，预期 22 同比增长 147，达到 57 亿元。同时中国大半导体备场规模增速于全球场，占球半导体设备市份额呈著上升势从 1年的 65亿美元增到 21的 62亿美元。全球的半导体设备市场集中度较高，5 厂商的市占率之和超过 7521 年，它们的毛利率也较为稳定，因此参考全球半导体设备 O5 厂商的毛利率估算半导体设备的成本率。除第五大商科天导体毛率超过 6前四大厂毛利率本都在 4050范围内。按照 21 年销售额对 P 商的毛率进行加得到半导体设备的利率约为 65，即成本率约为 35。考虑到光刻设备刻蚀设备薄膜沉积设是晶制造中最重要的类设备，别选用国内代表半导体设企业估

17、算接材料占比总的看，半导体设备直接材料比基本在 90以上。根据富创精密招股书，半导体设备的直接材料主要为各类精密零部件，考虑到安全边际假设成中零部占比为0。根据公式：半导体零部件市场规模=半导体设备市场规模*成本率*设备中零部件成本占比，结合以上析，得：21全球半体零部市场规=64亿美元535%80490亿美元。21中国大半导体部件市规模962元350140亿美。图 ：全球和中大陆导体备市场模（位：元）图 ：1年全球半导体备市市占（单位亿元）100100100806040200全球中国大陆中国大陆占比1175.71175.71026.4711.9566.2645.3597.5435.3369.

18、3317.9375.0365.3412.4296.236.5 25.0 33.7 43.7 49.0 64.6 82.3131.1134.5187.2211 212 213 214 215 216 217 218 219 220 221 22E3%3%2%2%1%1%5%0%2 ,9 , 7 ,6 ,1 ,1 ,AMAT ASML LAM EL KLA其他E，安信证券研究中心Wn，安信证券研究中心图 ：全球TP5半导体设备厂毛利率图 ：国内典型导体备厂成本中接材占比7%6%6%5%5%4%4%3%MTSLMTLA2182192202219%9%9%9%9%9%8%8%8%中微公司芯源微拓荆科技

19、%安信证券研究中心公司公告安信证券研究中心半导体零部件短缺限制设备产能提升根据 C nsihs数据，计 2年半体资本支将增长2，达到85亿美元创历史新，资本支的高长拉动游设备求长，进而动零部需求持提高。图 ：半导体资开支预测单位：美元）2201010101010805 0010061 510431 2 80604041-20-08 09 00 01 02 03 04 05 06 07 08 09 00 01 02-0-0-0aialSpedPeretCgeCIsis，安信证券研究中心半导体零件的短限制了备公司能提高及品交付。据 MT 司 222 投 资者会议，半导零部件短是公司上游应最关键的问

20、题，对客户及时货构成了 挑战。L 公也受到上游产供应短的困。根据 ML 公司 222 资者会 议，由于供应链限制日益严重（主要来自半导体零部件的短缺，造成公司的应收账款增加与产出相的额外本增加同时，L预测23半导体部件的缺将有缓解。据 TNws 报道现在半体核心件的交期为 6 个月以，之前交货期常仅为 2-3 个月。来美国、本和国的零件交货间著增加，要短缺产品有级传感精密温度、CU单元电力线信（C）。例如 C设备交货时更是被迟 了 2 个月上。相于半体设备商，零件商重资产比更高因此扩速度相对 较慢，这加剧了导体零件的短。目前，由于半导零部件的续性短缺，分相零部件厂商有扩计划，将助于缓解半导体零

21、件短缺题。2 年 4 月 0 日陶封装基板域的领者日本瓷集团的董事长谷秀夫表，公司投资 65 日元（合 14 亿人民）在鹿岛川内建一栋半导体零部件厂，于 5 月份动并预计年 0 月开始产。22 年 6 月，空龙头 das 在韩牙山的新工正式开生，占地 00 平方，成为公司在韩国天安和国青岛另一重真空泵产基地。图 ：半导体零件交持续拉长半导体行业联盟，安信证券研究中心海外巨头垄断市场，国产率低根据 LI 数据20 年球半导零部件供应商前 0 中见表 5包括有司 Z（光学镜头MS 仪（MC、频电源真空产品英国爱德华 dad（真空泵，dacd ery（射频电源，ora（FC，T（真空阀件，cor（模

22、块化气体输送系统以及其他组件，Ula Cen ech（密封系统，ML（光学部件）及 R（干泵。表 ：1年全球前十大导体部件商排名（单位：亿美元）蔡司 ESS德国光学镜头.2（单位：亿美元）蔡司 ESS德国光学镜头.2MKS仪器美国MC、射频电源、真空产品4爱德华 Ewrs英国（04年加入瑞典 Als集团）真空泵18Ad ry美国射频电源12Hra日本M94AT瑞士真空阀件.3r美国模块化气体输送系统以及其他组件.8Utra Cn T美国真空阀件.5ASML荷兰光学部件及光刻机组件服务3BARA荏原日本干式真空泵3合计/7-80资料来源：半导体材料与工艺装备，安信证券研究中心根据 LI据，全前十

23、大导体零件供应市场份额和趋于定在 50左右。另外，由于半导体零部件对精度和品质的严格要求，就单一半导体零部件而言，往往会出现仅有几家应商的面，集度远高于0。图 ：全球前 0大半导体部件商份额VLS，安信证券研究中心从细分品类的零部件来看，目前在大部分零部件领域，美国、日本等企业均处于领先地位。例如在静吸盘领，基本美国和本半导企主导，根据 R 数分析计，美日 市场份额占 5%以上主要有国 M（应用料、美国 LM泛林集，以日本 企业 hno（光电气、TK等。O 型密封圈：是最普遍认可的密封设计，主要来自美国半导体企业 Dont、ee ed，以 rne ed公司为，既能提供 58或 O 01标准寸的

24、 O型圈，也能设计制造非准尺寸的 O型圈材料选上包括 Fuin FM和 erz FFM，可设计用在0度7度温度范内提供化性。精密轴承：全球轴承市场被瑞典、德国、日本、美国四个国家的八大集团垄断。200 年全球轴承市场份额要由八大海厂商占据（典 F、德国 celr、日本 N、日本 JTT、日本 TN、国 TIMN日本 M、本 NCHI主要应于半导领域的精密轴承表厂商括 aa 和 ayn。yon 瑞典 F 旗下公司，密轴承计半导体领，eli-im 轴承以定制化，可于 20 的温度工作真空度为 -8至 -or，以最限度减颗粒产，并受腐性化学环。压力计：力计的要生产商包括 MS 和 ni，以 MS 公

25、司为，其生的电容式压力计具有高度确性和可复性，几乎全使镍基合金制造隔量规，具很强的耐腐蚀性和全级别。石英件：根据芯谋研究，石英制品中半导体用石英制品约占整体市场的 6。半导体用石英件的代企业包韩国 nik和日本Froe。残余气体析仪 R全球市来看，系厂商残余气体析仪大领先，括 nin和 M。据 R (lal no Rsar)调研09年 nin在球市场产值份接近 30。表 ：全球主要导体部件先厂商零部件国际领先企业O-Rg密封圈Dpt、Grene wed精密轴承（陶瓷）l、Kydn压力计M、nconC静电吸盘Sik（新光电气）、OO、NGK射频电源、M真空泵（干泵、分子泵、冷泵）Ewrs、EBA

26、RA（荏原）、Pffr ccu（普发）、Kshyaa（坚山工业）、Broks、Suioo石英件ok、Frrc陶瓷件Kycra、Cors残余气体分析仪 RGAcn、M制冷机 CrMC、MC气体流量计Hria、BroksRt机械手臂Brks、MEM传输系统Brks、RrzeSwrd气体喷淋头MSEA、UMS资料来源：半导体材料与工艺装备，安信证券研究中心从国产化率来看目前半导零部件处于低的平，石英、反应腔喷淋头、边缘环等自给率大于 0，各种、陶瓷件自给率在 5-之间，射发生器机械手MC 等自给率在15%间，阀、测量器等自率至不到1。图 ：半导体零件国化率情况主要部件海外应商国内应商自给率Qrtzr

27、rc，Hres菲利华、太平洋石英1%Ee rngki Crbn，珍宝、神工半导体1%Swr hd新鹤靖江先锋、江丰电子1%Act，Pefr，Ewrs，Ebra，Uvc，Pmpybl，Vrin沈阳科仪、京仪%1%Craic-苏州柯玛%1%RFgrtrE，MKS，Kysa，Dahn北广科技、中科院微电子%5%Brks，Yskwa，Kwski，JE，Rrze，MCSMCSky，Rostr，RND，KstkBrks，MKS，uki，Hria，CDK北方华创%5%VleGge O-rgjkn，T，MKS，Swaek，Haet MKS，nconDpt1%1%1%新松机器人%5%芯谋研究，安信证券研究中心3

28、.1射频电源：E和 KS垄断，英杰电气实现突破半导体射频电主要应于刻蚀设、D 和 CD 设备，粗略估，22 年全球半导体射频电源市场模超过 6美元。据 rr据，2年全半导体蚀设备场规模将达到 14亿美元同比增长 68根据 axmie aret Rsarh 数据02年全球半导薄膜沉设备市规模预将到 0美元，同增长 59。照半导体设备毛率 65%、一半导体备射电源约本的 12的假设测算02年球半导体刻蚀设用射频电源场规模为 84 亿元（165）211 亿美元全球半导体薄膜沉积设备用射频电源市场规模 412 亿美元。考虑到其他半导体设备中亦会使用到射频电源，如离子注入设备，22 年全球导体射频电源市

29、场规模将会超过 6 亿美元。图 ：全球半导刻蚀备市场模（位：亿元）图 ：全球半导薄膜积设备场规（单位亿元）201010101010806040200刻蚀设备Y2192202213%2%2%1%1%5%0%20201010500薄膜沉积设备Y2192202211%1%1%1%1%8%6%4%2%0%Grtnr，安信证券研究中心Mxize Mrkt Rsrch，安信证券研究中心从竞争格局来看，全球射频电源市场是寡头市场，被美国万机仪器（MS）和美国先进能源工业（）垄，集中较高01年MS和 E分别实现营收 95美元和 46亿美元，中，半体业务收分为 83 亿美和 71 亿美，分别公司当营收 624%

30、和 83%MS的 RF 射电源打 lie系列，采高速闭控制、E类 RF卡座和开关制器设，可实卓越的出性能。E的 RF 射频电主打 esr 系，采紧凑流线设计和准平台装，并用主动前板和 CX操模式。美国万机仪器（M）是全球导体射频电源的企业，根据 echnsihs 数据，MS 在 01年成射频电的市场导者，在 00近 0%的份增长础上，获得了近 1的额。MS 还射频功匹配网和线性子系统，及残余体分析中超过 的份额增长。此外，MS 进一步扩大了其在远程等离子源和压力传感领域的市场领导地位在每个类中获得超过2的份。半导体业务是 MS 公司的心业务公司的导业务共有积和蚀、湿法艺、计和检验以光刻四模块，

31、拥有 RF频电源真压力计、容压力、流量、真空兰和管件、各类门和疏水、等离子体、臭发生器等多品类半导体零部件。公司致力于解决导体客的复杂题，有先进的导零部件制技术，生产的 F射频源能够钻出数十亿个纵横比大于 551、完全笔直平行的孔，相当于以小于 05 英寸的差击中大于1英里外目标。图 ：MS半导体务MS官网，安信证券研究中心图 ：MS营收结（单：百美元）图 ：MS分部门利率300300200200100100500特种工业特种工业先进电子半导体21922022122Q14%4%4%4%4%3%3%3%cmnyisi&tinum<isTl218219220221MS公告，安信证券研究中心MS

32、公告，安信证券研究中心图 ：MS公司营情况单位百万美）图 ：MS公司盈情况单位百万美）300300200200100100500营收Y218219220221223%2%2%1%1%5%0%-5%-1%605040302010021821922022120%净利润净利润Y10%5%0%-5%-10%安信证券研究中心安信证券研究中心目前，国内亦有商如英杰电气在射频电源领域有所突破，公司和中微半导体的合作有深度合作，从 MCD 这个设备的电源国产替代开始，取得了客户的信任，并扩展到半导体行业更多客户，业链包等离子入、CD、CD 等环节，研发的频电源在这个行业域开始用。221 年，公来自半体等电材料

33、行营收 757 万，占总收的 101，同比增长 7466%。英杰电气主打 RHH 系列射频电源，具有 136Hz、72Hz 和 408Hz 三档输出频率，频率稳定精度05，额定输出时效率达到 5（MS 的 lie系列效可大于 8，仍在一定距。目前正在一步研高端射电源以提升其性能，致力于在半导体领域实现国产替代，将采用 FA 作为射频信号处理，结合脉冲功率闭控制，用自主频算法制，响速达到 US级目前，司已现其小量试制并客户测。图 ：英杰电气收情（单位亿元）图 ：英杰电气导体务营收毛利（单位亿）营业收入0317654321007%6%5%4%3%2%1%0%-1%18161412108060402

34、0半导体营收半导体毛利率0002105%5%5%4%4%4%4%4%4%217218219220221217218219220221安信证券研究中心，安信证券研究中心机械类：品类众多，国产化快速推进机械类零部件在半导体设备中起到构建整体框架、基础结构、晶圆反应环境和实现零部件 特殊功能的作用保证反应率，延长设使用命的作用，主要包括金属工艺件（主要 有反应腔、传输腔、过渡腔、内衬、匀气盘等、金属结构件（主要有托盘、冷却板、底座铸钢平台等）以及非金属机械件（主要有石英、陶瓷件、硅部件、静电卡盘、橡胶密封件等。图 ：部分半导机械零部件富创精密招股书，华卓精科官网，安信证券研究中心从竞争格局来看，半导

35、体机械零部件的全球龙头包括 eroe、京鼎精密等半导体厂商。 其中，eroec 主要生产真空密封件、石英部件、陶瓷部件和碳化硅部件等机械零部件， 京鼎精密则主要生产金属类机械零部件，主要涉及工艺零部件、结构零部件、模组等产品。 21 年Froc 实营收 12 亿美，同比长 334，净利润 20 亿美元同比 增长 1324，公司盈利质量逐渐改善，毛利率 34，净利率 199%。京鼎精密 01 年实现营收 84 亿元同比增长 2002 第一季度现营收 72 亿元同比增 长 21，续三保持增。图 ：Fotc营收情（单：亿美）图 ：京鼎精密收情（单位亿元）营业收入Y295610864202182192

36、204%3%3%2%2%1%1%5%0%-5%-1%营业收入Y1919922520151050218219220221224%3%2%1%0%-1%-2%-3%安信证券研究中心，安信证券研究中心Feroec 于 10 年在本注册立，主半导体片、半导设备精零部件光伏电池及电子备等业，其旗的杭州和热磁子限公司为导体设精密零件业主要经营体，是际半导设备企的直接应。杭州大热磁电有限公成立 12 年，陶瓷、英、硅碳化硅非金属部件业务模较大。图 ：Fotc半导体品线Frroc官网，安信证券研究中心京鼎精密于 01 年中国湾地区册成立总位于新竹学园区南基地在江苏昆 山和上海松江均有工厂，主营半导体精密零部件

37、、半导体设备和医疗设备等业务。京鼎 精密是半导体机械零部件的重要厂商，在中国大陆地区设有富士迈半导体精密工业（上海）有限公司从事精零部件研发及产。图 ：京鼎精密球产布局京鼎精密官网，安信证券研究中心目前，国内生产导体机械部件的厂商要有莱应材、江丰电和富创精。新莱应材在半导体用高纯洁净材料进行布局，可生产包括管道、管件和接头等机械配件，深度布局半导体配件国产化。江丰电子在 D、CD、刻蚀机等半导体设备用零部件进行布局，包括压环、准直器气体喷淋头等零部件，已在部分国内厂商实现国产替代并批量供货。富创精密则主要在属材料精零部件布局包括反应腔、传输腔、过渡腔、内衬、匀气盘等金属工艺件和托盘、冷却板、底

38、座、铸钢平台等金属结构件，目前公司已进入多家主流国产半导设备厂供货商单。图 ：新莱应材道管产品图示新莱应材官网，安信证券研究中心真空泵： dwads以及 baa占据主要份额，汉钟精机、中科仪实现突破真空泵是真空获设备中的要种类，用获得改善以及维持真空环境。真空泵之于半导体设备意义重：半导体件不同材料之间入气体分子会破器件的电或光学性能，故而真空系对芯片的能和良率直造成响。半导体真空泵可广泛应用于晶圆制造过程中单晶拉、aock、蚀、CD、封裝、试等清或严苛程。半导体真空泵具较高的技门槛，对产的可性、定制化以及源效率具较高的要求。可靠性：半导体真空泵对品可靠性有较高求工作过程需要不断保养，修成本较

39、高，因可靠性的产品减少维次数，低户使用成。定制化：在半导体制造领，每天生产线工况各不相同，客户端对解决方案和产品的需求更加制化。能源效率真空产为高能产品，高能源率减少客户能源损。图 ：干式真空产品示Ewrs官网安信证券研究中心目前，全球半导体真空泵市场由国际厂商主导，海外厂商占据了超过 0的市场份额。全球真空泵的主要厂商包括龙头 dwads（瑞典 las 子公司、ara（日本、eier aum（国、siya（日）等海公司国内厂商额足 5，有着大的国产替代空。根据 T测，120年球空泵的市规模为 449488454、458亿欧，市场模相对持稳定00年体用真空需求占达到 42左右，全球半导体域真空

40、市场需约 924 亿元（约 34 亿民币01 年 dads（已被 las 收、aa 和 eir aum 市率别为 84和 3，计占据了超过 0市场。图 ：1年全球导体空泵市份额%Pffer%Ebra其他国外厂商%国内厂商SV，各公司公告，安信证券研究中心国内半导体真空的主要厂是汉钟精机中科，其中汉钟精机主要采用螺杆干式真空 泵，拥有 F、iM、iH系干式真泵产品司经过多发展和累，在杆、涡、离心等不同领域已拥有自己雄厚的技术实力，不断加强研发投入和技术创新，取得了行业 内领先的技术研优势。汉钟精机的产品为螺杆干式真空泵，在高严苛、粉尘多的制程中 更有优势，而爪真空泵排道出气距离，容造成电机负载过

41、。未来随着半导体制 程越来越严苛，螺杆真空泵的优势将逐步体现。目前，汉钟精机与国内部分机台商、晶圆 厂都已有作，并一定的批量出。同时公产能正在断释放公司 8月 9日披 露投资者关系活记录表显示，台中厂三期已于今年上半年投入使用，上海厂三期预计明 年一季度入使用。图 ：1年全球导体空泵主厂商绍全球真空泵主要厂商介绍企业名称公司介绍主要产品01年真空业营收（亿元）Ats CcoPfffr（国）Er（本）aiaa公司成立于 83年，公司的四大业务领域分别为压缩机技术、真空技术、业技术、动力技术，并着力于全面开售后服务市场。As010年收购Qucy进入工业真泵领域，于 04年收购Ers,206年收购

42、yod和CSK，目前是全球真空领域龙头公司成立于 80年，951年开发用核工业真空泵，010年并购阿尔卡特真空部门，219年在中国建厂。公司产品主要用于半导体、工业等领域。 公司从事以泵等旋转机械为中心的开发活动，成立于 912年。公司经营三个部分：流体机械和系统，环境工程和精密机械。成立于 951年，主要有两块业务：为半导体真空设备；2）滑雪设备和理咨询。公司生产的真空设备己被广泛应用于括半导体制造业和液晶显示制造业的科技领域中。公司是螺杆压缩机、真空泵龙头。传业务国内份额领先，保持稳健增长;真工业压缩机，气体和过程压机，工业干泵、无油干泵、旋式活塞真空泵、机械真空力器、涡轮分子泵等支撑泵、

43、涡轮泵、测量与分设备、安装工具真空系统、空单元等。干式真空泵，化学机械抛光 (CMP)系统，电镀系统和气减排系统。干式真空泵、液环真空泵、水泵、制雪系统滑雪场设施 等。干式真空泵、螺杆离心压缩96.2（半导体新兴技术）-汉钟精机空泵业务在光伏及锂电领域占据主要场份额，得到隆基股份晶盛机电等知名光伏/锂电企业的认可。公司创建于 98年，主要从事干式真机、空气压缩机、热泵 .3干式真空泵：罗茨干泵和涡旋中科仪空泵、真空仪器设备的研发、生产和售，并提供相关技术服务。千泵；真空仪器设备：大科装置、真空薄膜仪器设备、材料制备设备。65华经产业研究院，安信证券研究中心3.4阀门： 海外巨头垄断，新莱应材份

44、额快速提高半导体阀门是由带有辅助设备的半导体器件组成的阀，主要是在流体系统中，用来控制流 体的方向、压力流量的装置。半导体制造是制造用于电子设备和电气设备的集成电路的 过程，这些过程中需要许多阀门和配件的解决方案。目前，半导体阀门主要可分为隔膜阀、波纹管阀、真空、球阀、阀、门阀、阀、氟龙门阀等，其真空阀是要的半导 体阀门类。根据 aret esrch prs数据示，全导体阀门场预计 22 规模将到172 亿美元预计到 8 年市场模达到 545 亿美元，在 2228 年预期间的复合年增率为 68。半导体阀门全球主要制造商包括 T aumene、arer、ujin、CD、alok、 M、MC op

45、ain、M、neis 。据 aret earh prs据显， 21 年全前五名收入份约为 861，市场中度相对高。图 ：全球半导体阀市场规模测（单位亿美）图 ：1年全球导体门市场额%前五大厂商%Mrkt Rsrch Rers，安信证券研究中心Mrkt Rsrch Rers，安信证券研究中心其他厂商T：瑞士 T 公司是是全球领先的高性能真空阀、多阀单元、真空模块和边缘焊接金属波纹管的开发商和制造商，主要生产用于半导体、D、太阳能电池、显示器和其他真空要求产品的先进研发和制造工艺的关键任务组件。T 公司拥有十分广泛的阀门产品组合，产品包括约 10 个阀门系列，其中包含了 00+种定制产品和 50+

46、种标准产品。 T 公司还拥有先进的真空阀制造技术，拥有独家的 TLCK、MNT、 TTR、TRN、TL 等技术，能够最大限度的确保阀内真空、增强使用性能、承受40摄氏度温、有长的用周期清条件下可使用100循环。T 公司的核产品是类阀门01 年阀占司营业收的 1从分市营收占比来看，半体相关务是支公司业持续增的要驱动力01，T公司约有 75%的营业收入自半导体关业务同时，T 公断扩大市场额，21 ，公司全产业、半导体及相关产业、半导体产业的真空阀市场份额分别达到 %、5、7，七年 来份额不提升，当之无的真空行业领者。图 ：1年 T公司分市营收占比图 ：T公司市场份额半导体显示和太阳先进工业全球服务

47、8%7%6%5%4%3%2%1%0%全产业半导体及相关产业半导体产业75%75%70%62%63%65%6554%56%536155%584539%47465549%574941%215216217218219220221CT公司官网，安信证券研究中心VCT公司官网，安信证券研究中心arer派克汉汾）是 T 之的美国导体件领域领企业，司有 01 频阀、 2 MCO 系列压阀、R0 系列节阀、TFE 阀门和接等半导阀门产。半导体阀占 rker 营收比重较小，220 年 aker 营收 14764 百万美元，根据 Reerh 据，0 年 rr 半导阀营业为 163 百美元，占全球导体阀总市场的 1

48、3。Fjikn（富士金）是制造流体和气体自动控制设备、专用控制单元以及超高纯度阀和配件的导体零部厂商，有 A 系列、标准系列、双流阀和控阀等阀门产品，能够生产成品低于 5a 的阀门从而在很大程度上减少半导体制造过中的杀伤颗粒。图 ：Pr营收情（单：亿美）图 ：Pr盈利情（单：亿美）151015101510151015营业收入Y2172182192202%2%1%1%5%0%-5%-1%净利润Y201816141210864202172182192205%4%3%2%1%0%-1%-2%-3%安信证券研究中心，安信证券研究中心目前，国内生产导体阀门企业主要包新莱材和晶盛机电。新莱应材在半导体阀门

49、已经能实现对海零部件的代，下游客户包括国内外知名的半导体设备厂商，并与制造公司长江储、合长鑫等高端真阀门等品面也有深合作。晶盛机电年来积布局半体阀门零部件务22 年 5 月 9 日晶盛电宣布其子公司晶鸿精密和日本 pret 合资成立的绍兴普美特真空部件有限公司跨国合作的第一批国产半体真空门产品市。4月份，公司批 6真空隔阀通过户认证实量产，为造半导核心精真空阀部件国化地迈出重一步。图 ：新莱应材门图图 ：盛机电产图新莱应材官网，安信证券研究中心晶盛机电官网，安信证券研究中心相关公司新莱应材：国内半导体高纯洁净材料龙头，腔体、管道、阀门技术领先新莱应材于 11成立于国台湾00年落山陆家镇，于 1

50、年在圳成功市，成为江苏省内第一家在创业板上市的台资企业。公司一直专注于超高洁净应用材料的研究、制造与销售，产品领域包括半导体、光电、光伏、生物医药、精细化工、食品饮料等行业。在泛半导体领域公司产品以覆盖半导产业设计之外的全制，并通过美国排名 前二的半导体应设备厂商认证并成为一级应商，填补了国超高纯应材料的空 白。在稳定超高纯应材料产品质的同时，司仍不断研发创新，盖于半导制程设备和厂务端所需的真空系统和气体管路系统。公司与世界顶级半导体制造设备企业 MT 加大半导体产品的作，中国先的存储器片设与制造公司长江储、合肥鑫等在高端真空阀门等产方面也有入合作，气管道及气体控制元件也在深入国产替代化，与中

51、国国内大的半体设备应商北华创在导领域展开面合作。图 ：新莱应材展历程新莱应材官网安信证券研究中心在泛半导体业务，公司主要提供半导体用高纯洁净材料，包括管道管件、配件、隔膜阀、 减压阀几大类产品，主要应用于设备端及厂务端。公司的高纯及超纯应用材可以满足 洁净气体、特殊体和计量度等特殊工的要，同时也可以满泛半导体艺过程中 对真空度和洁净的要求。公司经过二十余年的不懈努力，成为国内同行业中拥有洁净应 用材料和高纯及高纯应用料完整技术系的商之一。半导体高纯洁净材料技术壁垒 高，其中半导体制程所用的气体产品需要很强的腐蚀性，产品的表面耐腐蚀电解抛光（P）处理要求高；半体真空品要达超高空 0a 要求，应产

52、品接技术求高。 目前市场绝大部被欧美日等外企占据公司多年的国际半导超高纯应材料厂商 的代工经，电解光和焊技术通应用材认。图 ：新莱应材纯洁产品系列新莱应材官网，安信证券研究中心根据公司投资者调研纪要内容显示，公司半导体产品使用量约占芯片厂总投入 35%左右约占在半导体备厂，原料采购的 5-0场空间超过 50 亿人币。从营结 构来看，公司无菌包材、高纯及超高纯应用材料和洁净应用材料是公司的主要业务，其中，泛半导体领域的高纯及超高纯应用材料业务营收增速迅猛。21 年，公司高纯及超高纯应 用材料、洁净应用材料、无菌包材营业收入分别为 32 亿元（o20、52 亿元（o24%、816 亿元（o13%，

53、占公司整体收入比例分别为 59%、280%、394%。公司的高纯及超高纯应用材料毛利率也在逐步提升，从 20 年的310提升到01年的337。图 ：新莱应材收结（单位亿元）图 ：新莱应材业务利率食品设备高纯及超高纯应用材料无菌包材洁净应用材料6食品设备高纯及超高纯应用材料无菌包材洁净应用材料64921118225201510502192202214%3%3%2%2%1%1%5%0%3737.12%33.47%31.40%27.39%24.50%24.66%23.34%17.29%洁净应用材料高纯及超高纯应用材料无菌包材食品设备安信证券研究中心安信证券研究中心受益于半导体国化趋势以国内疫苗及药生

54、厂商快速扩产，司半导体块业务快速增长、生物医药板块业务增长迅猛。20-21 年，公司营业收入分别为 15 亿元、1387 元1323 亿、054 亿，3 年 CR 为 06。益于半体高景及国产替代，21 年公司营收大幅增长 55%；同时，归母净利润 10 亿元，同比增加 1566；归母非净利润12亿元同比加 76。22 上半年，公司单继续加，营收入到 124 元，同增加 657；实现归母净利润 16 亿元，比大增 91实归母扣非利润 14 亿元同比大增 1612。其中公司半导体业务营收 317 亿元毛利率提高至 5，同+pc，主要原因为订饱满、品结构化升级及规模应续凸显。图 ：新莱应材收情（单

55、位亿元）图 ：新莱应材利情（单位亿元）营业收入Y47534201510502182192202219%8%7%6%5%4%3%2%1%0%-1%181614121080604020归母净利润Y063292182190632910%10%10%8%6%4%2%0%安信证券研究中心，安信证券研究中心万业企业：收购 Coat stes 布局零部件，气体输送系统领域全球领先万业企业立于 91年并于 93在上海所上市25年上浦东技投资限公司成为第一大股东，设立公司向集成电路产业领域转型的战略目标。28 年，万业企业成功收购上海凯通半导体份有限公司正式入集成电路四大心装备之的离子注入机领域00年，万企业领

56、境内外资人购 Cprt ysms e. Ld成为其第一大股东。21 年，公司携手宁波芯恩成立嘉芯半导体，产品覆盖刻蚀、薄膜沉积、快速热处理退火、洗设备多款集电路核前设备以满国内市场对 8 英寸及 2 寸设备的求。通过收购 oart ysms，司布局导体核零部件领。20年公司浙江镨和镨芯控股为收购主体收购 Comrt ysms，作为集成电路设备所需的气体输送系统领域供应商之一，Cprt ysms 长期为多家海外龙头半导体设备厂提供稳定供应，主要产品包括 T（ult o rnt）组件装配件密封、气棒总、气体量控制（MC焊接件等，主要用于集成电路制造工艺中氧化/扩散、蚀刻和沉积等设备所需的精确气体输

57、送系统，全球少可完成领域零件精密工部环节的司。图 ：omart sems主要产品Comrt Syses官网，安信证券研究中心收购完成， Cmrt ysems 逐开拓国市，其相关品打入内集成路设备公司供应链01年浙镨芯实营业收约 92亿。01年 6，浙镨芯签海宁启动新建 Coart 制造中心项目，总投资约 0 亿，预计项目落成后将助力国内半导体备厂商快推进关核心零件的国替代22 年 3 月，大金二拟向浙镨芯增35亿元增资完后，大金二期有浙江芯 728的股权公司以 93%的股比例为浙江镨芯第大股东。通过此次引入国家级战略投资人的增资，有利于进一步优化浙江镨芯的金实力促进 Cmrt ysems 务国

58、内半导设备企的产业同，加速推进半导设备零件国产进程。从营收结构来看公司目前要业务仍为地产务，但得益于半体行业的景气度以及公司对半导体业务的投入布局，公司的专业设备制造业务营收占比总体呈增加趋势。 21 年，公司房产销售、专业设备制造、物业服务、租赁业务营业收入分别为 681 亿元（o204%、13 亿元（o4909%、034 亿元（o+96%、025 亿元（o+905%，占公司整体收入比例分为 81%、45%、34%、20%。公司专业设备制造业务营收占比扩大的同时，毛利率也在逐步提升。21 年，公司专业设备制造业务毛率达到390，较00年提升77百分点。图 ：万业企业收结（单位亿元）图 ：万业

59、企业业务利率赁 物业服务 造 84232520151050218219220221070060504030201001%218219220221房产销售专业设备制造物业服务租赁安信证券研究中心，安信证券研究中心由于正处于由房地产业务向集成电路战略转型的过渡期，公司的营收和盈利呈下降趋势，主要为房地产业务营收和盈利下降所致。0-1 年，公司营收分别为 2679 亿元、1869 亿元、91 亿元、880 亿元。21 年年公司实现营业收入 80 亿元，同比下降 54%；属于市公司东的净润 37亿，比增长 1942；归于上市司股东的扣除非常性损的净利润23亿元同比下降28。22 年 1，司实现业收入

60、16 元，同降 727；实归属于市公司东的净利润 08 亿元，同比下降 94；实现归于上市公司股东的扣除非经常性损益净利润 04万，同比降 757。图 ：万业企业收情（单位亿元）图 ：万业企业利情（单位亿元）营业收入Y9910625201510502182192202214%2%0%-2%-4%-6%-8%归母净利润Y22357810864202182192202214%2%0%-2%-4%-6%-8%-10%安信证券研究中心，安信证券研究中心江丰电子：国内靶材龙头，布局半导体零部件打开成长空间江丰电子与 25 年立于宁，并于 27 年 6 在深交所业板上，是一专业从事超大规模集成电制造用超纯